株式会社アルバックのカタログ一覧

CVDやエッチングもプロセス管理が必要とは思いませんか？

リアクティブプロセスガスモニタ Qulee RGM2-201FはQuleeシリーズのエッチング、CVD、ALD装置等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。アルバック独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ...

質量ガス分析計で”大気圧下での分析”をしてみませんか？

差動排気系キット付四重極型質量分析計（ Qulee with YTP-H ）は、アルバックのQuleeにおける豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。大気圧における各種環境測定がリアルタイムで可能です。

"歩留まり管理は大変"と思っていませんか？

高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタ(RGA)です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。スパ...

製造装置の到達圧力確認およびプロセス管理用に

高真空下の測定において、真空計の精度（感度のばらつき、誤差など）や短寿命（測定子の汚れ、放電し難いなど）でお困りではありませんか？ULVACはこの様なご要望に応えるため、真空計にとって厳しい環境でもより長く、しかも精度よく測定可能な電離真空計を開発・製品...

２段式回転翼型ポンプで到達圧力に優れた真空ポンプ

PVDシリーズは、ベルト駆動型の小型油回転真空ポンプ（ロータリーポンプ）です。排気特性が非常に優れており、多くのお客様にご愛用いただいております。【特長】・安定した排気特性・低振動、低騒音・ブロック構造のため、堅牢で部品数が少なく、...

クリーンな気体の真空排気

ドライ真空ポンプCRシリーズは、空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。【特長】・排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気...

クリーンな気体の真空排気

ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HR シリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【特長】・大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能・高スループットを求める...

不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適！

ECO-SHOCK（エコショック）は、現在ご使用のドライ真空ポンプに取り付けることによって、ドライポンプの大幅な省エネを可能にする画期的なアタッチメントです。【特長】・ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%（当社比）削減可能・全圧力領域...