LIQUID | 液体用製品
VU-900シリーズは、液体が気化室に接触する機会を少なくすることで、 熱変質を起こすことなく安定気化供給することが可能な気化器です。 ◆LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。 ◆ソレノイドアクチュエータ搭載によ...
LIQUID | 液体用製品
VU-430A シリーズは、ソレノイドアクチュエータを搭載した小型気化器です。 ◆LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。 ◆ソレノイドアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給。 ◆Max200℃の...
LIQUID | 液体用製品
VU-206シリーズは、ピエゾアクチュエータを搭載した気化器です。 ◆LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。 ◆ピエゾアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給。 ◆Max160℃のコンパクト設計。...
GAS | 気体用製品
MC-10シリーズは、短納期対応によりCOOに貢献するために開発された低価格のマスフローコントローラです。 ◆ラバーシールを採用することで低価格を実現。 ◆流量精度は ±1.0%F.S. を保証。 ◆10SCCM~50SLM までの幅広い流量レンジ...
GAS | 気体用製品
MC-3000L-TCシリーズは、Max120℃までの動作保証を実現した高温対応のマスフローコントローラです。 ◆Max120℃の動作保証を実現。 ◆デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備。 ◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量...
GAS | 気体用製品
MC-5000Lシリーズは、SEMI に準拠した DeviceNetTM 専用のマスフローコントローラです。 ◆デジタルインターフェイスは、汎用センサアクチュエータネットワーク DeviceNetTM(ODVA)を採用。 ◆通信コネクタは上と横が選択...
GAS | 気体用製品
MC-700シリーズは、本体上部に設置した3桁のロータリスイッチによりガス種、流量を変更できる機能を搭載したマスフローコントローラです。 ◆( 基準流量 )÷( 使用する F.S. 流量 )×( コンバージョンファクタ ) で求めた値を3桁のロータ...
GAS | 気体用製品
MC-5000Cシリーズは、SEMI に準拠した EtherCAT専用のマスフローコントローラです。 ◆デジタルインターフェイスは、SEMI E54.20-1108 に準拠した EtherCATを採用。 ◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量セン...
GAS | 気体用製品
MC-3000Sシリーズは、独自に開発した低圧損構造により、微差圧制御に対応したマスフローコントローラです。 ◆独自の低圧損構造により、6Torr の低差圧で 10SCCM(N2) を制御可能。 ◆AsH3 や PH3 などのインプラ用途はもちろ...
GAS | 気体用製品
MC-3000L シリーズは、±1.0%S.P. 保証を実現した高性能のデジタルマスフローコントローラです。 ◆±1.0%S.P. 保証を実現。 ◆デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備。 ◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量セ...