全自動 ツイン ダイシングシステム　 8020 シリーズ

８０２０ シリーズ 全自動 ツイン　ダイシングシステム ＡＤＴ ８０２０ ダイシングソーには、高スループットで同時にウェーハをダイシングすることができ る2つの対向すスピンドルがあります。 ＡＤＴ ８０２０ は、直径 ８インチまでのワークピースを高性能で低コストでダイシングできる高精度 システムです。 構成 その他の主な機能 　・ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾙ：　２“～３” 　・エアベアリング送り軸（X） 　・ｻｲｽﾞ：　８“ 　・高速自動アライメントと切断位置決めにより 　　スループットを向上 特徴と利点 　・最高の精度を得るための自動カーフ検査と 　・柔軟性 – ３“ ODまでのハブおよびハブレス　 　　品質分析 　　　ブレードをサポート 　・プロセスデータロギングと統計解析 　・１．８kWまたは２．４kWの高出力スピンド（厳し 　・ロックスピンドル軸による高速＆シンプルな 　　い用途向け） 　　ブレード交換 　・連続ズーム倍率を備えた優れたビジョンシス 　・SECS / GEMプラットフォーム対応 　　テム 　・便利で簡単なメンテナンスのためにシステ 　・１９インチタッチスクリーンモニターを使用した 　　ムのすべての領域にフルアクセス 　　直感的な操作インターフェース 使い安さ 主なアプリケーション 　８０２０は、ADT社の直感的な新しいグラフィッ　 　・シリコンウェーハ/ディスクリートデバイス 　クユーザーインターフェイス（NUI）で動作し、メ 　　炭化ケイ素（SiC） 　イン画面用19インチモニターと17インチのモニ 　・MEMS 　ター保守画面の2つのタッチスクリーンを備えて 　・SAWデバイス 　います。メンテナンス画面では、システムセット 　・ガラスウエハー 　アップ手順、ブレード交換、および基本的なメン 　・パッケージング（QFN、LED ...） 　テナンス作業を実行します。

８０２０　全自動 ツイン ダイシングシステム 　仕様 型式 8020 ワークサイズ Φ8" スピンドル 2基の対面スピンドル 最大60,000rpm/1.2KW ブレードサイズ 2"～3" Y1/Y2　軸 ドライブ ボールベアリングリードスクリュー コントロール 各Y軸に対しリニアエンコーダー 解像度 0.1μm 累積精度 1.5 インデックス精度 1.0 カット範囲 210 X　軸 エアースライド ドライブ ボールベアリングリードスクリュー フィード速度 600mm/秒 カット範囲 210mm Z1/Z2　軸 ドライブ ボールベアリングリードスクリュー 解像度 0.2μm 再現性 1.0μm 最大ストローク 30mm（外径2.188"ブレードに対し） θ　軸 ドライブ 閉ループ、ダイレクトドライブ 再現性 4アーク-秒 ストローク 350mm 画像装置 USB3カメラ、高輝度LED照明（垂直と斜光） 洗浄装置 フルリンスとドライサイクル 回転速度 100～2,000rpm 洗浄方法 雰霧洗浄 ウエット運搬装置 スロット　ツー　スロット 引出し検知 標準機能 自動位置合わせ 自動カット検証 自動切口検査 自動Yオフセット修正 ユーザーインターフェイス 2基タッチスクリーン：19"主スクリーンモニター、17"保守用モニター ＮＵＩ（新型グラフィックユーザインターフェイス） 多言語対応 Ｗｉｎ7　ＯＳ オプション Ｂ＆Ｂ（ブレード損傷検知器） 2.4KWまでの高出力スピンドル、又は1.8KW 60krpmスピンドル バーコードリーダー ＵＶステーション 倍率70から290までの連続デジタル拡大つきＵＳＢ3カメラ ドレスステーション ドレスカセット ＥＤＳキット 高鮮明度光学装置 形状モデルファインダー ダイシングフロアー管理（ＳＥＣＳ/ＧＥＭ） カストマイゼーション 用力 電気 200～240VAC、50/60Hz、単相 エアー 5.5barで500L/分 スピンドル冷却 1.1L/分 切削水（スピンドル当り） 3L/分 寸法 Ｗ×Ｄ×Ｈ 1,015mm×1,460mm×1,820mm 重量 1300kg 環境 室温：20℃～25℃（77F±1.8F）、湿度：相対湿度で70％以下 切削水/スピンドル水温±1℃（±1.8F） フロアーは振動なきこと ADT日本総代理店 　　　　　　　　　　　　〒112-0012　東京都文京区大塚4-5-2　 　　　　　　　　　　　TEL：03-3942-9991　FAX：03-3942-9996 　　　　　　　　http:www.nti-ltd.co.jp　　Email：info@nti-ltd.co.jp