株式会社リンテックのカタログ一覧

高性能デジタル通信液体マスフローコントローラ　LC-30...

LIQUID | 液体用製品

LC-3000L シリーズは、液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを内蔵した高性能のデジタル液体マスフローコントローラです。 ◆ピエゾアクチュエータを内蔵することで液体マスフローコントローラとして一体化。 ◆デジタ...

高性能デジタル通信液体マスフローメータ LM-3000L S...

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LM-3000Lシリーズは、液体用マスフローセンサを搭載した高性能のデジタル液体マスフローメータです。 ◆CV-1000シリーズやコントロールバルブ付き VU シリーズと組み合わせることで液体マスフローコントローラとして動作が可能です。 ◆ソレノ...

ピエゾコントロールバルブ CV-3000 Serie...

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◆ピエゾコントロールバルブ　CV-3000 Series CV-3000シリーズは、外部からの制御入力により気体の流量制御、あるいは圧力制御が可能な高速応答バルブです。 ・高速、高性能なピエゾアクチュエータを搭載。 ・耐久性、...

マスフローコントローラ用電源設定表示器 RP-310 / マ...

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◆マスフローコントローラ用電源設定表示器 RP-310 マスフローコントローラ用電源設定表示ユニット RP-310 は、弊社製 MFC1台の表示、設定がおこなえるMFC専用電源です。 ・MFC 電源と設定器、表示器が一体となっているため、ワンタッ...

マルチガスミキサ FL Series / ベーキングユニット...

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FLシリーズは、マスフローコントローラを使用し、複数ガスを指定濃度、流量にして安定供給する装置です。 ◆必要なときに必要なだけの混合ガスを供給。 ◆供給量が変化しても一定濃度の混合ガスを自動供給。 ◆ガス種類や供給量、使用環境により様々な仕様に対応...

バブリングユニット BC Series / ガスパネル GA...

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BCシリーズは、キャリアガスを導入し、内蔵タンクにてバブリングすることで各種液体材料を気化供給する装置です。 ◆キャリアガスをマスフローコントローラで制御し、その後に加熱器で加温制御しているため、液体材料の安定供給が可能。 ◆供給ライン全体の温度を最...

液体自動供給装置 LSS Series　液体気化供給装置 L...

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LSS シリーズは、内蔵タンクから複数タンクへ自動で液体を供給する装置です。 ◆複数ラインへ同時供給または個別供給が可能。 ◆メンテナンスを考えたクリーンな構造。 ◆安全面を考慮した各種アラーム設定機能搭載。 ◆オートパージ機能搭...

小型熱交換器 HX Series

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HXシリーズは、リンテックの持つ高効率液体気化技術を応用した小型ヒータユニットです。 ◆コンパクトでありながらMax300°Cの加熱を可能にした設計技術。 ◆圧力損失を極限まで低減することにより、流量制御後の配管に設置が可能。 ...

ノンキャリアガス気化器 VU-3000 Series

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VU-3000シリーズは、キャリアガスを必要としない、各種液体材料のみを気化供給することが出来る気化器です。 ◆ LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。 ◆ソレノイドアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を...

ソレノイドアクチュエータ搭載気化器 VU-450 Serie...

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VU-450シリーズは、ソレノイドアクチュエータを搭載した気化器です。 ◆ LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。 ◆ソレノイドアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給。 ◆ VU-430Aシリー...

軽接触式気化器 VU-900 Series

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VU-900シリーズは、液体が気化室に接触する機会を少なくすることで、 熱変質を起こすことなく安定気化供給することが可能な気化器です。 ◆LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。 ◆ソレノイドアクチュエータ搭載によ...

ソレノイドアクチュエータ搭載小型気化器 VU-430A Se...

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VU-430A シリーズは、ソレノイドアクチュエータを搭載した小型気化器です。 ◆LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。 ◆ソレノイドアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給。 ◆Max200℃の...

ピエゾアクチュエータ搭載気化器 VU-206 Series

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VU-206シリーズは、ピエゾアクチュエータを搭載した気化器です。 ◆LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。 ◆ピエゾアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給。 ◆Max160℃のコンパクト設計。...

低価格マスフローコントローラ MC-10 Series

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MC-10シリーズは、短納期対応によりCOOに貢献するために開発された低価格のマスフローコントローラです。 ◆ラバーシールを採用することで低価格を実現。 ◆流量精度は ±1.0%F.S. を保証。 ◆10SCCM～50SLM までの幅広い流量レンジ...

高温マスフローコントローラ MC-3000L-TC Seri...

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MC-3000L-TCシリーズは、Max120℃までの動作保証を実現した高温対応のマスフローコントローラです。 ◆Max120℃の動作保証を実現。 ◆デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備。 ◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量...

DeviceNet(TM) マスフローコントローラ MC-5...

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MC-5000Lシリーズは、SEMI に準拠した DeviceNetTM 専用のマスフローコントローラです。 ◆デジタルインターフェイスは、汎用センサアクチュエータネットワーク DeviceNetTM（ODVA）を採用。 ◆通信コネクタは上と横が選択...

バリアブル（VR）機能マスフローコントローラ MC-700 ...

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MC-700シリーズは、本体上部に設置した3桁のロータリスイッチによりガス種、流量を変更できる機能を搭載したマスフローコントローラです。 ◆( 基準流量 )÷( 使用する F.S. 流量 )×( コンバージョンファクタ ) で求めた値を3桁のロータ...

EtherCAT(R) マスフローコントローラ MC-500...

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MC-5000Cシリーズは、SEMI に準拠した EtherCAT専用のマスフローコントローラです。 ◆デジタルインターフェイスは、SEMI E54.20-1108 に準拠した EtherCATを採用。 ◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量セン...

低差圧マスフローコントローラ MC-3000S Series

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MC-3000Sシリーズは、独自に開発した低圧損構造により、微差圧制御に対応したマスフローコントローラです。 ◆独自の低圧損構造により、6Torr の低差圧で 10SCCM(N2) を制御可能。 ◆AsH3 や PH3 などのインプラ用途はもちろ...

高性能デジタル通信マスフローコントローラ MC-3000L ...

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MC-3000L シリーズは、±1.0%S.P. 保証を実現した高性能のデジタルマスフローコントローラです。 ◆±1.0%S.P. 保証を実現。 ◆デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備。 ◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量セ...

加熱フィルタ VF Series / 温度調節ユニット TC...

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◆加熱フィルタ VF Series VFシリーズは、気化システム後方に設置することでパーティクルやミストを除去する加熱フィルタです。 ・0.1 μ m のろ過精度。 ・Max200℃の加熱に対応。 ・オールメタルのクリーン構造。 ・異常加熱検出...

高温マスフローメータ MM-3000L-TN Series

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MM-3000L-TNシリーズは、Max120℃までの動作保証を実現した高温対応のマスフローメータです。 ◆Max120℃の動作保証を実現。 ◆デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備。 ◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサ...

高性能デジタル通信マスフローメータ MM-3000L Ser...

GAS | 気体用製品

MM-3000L シリーズは、MC-3000Lシリーズをベースにした高性能のデジタルマスフローメータです。 ◆デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備。 ◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載。 ◆マイクロプロセッサ内蔵に...