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入江工研株式会社のカタログ一覧

入江工研株式会社のカタログ一覧

ゲートバルブ

真空装置には、気体や液体が通過する経路の遮断、真空環境の制御に様々なゲートバルブが用いられます。開口部形状が丸型のものは主に気体、光等の導入、仕切り弁として用いるため、主に真空配管の接続部に使用されます。開口部形状が角型のものは真空装置の中で主に半導体製...

【事例紹介有】導入機 総合カタログ

種類豊富に取り揃えています

掲載内容 ・直進導入機 ・回転導入機 ・マルチ導入機 ・事例紹介 ・ラインアップ

ゲートバルブ マリーナ

口径250A~500A

MARINAは安定したシール性能を持ち、シンプルな構造、 コンパクトなデザインの丸型・振子式バルブです。 半導体製造装置から、大型FPD製造装置まで対応したバルブをシリ-ズ化しました。

成形べローズ

規格品、応用品、特注品などご要望に応じて設計・生産いたします。

【掲載内容】 ■成形べローズ/Formed Bellows ■IF規格成形べローズ/IF standard formed bellows ■CF規格成形べローズ/CF standard formed bellows ■IC規格成形べ...

溶接ベローズ

IE 規格及びS,A 規格をご使用の方に見やすく、使いやすいように掲載しています

規格品、応用品(個別設計)、特注品(新規設計)など様々なご使用に対して対応させていただきますので、お気軽にご相談下さい。

高性能成形ベローズ

ロイヤル成形ベローズとスーパー成形ベローズの製品カタログです。

■ロイヤル成形ベローズの特徴 溶接ベローズ並みの高寿命を実現(100万回) 優れた耐食性を有する 高温強度を有する (650°に於いて SUS316L の常温引張 強さ、0.2%耐力等よりも優れております) Cl2、HBr ガスに対しても応力腐...

真空用 フレキシブルチューブ

規格品以外の長さ及びフランジの製作もしています。

真空用機器の配管接続に、便利でかつ柔軟な耐腐食性を持つステンレス製フレキシブルチューブを取り揃え、従来品である4種類の規格品(VF)に新規品(VFP)を加えました。

スロー排気バルブ 微量調整弁付き

パーティクル巻上げ防止に

特徴 1)初期排気の時、定数(真空容器容積/廃棄速度:sec)を〜120secと広範囲に設定できます 2)全体がコンパクト設計により、小型、軽量化されました 3)正圧、逆圧どちらでも0.15MPaの圧力でも漏れません 4)取り付け姿勢は任意です ...

コスラーズ ゲートバルブ ダウンロード

第六世代、第七世代基板に対応したゲートバルブを標準化 開口幅400mm~2000mm

FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、真空機器などで培った技術と 独自の技術開発により、これに応える大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化しました。

コンパクトコスラーズ-Ⅱ ゲートバルブ

角型ゲートバルブです。

「コスラーズ2」は、無摺動角型ゲートバルブとし、国内最初に開発した「コスラーズ1」の設計思想(無塵化)を受け継ぎ、より高性能に発展させたゲートバルブです。 その「コスラーズ2」をIKCの継続した開発により、小型化、軽量化を追及し、「コンパクトコスラーズ...

NW-KF配管継手、他

扱いが非常に便利なISO企画によるNW-KFフランジの配管継手

真空配管用シリーズと高圧配管用を規格化してご用意しております。

高真空アングルバルブシリーズ

高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した長寿命の真空バルブです。 取り扱いが非常に便利な ISO 規格の NW-KF フランジ付きと、超高真空用及び有毒なガス系にも使用可能なコンフラットフランジ付き、又一般JIS真空フランジ付...

特殊形状ベローズ

矩形、長方形、自由形ベローズシリーズを取り揃えております。

矩形ベローズは折込ベローズと溶接ベローズの2種類、長円形ベローズは成形ベローズと溶接ベローズの2種類、自由形ベローズは溶接ベローズ1種類をご用意し、取付誤差吸収用から伸縮変位用と様々なニーズに合った製品を御提案致します。

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