真空薄膜形成に戻る
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水晶デバイスの熱処理(アニール)工程用の装置
水晶デバイスの加工時に生じたひずみの除去・電極膜の安定化等、部品の最後の仕上げに必要な加熱処理を行うための装置。加熱棚を5段備えた加熱処理室を2室搭載。また、それ...
窒化系熱処理の本場ドイツで生まれ長期・多数の実績
SE-H2 特徴・窒化系熱処理の本場ドイツで生まれ長期・多数の実績・耐真空で、真空引きも可能・センサ内部の炉気からの生成物質を抑制・コンベクション管を用いて直入式...