アステック株式会社のカタログ一覧

半導体／液晶／ディスクの製造プロセスに使用される、高周波電源

【電源仕様】 ■ハーフラックサイズ ■リモートコントロール専用フロントパネル ■高速MPU ■パルス出力 ■高効率高周波アンプ ■内部位相シフト機能 ■通信方式 ■CE，SEMI S2，S8，F47，FCC，NRTL，UL規格取得

良質な低周波電源を供給します。

最大出力時でも出力波形が飽和しないため、プラズマ・チャンバの電極間に十分な高周波電界を発生します。プラズマ処理の他にその広い周波数レンジ・カバーを活かし、レーザ、フェライト・コア、放電などの試験・実験用に使用されています。

最新パルステクノロジーを駆使したDCをパルスに変換

通常のDC電源をパルス電源へグレードアップ！ SPIKにDC電源出力を入力することにより、SPIKで設定したパルスオン・オフ時間に従ったパルス列をSPIKから出力できます。

電磁界環境下でのリアルタイムな温度測定に

加国Neoptix社製、光ファイバー温度計は、一般的に使用されている温度センサー（熱電対・測温抵抗体等）では測定困難である高周波やマイクロ波・強磁場・高電圧環境下であっても、電界磁界の影響を受けずに正確な温度測定が可能ｄす。

RC-12コントローラー付インピーダンス自動整合器

プラズマ用自動整合器高周波電源とプラズマのインピーダンスを整合し、最大の電力をプラズマ負荷に投入するための機器です。