ドライバ・コントローラ・エンコーダ一体型アクチュエータ　マッスルサーボアクチュエータ

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クールマッスルが標準装備されたドライバ、 Integrated actuator with COOL MUSCLE ローコストロッドレスタイプ RL-T Series ローコストロッドタイプ RD-T Series Rodless actuator with CM1 P.18 Rod actuator P.21 ロープライス、 ロープライス、 ボールねじ駆動、 ボールねじ駆動、 ガイド案内方式。 潤滑装置付。 ●可搬質量 （kg） ： 5, 10, 16, 30 ●定格推力 （N） ： 28, 108, 145 ●ストローク （mm） ： 50 ～ 600　50 とび ●ストローク （mm） ： 50 ～ 300　50 とび ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.02 ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.02 ●最高速度 （mm/sec） ： 600, 300 ●最高速度 （mm/sec） ： 600 高剛性タイプ RK-TM Series 高剛性タイプ RK-T Series High rigidity miniature actuator P.26 High rigidity actuator P.27 LM ガイドとボールねじを一体化。 LM ガイドとボールねじを一体化。 高精度位置決めタイプ。 高精度位置決めタイプ。 ●定格推力 （N） ： 152 ●定格推力 （N） ： 155 ～ 820 ●ストローク （mm） ： 31.4 ～ 156.4 ●ストローク （mm） ： 41.5 ～ 511.5 ●繰返し位置決め精度（mm）：± 0.004 ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.01 　（オプションにて± 0.003mm 製作可） 　（オプションにて± 0.005, ± 0.003mm 製作可） 幅広ガイドねじ駆動タイプ SRW Series 幅広ガイドベルト駆動タイプ BRW Series Lead screw driven wide guide actuator P.29 Belt driven wide guide actuator P.30 幅広ガイドを使用した 幅広ガイドを使用した すべりねじ駆動タイプ。 最高速度 1200mm/sec を 実現する高速タイプ。 ●可搬質量 （kg） ： 10, 15 ●可搬質量 （kg） ： 5, 8 ●ストローク （mm） ： 50 ～ 200 50 とび ●ストローク （mm） ： 100 ～ 600 100 とび ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.05 ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.08 ●最高速度 （mm/sec） ： 100 ●最高速度 （mm/sec） ： 1200 高剛性リニアガイド付ミニチュアサーボハンド MHD Series ミニチュア高速インデックスアクチュエータ HIG Series High rigidity miniature linear servo hand P.31 Miniature high speed index actuator P.33 把持力調整可。 バックラッシュ 3 分 （11H） を実現。 小物のワークハンドリングに最適。 最大回転数 ： 181 ～ 600RPM （1/11, 1/9, 1/5） 主軸受に高剛性クロスローラベアリングを採用。 ●減速比 ： 5, 9, 11 ●把持力 （N） ： 5, 20 ●許容ラジアル荷重 （N） ： 250 ～ 732 ●動作ストローク （mm） ： 5, 9, 40 ●許容スラスト荷重 （N） ： 431 ～ 1093 ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.01 ●角度伝達精度 ： 3, 4 arc ・ min 2

コントローラ、 エンコーダ一体型アクチュエータ。 embedded with a driver, controller and encoder. ミニチュアインデックスアクチュエータ IG Series ミニチュアロータリーアクチュエータ RG Series Miniature index actuator P.35 Miniature rotary actuator P.37 出力部のステンレス化により 小型、 軽量で大きな出力トルク。 表面処理不要。 最大回転数 ： 20 ～ 100RPM 最大回転数 ： 20 ～ 100RPM 高精度位置決め。 高精度位置決め。 出力部ステンレス。 ●許容ラジアル荷重 （N） ： 250 ～ 732 ●許容ラジアル荷重 （N） ： 200 ～ 550 ●許容スラスト荷重 （N） ： 431 ～ 1093 ●許容アキシャル荷重 （N） ： 630 ～ 1800 ●角度伝達精度 ： 2 arc・min ●角度伝達精度 ： 2arc ・ min リニアボールガイドステージ RS Series リニアボールガイドロングステージ RLS Series Linear ball guide stage P.39 Linear ball guide long stage P.41 本体の材質は SUS440C 高剛性。 本体の材質は 無電解ニッケルメッキ処理を採用。 SUS440C 無電解ニッケルメッキ 処理を採用。 ●水平耐荷重 （kgf） ： 10 ●水平耐荷重 （kgf） ： 10 ●ストローク （mm） ： 13, 15 ●ストローク （mm） ： 30, 50 ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.0005 ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.0005 ●ステージ面サイズ （mm） ： 40 × 40 ～ 70 × 70 ●ステージ面サイズ （mm） ： 40 × 60 ～ 70 × 110 Z 軸リニアボールガイドステージ ZRS Series 精密クロスローラステージ CR Series Z-axis linear ball guide stage P.43 Precision cross roller stage P.46 本体材質 SUS440C の Z 軸タイプ。 独自設計のクロスローラガイドを採用。 高剛性と真直度を保証。 ●水平耐荷重 （kgf） ： 5, 10, 20 ●耐荷重 （kgf） ： 10 ●ストローク （mm） ： 7.5, 10, 12.5 ●ストローク （mm） ： 13, 15 ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.0005 ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.0005 ●ステージ面サイズ （mm） ： 50 × 50 ～ 100 × 100 ●ステージ面サイズ （mm） ： 40 × 40 ～ 70 × 70 Z 軸精密クロスローラステージ ZCR Series θ軸精密スイベルステージ SS Series Z-axis precision cross roller stage P.48 Precision θ swivel stage P.51 精密クロスローラ仕様の Z 軸タイプ。 精密クロスローラガイドを使用。 高精度のウォーム案内機構。 ●水平耐荷重 （kgf） ： 3, 5, 7 ●耐荷重 （kgf） ： 2.5, 5, 10 ●ワークディスタンス （mm） ： 50 ～ 172 ●ストローク （mm） ： 7.5, 10, 12.5 ●バックラッシュ ： 0.003°以内 ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.0005 ●ステージ面サイズ （mm） ： 50 × 50 ～ 100 × 100 ●ステージ面サイズ （mm） ： 50 × 50 ～ 100 × 100 3

多品種の電動アクチュエータが同一制御で最大 A total of 15-axis electric actuators of various types θ軸精密回転ステージ RW Series リニアボールガイド XY ステージ RSG Series Precisionθ rotational stage P.54 Linear ball guide XY stage P.57 高精度のウォーム減速機構を採用。 RS シリーズを XY 軸に組合わせたタイプです。 ●水平耐荷重 （kgf） ： 4, 6, 10 ●水平耐荷重 （kgf） ： 8 ●移動範囲 ： ± 180° ●ストローク （mm） ： 13, 15 ●バックラッシュ ： 0.006° ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.0005 ●ステージ面サイズ （Φ） ： 49, 68, 98 ●ステージ面サイズ （mm） ： 40 × 40 ～ 70 × 70 リニアボールガイド XY ロングステージ RLSG Series 精密クロスローラ XY ステージ YCR Series Linear ball guide XY long stage P.60 Precision cross roller XY stage P.63 RLS シリーズを XY 軸に組合わせたタイプです。 CR シリーズを採用した XY ステージです。 ●水平耐荷重 （kgf） ： 8 ●水平耐荷重 （kgf） ： 4, 9, 18 ●ストローク （mm） ： 30, 50 ●ストローク （mm） ： 7.5, 10, 12.5 ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.0005 ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.0005 ●ステージ面サイズ （mm） ： 40 × 60, 50 × 70, 60 × 100, 70 × 110 ●ステージ面サイズ （mm） ： 50 × 50 ～ 100 × 100 3 軸ロボット TRW Series クールマッスル CM1-□-11□30□ Series Three-axis robot P.66 COOL MUSCLE P.11 様々な用途にカスタマイズ。 高剛性、 最高速度 1200mm/sec が可能。 ドライバ、 コントローラ、 エンコーダ一体型の 28 角サーボシステム。 ●最大可搬質量 (kg) 　　XY 軸 8　 Z 軸 3 ●動作範囲 （mm） 　　200, 300, 400 ●繰返し位置決め精度 （mm） XY 軸 ： ± 0.08　Z 軸± 0.05 ●テーブル寸法 （mm） 　 400 × 400, 500 × 500, 600 × 600 ● CM1-□-11L30□　出力 ： 18W　最高回転数 ： 3000rpm　定格連続トルク ： 0.055Nm ●デイジーチェインネットワーク仕様 ● CM1-□-11S30□　出力 ： 9W　最高回転数 ： 3000rpm　定格連続トルク ： 0.027Nm クールマッスル CM1-□-17□30□Series クールマッス CM1-□-23□20□/30□ Series COOL MUSCLE P.12 COOL MUSCLE P.13 ドライバ、 コントローラ、 エンコーダ一体型の 42 角サーボシステム。 ドライバ、 コントローラ、 エンコーダ一体型の 56 角サーボシステム。 ● CM1- □ -17L30 □　出力 ： 18W　最高回転数 ： 3000rpm　定格連続トルク ： 0.36Nm ● CM1- □ -23L20 □　出力 ： 30W　最高回転数 ： 2000rpm　定格連続トルク ： 0.87Nm ● CM1- □ -17S30 □　出力 ： 18W　最高回転数 ： 3000rpm　定格連続トルク ： 0.082Nm ● CM1- □ -23S30 □　出力 ： 45W　最高回転数 ： 3000rpm　定格連続トルク ： 0.294Nm 4

15 軸までローコストにネットワークシステムができます。 can be integrated into a network system at low cost. ローコストロッドレスタイプ RL2-60T Series 高剛性タイプ SRK2-33/46T Series Rodless actuator with CM2 P.76 High rigid actuator with CM2 P.78 ロープライス、 LM ガイドとボールねじを一体化。 ボールねじ駆動、 ボールリテーナの採用により RK シリーズと比較して ガイド案内方式。 高剛性、 低騒音、 長期メンテナンスフリーを実現。 ●可搬質量 （kg） ： 8, 16, 30 ●可搬質量 （kg） ： 8.2 ～ 32 ●ストローク （mm） ： 50 ～ 600　50 とび ●ストローク （mm） ： 45 ～ 820 ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.02 ●繰返し位置決め精度 （mm） ： ± 0.01 ●最高速度 （mm/sec） ： 340 ～ 1000 ●最高速度 （mm/sec） ： 393 ～ 2000 クールマッスル２ CM2-□-56B10/20□ Series クールマッスル２ CM2-□-60A10/20/40□ Series COOL MUSCLE 2 P.72 COOL MUSCLE 2 P.74 ドライバ、 コントローラ、 エンコーダ、 電源、 PLC 機能内蔵の ドライバ、 コントローラ、 エンコーダ、 電源、 PLC 機能内蔵の 一体型５６角サーボシステム 一体型 60 角サーボシステム ● CM2-□-60A10□　出力 ： 100W　最高回転数 ： 5000rpm　定格連続トルク ： 0.32Nm ● CM2-□-56B10□　出力 ： 100W　最高回転数 ： 8000rpm　定格連続トルク ： 0.19Nm ● CM2-□-60A20□　出力 ： 200W　最高回転数 ： 5000rpm　定格連続トルク ： 0.64Nm ● CM2-□-56B20□　出力 ： 100W　最高回転数 ： 8000rpm　定格連続トルク ： 0.32Nm ● CM2-□-60A20□　出力 ： 400W　最高回転数 ： 5000rpm　定格連続トルク ： 1.09Nm 高剛性・コンパクト減速機 CM-AB Series 低価格・低騒音減速機 PA2 Series High Precision Planetary Gearboxes P.81 Metric flange output economy planetary Gearboxes P.85 出力軸ボールベアリング 低価格 ・ 低騒音 ・ 軽量化タイプ 標準ストレートタイプの遊星ギア 仕様の簡素化により低価格を実現 ●減速比 ： 3 ～ 100 ●減速比 ： 3 ～ 100 ●許容ラジアル荷重 （N） ： 780 ～ 3250 ●許容ラジアル荷重 （N） ： 810 ～ 1530 ●許容スラスト荷重 （N） ： 390 ～ 1625 ●許容スラスト荷重 （N） ： 405 ～ 765 5

クールマッスル一体型 AC サーボシステム用途例 ・ 使用例 COOL MUSCLE integrated AC servo system applications examples 組付け（押込み）機 アーム駆動 Imposing (Push-fit) Machine Drive arm 高い位置決め精度の実現により、 円弧直線補間機能にて削られた複雑形 イナーシャによってギアを付加する事をお奨めしますが、 クールマッスルを 状の木片同士を嵌め合わせることも可能。 繊細な位置決めやより滑らかな 直付けする事で圧倒的な省スペース化が可能。 ドアの開閉などにも十分ご 回転が必要な場合に最適！ 利用頂けます。 By function of high accuracy positioning, you can fit the piece of wood which It reduces the space by mounting COOL MUSCLE directly on Robotic arm.It also can cut by the interpolation function. It is most suitable for tiny positioning or can be used for the automatic door application.You may need the gearboxes to smooth turning application. be added by inertia. 穴あけ インデックステーブル Boring Index Table クールマッスルをデイジーチェインする事によりインデックステーブル駆動部 クールマッスルをデイジーチェインする事によりインデックステーブル駆動部 と穴あけ駆動部を連動させる事が可能。 クールマッスルのみで実現できる” と穴あけ駆動部を連動させる事が可能。 クールマッスルのみで実現できる” シンプルイズ　ベスト” が魅力的です。 また動作分量の変更も自在です。 シンプルイズ　ベスト” が魅力的です。 また動作分量の変更も自在です。 Index table & boring axis can be interlocked by Daisy Chain.The “Simple is Index table & boring axis can be interlocked by Daisy Chain.The “Simple is Best” that is made only with COOL MUSCLE.You can also change the motion Best” that is made only with COOL MUSCLE.You can also change the motion very easily. very easily. 定量塗布 ウェハ挿入・引出し Quantitative Embrocating Loading & Unloading the Wafer 条件によりクールマッスル側にてポジション ・ トルク ・ 速度を制御する事で 正確な位置への滑らかな挿入、 また滑らかな引出しを実現させます。 一定量の塗布が可能となります。 クローズドループのため脱調しない事か 驚くほどの低価格で高級動作が可能。 ら、 バルブ （流量） コントロールにも最適です。 COOL MUSCLE realizes the smooth motion to the accurate position that By controlling the position, torque and speed of COOL MUSCLE, you can easily is required for wafer loading and unloading. High quality motion is available coat by increments. COOL MUSCLE’ s full closed loop system eliminates miss- with surprisingly low cost. It is most suitable for fine positioning and smooth steps. That is perfect for valve/flow control application. motion. 6

クールマッスル一体型 AC サーボシステム用途例 ・ 使用例 COOL MUSCLE integrated AC servo system applications examples 搬送 ネジ締め Conveyor Thread Fastening 内部プログラム機能を利用する事で I/O 制御のみで一定量送りが可能。 ま トルクコントロールが可能なため、 一定トルクでの締付けのみならず締付け たセンサ信号との組合せや CM2 の外部エンコーダ信号取込機能によりそ 失敗時のエラー判断、 リトライ及び履歴を残す事が可能。 トルクと位置を管 の他機器との連動も可能となり、 また停止位置補正も可能です。 システム 理する事で、 正確なネジ締めをクールマッスル 1 台で実現可能。 の超コンパクト化に貢献。 COOL MUSCLE has the torque control function which can be used to tighten Use COOL MUSCLE to downsize the whole system!!　Set the program bank by screws at a certain torque. Even if it failed to tighten the screws, it can and control COOL MUSCLE by only using I/O, and then incremental positioning acknowledge the erros itself. When an error comes out, COOL MUSCLE can is available. By the combination of COOL MUSCLE and other sensor signal or retry and keep the record of the error as well. externalencoder, COOL MUSCLE can easily interlock with other machines and the stop position correction is also available. ピック＆プレイス インデックステーブル Pick & Place Index Table 3 軸クールマッスル使用により押付け機能を利用したチャッキング機構及び クールマッスルをデイジーチェインする事によりインデックステーブル駆動部 位置決め機能による搬送機構を簡単に実現できます。 CM2 なら補間機能 と穴あけ駆動部を連動させる事が可能。 クールマッスルのみで実現できる” を内蔵しており、 よりタクトタイムを上げる事が可能となります。 シンプルイズ　ベスト” が魅力的です。 また動作分量の変更も自在です。 You can reduce the takt time by using the interpolation function of COOL Index table & boring axis can be interlocked by Daisy Chain.The “Simple is MUSCLE 2. By using 3 axes of COOL MUSCLE, and the positioning function Best” that is made only with COOL MUSCLE.You can also change the motion combining with gripping actuator, it can easily realize the carrying application. very easily. 定量塗布 ウェハ挿入・引出し Quantitative Embrocating Loading & Unloading the Wafer 条件によりクールマッスル側にてポジション ・ トルク ・ 速度を制御する事で 正確な位置への滑らかな挿入、 また滑らかな引出しを実現させます。 一定量の塗布が可能となります。 クローズドループのため脱調しない事か 驚くほどの低価格で高級動作が可能。 ら、 バルブ （流量） コントロールにも最適です。 COOL MUSCLE realizes the smooth motion to the accurate position that By controlling the position, torque and speed of COOL MUSCLE, you can easily is required for wafer loading and unloading. High quality motion is available coat by increments. COOL MUSCLE's full closed loop system eliminates miss- with surprisingly low cost. It is most suitable for fine positioning and smooth steps. That is perfect for valve/flow control application. motion. 7

コストと理想のメカ設計を実現！！ Ideal design solutions for amazing prices! 1. インテリジェント AC サーボアクチュエータ 1. Intelligent AC Servo Actuator ドライバ、 コントローラ、 エンコーダ、 一体型 AC サーボシステ With a driver, a controller and an encoder, built into a actuator ムの採用により、 コントローラボックスはもちろん原点及びリミッ mechanism, the intelligent AC Servo Actuator eliminates the need トセンサも不要となり、 驚異的なコンパクト化、 コスト削減を可 for external controllers, drivers, and origin and limit sensors, providing a compact and low cost solution. 能にした電動アクチュエータです。 2. Electricity consumption as little as 1/3 of that 2. 省エネ、 省コストで電気代はエアシリンダの約 of an equivalent pneumatic cylinder 1/3 です Unlike pneumatic cylinders, the Intelligent AC Servo Actuators do エアシリンダのようにエア源を必要としない為、 排気音がなく静 not require an air compressor, allowing for quiet, low cost, and かで、 省エネルギー、 省コストでシンプルな機械構造が可能で simple designs. す。 3. Easy-to-Use Programmable Actuator Various motion programs such as PTP motion with multiple points, 3. 操作も簡単なかんたんプログラム書込み機能 varying accelerations and decelerations, and push motion can be 多点位置決め PTP 動作、加減速の変化、押付け動作などのモー stored within the actuator's memory. The motion programs stored ションプログラムをモータに書き込むことが可能です。 動作の実 within the actuator can be easily executed via PLC, computers or 行は PLC、 パソコン、 簡単なスイッチで動作します。 simple switches. 4. Ideal solution for dust, noise, heat and wiring 4. モータ部の粉塵 ・ ノイズ ・ 発熱対策 ・ 省配線 related problems エンコーダは磁気エンコーダを使用しているため、 悪環境下でも Use of an magnetic encoder allows the Intelligent AC Servo Actuator 使用可能です。ドライバ部がモータ後部に搭載されている為モー to be used in demanding conditions. With the driver mounted on the motor and enclosed in an aluminum case, the Intelligent AC タ線、 センサ線が短く、 しかも金属ケースで密閉していますので Servo Actuator’s motor cables and sensor cables are extremely ノイズに強くなっており、 モータもトルクに見合った電流しか流し short, making the actuator less subject to noise problems. The ませんので温度上昇を抑えています。 また、 モータ、 ドライバ、 Intelligent AC Servo Actuator uses the optimum current based コントローラが一体のため配線の簡略化を実現します。 on load, keeping the system cool. With the driver, controller, and encoder mounted on the motor, the Intelligent AC Servo Actuator reduces the amount of wiring. オールインワンソリューション All-in-One Solution ドライバ＆コントローラ＆エンコーダを内蔵 Integrating Driver, Controller, and Encoder, the するクールマッスルは理想的なモーション COOL MUSCLE is an all in one solution for your コントロールのソリューションを提供します。 motion control. パルス、 コンピュータのインターフェースに The COOL MUSCLE supports various interfaces, 対応しています。 アプリケーションに合わ including Pulse and Computer types. Choose せてモータをご選択頂けます。 a type of COOL MUSCLE that best suites your needs. P Type(Pulse Type) 現行のパルス制御システムの置換えに即 Replacing your current pulse driven system お使い頂けます。 オープンループステップ with the P type COOL MUSCLE will save space モータの脱調、 発熱問題を解決。 低コスト and remove problems associated with an open 化、 コンパクト化に貢献します。 loop stepper. The P type COOL MUSCLE helps you lower overall machine cost and make your C Type(Computer Type) machine more compact. 繰り返し動作は動作プログラムをクール マッスルに書込みパソコンや PLC で実行 The C type COOL MUSCLE can be pre- 可能。 任意動作の場合はパソコンに接続 programmed, dynamically controlled by a PC or し、 随時コマンドを送り、 動作させることが an embedded computer, and can be networked for 可能です。 動作プログラムと任意動作を組 multi-axis applications. 合わせた制御も可能です。 多軸動作には Digital signals can also active stored motion デイジーチェインを使用したローコストネット programs, creating a compact, powerful machine ワークをご使用頂けます。 with simple controls. The C type COOL MUSCLEs can be daisy chained, providing you with a simple and low cost network solution. 8

様々な用途に対応する AC サーボアクチュエータ AC servo actuators for various applications 位置決め動作 Positioning Motion • 最大 25 点の多点位置決めが可能 • Multi-point positioning with a maximum of 25 points. • 一時停止なしの PTP 動作 ： 速度と加速度を変化させて原 • PTP motion without a stop: There are no stops in motion 点から P3 まで停止せずに移動。 between origin and P3. Speed and acceleration are changed at • 加速度、減速度設定での PTP 動作：加速度と減速度を別々 each point. に設定。 • PTP motion with different deceleration: Acceleration and • パラメータをユーザー側で設定可能です。 原点復帰方法か deceleration can be set to be different. ら PID 調整まで 35 以上のパラメータにより最適なモータ特 • User definable parameters: Over 35 parameters can easily be 性を設定することが可能です。 パラメータは CML （プログ set by the user to define the character of the COOL MUSCLE. ラミング言語） により設定します。 Parameters are set by using CML.(COOL MUSCLE Language) 速度　 速度 Speed Speed P0 P1 P2 P3 時間　 Time 時間 Time 一時停止なしの PTP 動作 ： 速度と加速度を変化させて原点か 押し付け動作 ： 設定された電流値で設定された時間押し付け動 ら P3 まで停止せずに移動 作を行います。 PTP motion without a stop : Speed and acceleration are changed at Push Motion : The actuator keeps pushing for a given time and at each point between origin and P3 without a stop. a set current level when it finds a resistance such as stopper or bumper. 押し付け動作 Push Motion • 設定された電流値で、 設定された時間押し付け動作を行い • Push motion keeps pushing for a given time and at a set ます。 current level when the actuator finds a resistance such as • エアシリンダと同じようにロッドをワークに押し付けた状態で stopper or bumper. 保持することが可能です。 • The actuator mimics a pneumatic cylinder motion by holding • ワークに押し付けた時点で位置決め完了信号を出力します an object when push motion is executed. ので、 ゾーン信号と組合わせることでワークの判別等に使 • The COOL MUSCLE sends out an in-position signal during 用できます。 push motion. A combination of an in-position signal and a zone signal allows for object sorting. 速度 Speed 加速度、 減速度別設定での PTP 動作 加速度と減速度を別々に設定 時間 PTP motion with different acceleration and deceleration: Time Acceleration and deceleration can be set to be different. ピッチ送り機能 Incremental Positioning • 原点からの座標値で位置決めを行う他に、 現在のポジショ • In addition to predefined positions,where positions are defined ンを起点に指定した距離を繰り返し移動させることができま in relation to the origin position, the COOL MUSCLE lets you す。 make incremental moves, which are in relation to the curent • 繰り返し移動量を指示することで、 16 点以上の等ピッチ間 position. 隔での位置決めにも対応可能。 • 16 pre-defined positions can be stored on the motor. Using • 停止時の微振動がありませんのでピタッと停止します。 incremental position values repeatedly, more than 16 positions are possible with an even distance in-between points. 指定速度 • By adjusting gains, vibrations during stop can be eliminated. 加速 減速 速度 時間 停止状態　 ①　 ②　 ③　④　 ⑤　 ①　 ②　 ③　 ④　 ⑤　 ポジションNo. 　 スタート信号 移動完了、ポジ スタート信号 移動完了 入力 入力(移動開始)　　 ションNo.入力 入力(移動開始) 現在の位置を起点としたピッチ送り動作を行います。 繰り返し Incremental movements starting at the current position. 9

高度なソフトウェアがサーボシステムをサポートします Advanced software enhances servo system capabilities 外部信号によりシリンダが急停止します An external signal can stop the Cylinder immediately 周辺機器とのインターロックの設定により一時停止入力が切れ By setting up an interlock mode with external devices, the actuator ると緊急停止します。 一時停止入力がつながると、 残りの移動 can be stopped immediately when a pause input becomes open. The を再開します。 Actuator resumes the current motion when a pause input becomes closed. デイジーチェインネットワーク Daisy Chain Network ローコストネットワークソリューションを提供します。 専用ネット COOL MUSCLE's network solution is simple and low cost. Using ワークカードを使用し、 最大 15 軸までのデイジーチェインネット Network Cards, the maximum of 15 COOL MUSCLEs can be daisy ワークが可能です。 ネットワークは RS232C をサポートしていま chained via serial port. The COOL MUSCLE network supports す。 RS232C. デイジーチェインネットワーク　 入力点機能例 ： Input Function Example: シンプルな低コストネットワーク　 PC 原点復帰 Origin Search 又は　 DC+24V 　 1 原点センサ入力 Origin Sensor PLC GND‑1 2 マニュアルジョグ Manual Jog 3 Output2 　 4 バンクプログラム実行 Execute Bank Programマスター　 Output1 　 5 モータフリー Motor free Input4 6 Input3 モータフリー解除 Enable motor7 　 8 次ステップ実行 Execute next step スレーブ　 Input2 9 前ステップ実行 Execute previous step Input1 10 GND‑2 出力点機能例 ： Output Function Example:11 DC+5V アラーム Alarm12 位置決め信号 In-position signal スレーブ　 モニターアナログ出力 Analog output for monitoring 入出力点の機能割り当てが可能 User Assignable Input and Output Functions 入出力点に複数の機能を割り当てることが可能です。 4 入力点 Multiple functions can be assigned to each input and output. There と 2 出力点があり、 これらの入出力点はデジタル、 アナログ、 are 4 inputs and 2 outputs on the COOL MUSCLE. These inputs and シリアル、 パルスカウンタ （入力点のみ） として使用可能です。 outputs can be used as digital, analog, serial and pulse counter(Only シリアル通信時、入出力機能割付け可能点数が変更となります。 inputs). Less function can be assigned to input and output when バーチャル入力信号 controlling by computer. ユニークなバーチャル入力信号を利用して限られた入力点を有 Virtual Input Signal 効利用することが可能です。 源信号をもとに時間差をつけて 2 Make the most of the I/O ports by taking advantage of COOL 種類の入力信号を作ります。 各信号の立ち上がり時、 レベル MUSCLE's unique virtual signal technique.The COOL MUSCLE 時に機能の割り当てが可能です。 このテクニックにより入力点 creates two signals based on a single input signal by setting a time 一点に複数の機能を割り当てることが可能となりました。 （I/O delay between the two signals, allowing you to assign multiple ボードが不要になりコスト削減が可能） functions to a signal input. This feature may eliminate the need for external I/O board. クイックスローレスポンス信号使用例 ： 停止をクイックレスポン ス信号の立上がりに、 モータフリー、 モータフリー解除をスロー クイック　 レベル　 レスポンス信号の立上がり、 立下り時に割り当てます。 入力点 レスポンス信号　 立ち上がり　 機能はパラメータより設定。 停止　 立ち下がり　 レベル　 スロー　 Quick and Slow response signals example: You can assign レスポンス信号　 立ち上がり　 立ち下がり　 モータフリー　 モータフリー解除　 Stop, Motor Free and Enable Motor to the rising edge of Quick response, the rising edge and falling edge of Slow response signals 時間差　 クールワークスライト （無料専用ソフト） respectively. Input functions are set by parameters. 専用ソフトを使って簡単にパラメータの設定やプログラムの作成 COOL WORKS LITE (Free Software for COOL MUSCLE) が可能です。 COOL WORKS LITE lets you easily set parameters and create motion programs for your COOL MUSCLE. クールワークスライトを使用することにより、 モータパラメータの 設定及びテンプレートやビジュアルを使用したモータ動作シミュ レーション等、 パワフルな機能が使用可能になります。 Using powerful functions of the setting of the motor parameter, the template, and the motor operation simulation, etc. That use visual becomes possible by using the COOL WORKS LITE. 10

クールマッスルサーボシステム CM1 シリーズ CM1-□-11□30□ Series: COOL MUSCLE servo system 28 角のモータにドライバ、 コントローラ、 エンコーダを組み込んだコンパ Nema11 integrated Servo System, with a driver, controller and encoder that クトな一体型のサーボシステムです。 パルス、 コンピュータ、 アナログ supports various interfaces including Pulse, Computer and Analog types 等多彩なインターフェイスに対応しています。 ● CM1-□-11L30□ ● CM1-□-11S30□ ● CM1-□-11□30□型番構成例 CM1-□-11□30□Series Model Name Example: CM1-□-11□30□ ① ② ③ ④ ⑤ ①呼び型番 CM1 シリーズ Model No. ②モータの種類 C: コンピュータタイプ　P: パルスタイプ Motor type C: Computer type　　　　　 P: Pulse type ③サイズ 11: 28 角 Size 11: 28mm square ④長さ L: ロング　S: ショート Length L: Long　 S: Short ⑤最高速度 30: 3000 RPM Maximum speed CM1-‑□‑-1111□3３0０A□トルトクルカクーカブーブ Torque curves of Model CM1-□-11□30□ ●CM1‑□‑11L30□ ●CM1‑□‑11S30□ 0.9 0.45 0.8 0.40 0.7 0.35 0.6 0.30 0.5 0.25 0.4 0.20 0.3 0.15 0.2 0.10 0.1 0.05 0 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 500 1000 1500 2000 2500 3000 RPM RPM 項目 単位 Item Unit CM1-□-11L30□ CM1-□-11S30□ モータ出力 Output power W 18 9 最高回転数 Maximum rotation speed RPM 3000 3000 定格連続トルク Rated torque N・m (kgf・cm) 0.055 (0.56) 0.027 (0.28) ピークトルク Peak torque N・m (kgf・cm) 0.078 (0.8) 0.039 (0.4) 許容負荷イナーシャ 2 Allowable load moment of inertia g・cm 180 80 使用エンコーダ インクリメンタル型磁気エンコーダ (50,000 パルス / 回転 ) Encoder Incremental magnetic encoder (50,000pulses/rotation) 制御方式 クローズドループベクトル制御 Control System Closed loop vector control system 入力電源電圧 Input supply voltage V DC24V ± 10% 入力電源電流 （定格トルク / ピークトルク） Input supply current (Rated / Peak) A 1.2A / 1.5A 0.8A / 1.0A パルス指令分解能 200, 400, 500, 1000(default), 2000, 2500, 5000, 10000, 25000, 50000, パラメータにより選択 Encoder resolution pulse / rev Encoder resolution can be selected in the following ranges: 200, 400, 500, 1000(default), 2000, 2500, 5000, 10000, 25000 and 50000 使用／保存温度 0℃ ~+40℃ / -20℃ ~+60℃ （結露なきこと） Operating / storage temperature ℃ (Non-condensing) 使用湿度 Operating humidity %RH ≦ 90%RH 衝撃 ／振動 Shock / vibration G ≦ 10G / ≦ 1G 概略質量 Approx. weight g 300 240 11 トルク（Kgfcm) 　 トルク（Kgfcm)

クールマッスルサーボシステム CM1 シリーズ CM1-□-17□30□ Series: COOL MUSCLE servo system 42 角のモータにドライバ、 コントローラ、 エンコーダを組み込んだコン Nema17 is a 42mm frame size integrated Servo System, with a driver, パクトな一体型のサーボシステムです。 17L タイプでは低速域で、 出力 controller and encoder. Type 17L has torque equivalent to 0.4Nm (at 18W ながら 0.4Nm （500rpm 時） 相当のトルクです。 500rpm) in a low-speed range, despite its low output 18W. ● CM1-□-17□30□型番構成例 ● CM1-□-17L30□ ● CM1-□-17S30□ CM1-□-17□30□Series Model Name Example: CM1-□-17□30□ ① ② ③ ④ ⑤ ①呼び型番 CM1 シリーズ Model No. ②モータの種類 C: コンピュータタイプ　P: パルスタイプ Motor type C: Computer type　　　　　 P: Pulse type ③サイズ 17: 42 角 Size 17: 42mm square ④長さ L: ロング　S: ショート Length L: Long　 S: Short ⑤最高速度 30: 3000 RPM Maximum speed CM1‑□‑17□30□トルクカーブ Torque curves of Model CM1-□-17□30□ ●CM1‑□‑17L30□ ●CM1‑□‑17S30□ 6.00 1.4 5.00 1.2 4.00 1.0 3.00 0.8 2.00 0.6 1.00 0.4 0.00 0.0 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 RPM RPM 項目 単位 Item Unit CM1-□-17L30□ CM1-□-17S30□ モータ出力 Output power W 18 18 最高回転数 Maximum rotation speed RPM 3000 3000 定格連続トルク Rated torque N・m (kgf・cm) 0.36 (3.7) 0.082 (0.84) ピークトルク Peak torque N・m (kgf・cm) 0.518 (5.3) 0.117 (1.2) 許容負荷イナーシャ 2 Allowable load moment of inertia g・cm 760 380 使用エンコーダ インクリメンタル型磁気エンコーダ (50,000 パルス / 回転 ) Encoder Incremental magnetic encoder (50,000pulses/rotation) 制御方式 クローズドループベクトル制御 Control System Closed loop vector control system 入力電源電圧 Input supply voltage V DC24V ± 10% 入力電源電流 （定格トルク / ピークトルク） Input supply current (Rated / Peak) A 1.5A / 1.8A 0.8A / 1.0A パルス指令分解能 pulse / rev 200, 400, 500, 1000(default), 2000, 2500, 5000, 10000, 25000, 50000, パラメータにより選択Encoder resolution Encoder resolution can be selected in the following ranges: 200, 400, 500, 1000(default), 2000, 2500, 5000, 10000, 25000 and 50000 使用／保存温度 0℃ ~+40℃ / -20℃ ~+60℃ （結露なきこと） Operating / storage temperature ℃ (Non-condensing) 使用湿度 Operating humidity %RH ≦ 90%RH 衝撃 ／振動 Shock / vibration G ≦ 10G / ≦ 1G 概略質量 Approx. weight g 480 330 12 トルク（Kgfcm) トルク（Kgfcm)

クールマッスルサーボシステム CM1 シリーズ CM1-□-23□20/30□ Series: COOL MUSCLE servo system 56 角のモータにドライバ、 コントローラ、 エンコーダを組み込んだコン Nema23 is a 56mm frame size integrated Servo System, with a driver, パクトな一体型のサーボシステムです。 23L タイプでは低速域で、 出力 controller and encoder. Type 23L has torque equivalent to 0.8Nm (at 30W ながら 0.8Nm （500rpm 時） 相当のトルクです。 500rpm) in a low-speed range, despite its low output 30W. ● CM1-□-23□20/30□型番構成例 ● CM1-□-23L20□ ● CM1-□-23S30□ CM1-□-23□20/30□Series Model Name Example: CM1-□-23□20□ ① ② ③ ④ ⑤ ①呼び型番 CM1 シリーズ Model No. ②モータの種類 C: コンピュータタイプ　P: パルスタイプ Motor type C: Computer type　　　　　 P: Pulse type ③サイズ 23: 56 角 Size 23: 56mm square ④長さ L: ロング　S: ショート Length L: Long　 S: Short ⑤最高速度 20: 2000RPM 30: 3000 RPM Maximum speed CM1‑□‑23□20□/30□トルクカーブ Torque curves of Model CM1-□-23□/20□30□ ●CM1‑□‑23L20□ ●CM1‑□‑23S30□ 14.0 4.5 12.0 4.0 10.0 3.5 8.0 3.0 6.0 2.5 4.0 2.0 2.0 1.5 0.0 1.0 0 500 1000 1500 2000 0 500 1000 1500 2000 2500 300 RPM RPM 項目 単位 Item Unit CM1-□-23L20□ CM1-□-23S20□ モータ出力 Output power W 30 45 最高回転数 Maximum rotation speed RPM 2000 3000 定格連続トルク Rated torque N・m (kgf・cm) 0.87 (8.9) 0.294 (3.0) ピークトルク Peak torque N・m (kgf・cm) 1.24 (12.7) 0.46 (4.7) 許容負荷イナーシャ 2 Allowable load moment of inertia g・cm 4600 1400 使用エンコーダ インクリメンタル型磁気エンコーダ (50,000 パルス / 回転 ) Encoder Incremental magnetic encoder (50,000pulses/rotation) 制御方式 クローズドループベクトル制御 Control System Closed loop vector control system 入力電源電圧 Input supply voltage V DC24V ± 10% 入力電源電流 （定格トルク / ピークトルク） Input supply current (Rated / Peak) A 2.6A / 3.4A 3.9A / 5.1A パルス指令分解能 200, 400, 500, 1000(default), 2000, 2500, 5000, 10000, 25000, 50000, パラメータにより選択 Encoder resolution pulse / rev Encoder resolution can be selected in the following ranges: 200, 400, 500, 1000(default), 2000, 2500, 5000, 10000, 25000 and 50000 使用／保存温度 0℃ ~+40℃ / -20℃ ~+60℃ （結露なきこと） Operating / storage temperature ℃ (Non-condensing) 使用湿度 Operating humidity %RH ≦ 90%RH 衝撃 ／振動 Shock / vibration G ≦ 10G / ≦ 1G 概略質量 Approx. weight g 1100 550 13 トルク（Kgfcm) トルク（Kgfcm)

クールマッスルサーボシステム寸法図 COOL MUSCLE servo system external dimensions ●CM1‑□‑11□30□寸法図 External dimensions 単位：mm モデル Model L1 L CM1-□-11L30□ 47. 5 85 CM1-□-11S30□ 33. 5 71 ●CM1‑□‑17□30□寸法図 External dimensions 単位：mm モデル Model L1 L CM1-□-17L30□ 51. 5 75. 5 CM1-□-17S30□ 36. 5 60. 5 14

クールマッスルサーボシステム寸法図 COOL MUSCLE servo system external dimensions ●CM1‑□‑23□20□/30□寸法図 External dimensions 単位：mm モデル Model L1 L CM1-□-23L20□ 76 100 CM1-□-23S30□ 42 66 クールマッスル　デイジーチェーン専用製品寸法図 Cool Muscle Daisy-chain products 単位：mm ●マスターセット　CM1DC1‑MBS□ Master Set ●スレーブセット　CM1DC1‑SBS□ Slave Set 15

クールマッスルサーボシステム CM1 シリーズアクセサリ COOL MUSCLE servo system CM1 series accessories モータケーブル 標準モータケーブル40cmが付属しています。 40cm以上のケーブルが必要な場合はご相談下さい。 CM1C1-400S 40cmコネクタ片側 CM1C1-400W 40cmコネクタ両側 40cm connector, one side 40cm connector, both side CM1C1-1000S 1mコネクタ片側 CM1C1-1500S 1.5mコネクタ片側 1m connector, one side 1.5m connector, one side CM1C1-2000S 2mコネクタ片側 CM1C1-OPT コネクタ両側オプション 2m connector, one side Both side connector, optional Motor cable CM1C1-400S(40cm) is included. Contact us for cables longer than 40cm. RS232C通信ケーブル（単軸用） パソコンのシリアルポートに接続する際必要なケーブルです。 パラメータやモーションプログラムの書き込みに必要です。 標準長さは2ｍです。 CM1C2-2000A 2mRS232Cケーブル 2m RS232C cable RS232C communication cable (for single motor) CM1C2-2000 is required to connect the Cool Muscle to a RS232 port on your computer. CM1C2-2000 is required to set parameters and store motio n programs on the motor. The standard length is 2m. D‑SUBケーブル（9ピン） 標準のD‑SUBシリアルケーブルです。 デイジーチェイン用のインターフェイスカード使用時に必要です。 CM1DC1-SSC-1800 シリアルD‑SUB9ピン1.8ｍストレートケーブルSerial D-SUB 9-pin 1.8m straight cable D-SUB cable (9 pins) It is a standard D-SUB serial cable. It is required for connecting network cards. デイジーチェイン用製品 デイジーチェインネットワークで使用する際に必要な製品です。 デイジーチェイン の1軸目にはマスターセット を、2軸目以降には ス レーブセットをご使用下さい。 CM1DC1-MBS□ マスターセット CM1DC1-SBS□ スレーブセット Master set Slave set 電源ユニット 二次側電源がダウンしにくく対応しているため安定電源供給可能 と なっております。 仕様：150W・240W　　DC24V　　ピーク電流対応 CMPS-XMUS-150 DC24V 150W CMPS-XMUS-240 DC24V 240W 16

ローコストアクチュエータ　RL-T & RD-T シリーズ Low cost actuator RL-T & RD-T Series 様々な動作パターンをサポート Supports Various Motions 基本的な PTP 動作を始め、 様々な動作パターンをサポートしま In addition to typical PTP motion, RL-T and RD-T series actuators す。 加速度、 減速度それぞれに設定可能。 速度、 加速度を also support various advanced motions. Set accelerations and decelerations separately. Dynamically change speeds or accelerations モータ動作中に任意に変化させたり、 通過点で一時停止するこ while the motor is in operation. Change speeds and accelerations at となしに速度、 加速度を変化させる PTP 動作や、 押し付け each point without a stop. The powerful push motion is also supported, 動作等、 複雑な動作も可能です。 allowing for electric simulation of common pneumatic operations. 直動案内部に THK ボールリテーナーガイドの採用により低騒音 Using a THK ball retainer guide for its linear guide system, RL-T and です。 またねじ部にも潤滑装置 QZ を採用し長期メンテナンス RD-T series actuators deliver quiet operation. Special lubricant QZ coating is applied to the ball screw, making RL-T and RD-T series フリーを実現しています。 actuators free from maintenance for extended periods. RL-T シリーズ構造図 RL-T Series structual drawing ステンレスカバー　 Stainless steel cover スライダ　 Slider ACサーボシステム　 AC servo system ボールねじ　 Ball screw 潤滑装置QZ Lubricous equipment QZ ボールリテーナ入りLMガイドSRS形 SRS Type LM guide with ball retainer RL-D シリーズ構造図 RL-D Series structual drawing 接触スクレーパLaCS Contact scraper LaCS ロッド　 ACサーボシステム　 Rod AC servo system 潤滑装置QZ Lubricous equipment QZ ボールねじ　 Ball screw 17

ロッドレスタイプ　RL-T シリーズ RL–T Series: Rodless Slider actuator ● RL − T シリーズ型番構成例 RL-T Series Model Name Example: RL–45T–06–0150–C–N ① ② ③ ④ ⑤ ①呼び型番 RL: ロッドレス 45: 45mm 高 60: 60mm 高 Model No. RL: Rodless 45: 45mm height 60: 60mm height ②ボールねじリード 06: 6mm 12:12mm Ball screw lead ③ストローク Stroke 0050: 50mm ～ 0600: 600mm ④モータの種類 C: コンピュータタイプ　P: パルスタイプ Motor type C: Computer type P: Pulse type ⑤オプション N: オプションなし Option N: with no option Mb Mc Ma 項目 単位 RL-45T RL-60T Item Unit ボールねじ軸径 Ball screw diameter mm Φ 8 Φ 12 ボールねじリード Ball screw lead mm 6 12 6 12 最高速度 Maximum speed mm/s 300 600 300 600 定格推力 Rated force N 80 40 294 147 最大推力 Maximum force N 237 117 423 212 最大加速度 Maximum acceleration G 0.3 水平可搬質量 Maximum horizontal load kg 10 5 30 16 垂直可搬質量 Maximum vertical load kg 3 1.5 10 5 モータ型番 Motor type W CM1- □ -17L30 □ (18W) 繰り返し位置決め精度 Repetitive positioning accuracy mm ±0.02 バックラッシュ Backlash mm 0.1 静的許容モーメント Allowable static moment N・m Ma=Mb=12 Mc=31 Ma=Mb=25.7 Mc=58 ストローク Stroke mm 50 ～ 500 50 ～ 600 走行寿命 *1 Running life *1 km 5,000 *1 ) 可搬質量負荷、 定格速度、 加減速度 0.3G の場合。 *1 ) Operated under the condition of maximum load, rated speed 　and 0.3G acceleration and deceleration. 18

RL-45T 型寸法図 RL–45T External dimensions 19 ストローク [mm] 有効ストローク [mm] メカストローク [mm] 概略質量 [kg] Stroke [mm] Effective stroke [mm] st1 + st2 [mm] L0 [mm] L1 [mm] L2 [mm] n N Weight [kg] 0050 50 60 288.5 206 151 1 2 1.30 0100 100 110 338.5 256 201 2 3 1.41 0150 150 160 388.5 306 251 2 3 1.52 0200 200 210 438.5 356 301 3 4 1.62 0250 250 260 488.5 406 351 3 4 1.73 0300 300 310 538.5 456 401 4 5 1.84 0350 350 360 588.5 506 451 4 5 1.95 0400 400 410 638.5 556 501 5 6 2.07 0450 450 460 688.5 606 551 5 6 2.17 0500 500 510 738.5 656 601 6 7 2.28

RL-60T 型寸法図 RL–60T External dimensions 20 ストローク [mm] 有効ストローク [mm] メカストローク [mm] Stroke [mm] Effective stroke [mm] st1 + st2 [mm] L0 [mm] L1 [mm] L2 [mm] n N 概略質量 [kg] Weight [kg] 0050 50 60 319.5 237 171 1 2 2.54 0100 100 110 369.5 287 221 2 3 2.74 0150 150 160 419.5 337 271 2 3 2.95 0200 200 210 469.5 387 321 3 4 3.05 0250 250 260 519.5 437 371 3 4 3.25 0300 300 310 569.5 487 421 4 5 3.46 0350 350 360 619.5 537 471 4 5 3.66 0400 400 410 669.5 587 521 5 6 3.87 0450 450 460 719.5 637 571 5 6 4.02 0500 500 510 769.5 687 621 6 7 4.27 0550 550 560 819.5 737 671 6 7 4.48 0600 600 610 869.5 787 721 7 8 4.68