株式会社大阪真空機器製作所のカタログ一覧

ターボ分子ポンプ（TMP）とは、機械式真空ポンプの一種です。ジェットエンジンの羽根に似たタービン翼で構成された「ロータ」を高速回転させ、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気する真空ポンプです。

TGkine®-Rシリーズは、電源・コントローラ一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine®-Bシリーズと同性能のコントローラ分離型の磁気軸受形ターボ分子ポンプです。当ポンプは稼働データ、タッチダウン回数、機種情報等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を...

バランスの良い排気性能で幅広いプロセスに適合

コントローラと電源ユニットの一体化を実現しました。出力ケーブルやコントローララックが不要になり、装置の省スペース化が可能となります。 TG-Mシリーズの特長を踏襲し、ロータ設計の最適化により排気性能をさらに向上しました。

磁気軸受採用で完全オイルフリーの排気を得ることができ、またメンテナンスサイクルが長いのも特長です。 300L/s～3400L/sクラスまでラインアップしています。

グリス潤滑玉軸受を採用し、小型・軽量・低コストを実現しました。また、耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置の可動部へのTMP搭載が可能で、ターボ分子ポンプの新しい可能性を追求したシリーズです。 50L/s ～ 2400L/s クラスまでラインアップしています...

複合分子ポンプの特長 ●広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ●大流量排気：大量のガスを流せます。　※ルーツ真空ポンプが不要になります。 ●優れた耐久性：不意の大気導入に強い構造になっています。 ●長期間使用可能...

小型・軽量で持ち運びが容易。全圧力領域（大気圧～到達圧力）連続運転可能。ヘリウムや水素などのような軽分子ガスの排気が可能な空冷式ドライ真空ポンプ。

直結型油回転真空ポンプ VRDシリーズよりも省エネ・低騒音・低振動。耐錆性能を向上させ、マグネットカップリングにより、吸引物による油漏れの心配がない。VRD-4よりも小型機種をラインアップし、より軽量でコンパクト。

液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮できる真空ポンプです。封液の蒸気圧付近の到達圧力を得る事ができ、封液に水を使用する場合が多く水封式真空ポンプとも呼ばれています。

油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で、最も経済性・操作性に優れたポンプであり、幅広い用途に対応しているため、世界中でたくさん使用されています。

ルーツ真空ポンプとは、まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプです。油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれます。ルーツ真空ポンプは通常、ドライ真空ポン...

コンパクト＆簡単操作

特　長 ■ポータブルタイプ ■長寿命 ■高速ポンプダウン ■クリーン排気 ■優れた到達圧力 ■同期モータ採用 ■オイルフリー ■空冷タイプ ■省エネルギー ■ガスバラスト機構　標準装備

■ガスバラストバルブ（二段階調節）　ガスバラストガスの導入量を調節し、排気する気体に含まれる水蒸気などの凝縮性ガスが油回転真空ポンプ内部で凝縮することの防止と到達圧力を両立します。（VRD-4・VRD-8は一段階） ■強制油循環システムを搭載　...

■ガスバラストバルブ（二段階調節）　全機種二段式ガスバラストが標準搭載のため、水蒸気、凝縮性ガスの排気に強い ■オイルミストフィルター内蔵・標準搭載　全機種オイルミストフィルター内蔵、別途油煙トラップの購入は不要 ■オイルフィルター標準搭載 ...

蒸気エジェクタ/インジェクタ/水エジェクタなど様々なエジェクタに対応しています。

エジェクタは、噴射蒸気他を駆動源とする、機械的駆動部の無い真空ポンプです。構造が簡単で、故障もほとんどありません。操作も簡単で、大排気容量のものが製作できるため、熔鋼脱ガス設備や重合設備を始め、いろいろな分野で利用されています。エジェクタは...

大気圧連続運転＆水蒸気排気

特　長 ■大気圧で連続運転可能 ■水蒸気吸入可能 ■排気時間の短縮 ■空冷仕様

同クラスのドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量の実現

特　長・同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。　　到達圧力時消費電力：400W 　　設置面積：0.11m2 　　重量：60kg ・用途に応じた製品仕様をご用意しております。　　E...

● 簡単に超高真空を得る事ができ、真空熱処理炉、真空蒸着、電子ビーム溶接、スパッタ装置等の排気系など、幅広い真空プロセスに用いられています。 ● 10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップしています。 ● 作動油の突沸...