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リニアアクチュエータ(Externalタイプ) 精密ボールねじ+5相ステッピングモータ MBシリーズ

製品カタログ

精密ボールねじ+5相ステッピングモータの採用により、高性能・精密位置決めが可能な駆動ユニットです。精密ボールねじは精度等級C3を標準としています。

◆掲載内容
・特長
・基本仕様
・モータ仕様
・モータ特性
・寸法諸元

このカタログについて

ドキュメント名 リニアアクチュエータ(Externalタイプ) 精密ボールねじ+5相ステッピングモータ MBシリーズ
ドキュメント種別 製品カタログ
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登録カテゴリ
取り扱い企業 ケーエスエス株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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精密ボールねじタイプ(MB) Precision Ball Screw type(MB) ムーボ / MoBo ●特長 •精度等級C3の精密ボールねじ軸端に5相ステッピングモータを直付けした 高精度位置決めに最適の製品です。 •ボールねじ軸心がモータ回転軸心となる理想的な構造です。 •直付け構造により、カップリングが不要で、長手方向寸法の短縮とともに ロストモーションの低減が期待できます。 •5相ステッピングモータ用推奨ドライバも用意しています。 •ナットブロックやモータプレートなどの付属品も充実しています。 ●Features •A 5-pahse Stepping Motor is mounted directly onto the shaft end of a C3 grade precision Ball Screw, which is suitable for high accurate positioning system. •Ball Screw Shaft is ideally constructed to form the Motor Rotor Shaft. •Since combining the Motor Shaft and Ball Screw Shaft, Coupling-less, saving total length, low lost-motion can be achieved. •Recommended Driver for 5-phase Stepping Motor is available. •Accessories are also provided as mounting kit, such as Nut Block and Motor plate. ●基本仕様 / Specifications Model Shaft Nominal Dia. Lead Travel Travel per pules Reference Thrust Mass 型 式 ねじ軸呼び外径 リード ストローク 1パルス移動量 参考推力 質量 (mm) (mm) (mm) (μm) (N) (g) MB04005A φ4 0.5 20 1 10 84 MB0401A φ4 1 30 2 20 84 MB0401 φ4 1 30 2 50 100 MB0601 φ6 1 75 2 100 170 MB0602 φ6 2 75 4 50 180 MB0801 φ8 1 150 2 300 310 MB0802 φ8 2 150 4 150 320 ※くり返し位置決め精度及びロストモーションは Repeatabilit(y reference) max. ±0.005mm 弊社標準ステージに組み付けた時の値です。 くり返し位置決め精度(参考値) 実力値についてはお問い合わせください。 ※The reference value about Repeatability and Lost Motion Lost Motion(reference) max. 0.005mm represents when the MoBo built into KSS original actuator. ロストモーション(参考値) Please make a contact to KSS for actual value. 注1)詳細寸法は、ページF107からの仕様図を参照ください。 注2)1パルス移動量はフルステップ時の値です。 注3)加減速レートは20ms/kHz以上を目安としてください。 注4)参考推力は条件により大きく変わることがありますので、KSSまで問い合わせください。 Note 1) Detail specifications & dimensions are shown in drawings from page F107. Note 2) Travel per pulse represents the value for full step. Note 3) Acceleration & Deceleration Rate should be 20ms/kHz or more. Note 4) Reference Thrust may vary depending on the operating condition, please ask KSS for more detail. F105 MoBo Series Precision Ball Screw type MoBo シリーズ 精密ボールねじタイプ
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●モータ仕様 / Motor Specifications Holding torque Model Motor size Rated voltage Rated current Winding resistance Rotor Inertiaホールディング 型 式 モータサイズ 定格電圧 定格電流 巻線抵抗 ロータイナーシャトルク (A/phase) (mm) (V) (A/相) (Ω) (Nm) (g・cm2) MB04005A □20 DC 1.05 0.75 1.4 0.010 3.9 MB0401A □20 DC 1.05 0.75 1.4 0.010 3.9 MB0401 □24 DC 0.83 0.75 1.1 0.018 4.2 MB0601 □24 DC 1.28 0.75 1.7 0.028 8.9 MB0602 □24 DC 1.28 0.75 1.7 0.028 8.9 MB0801 □42 DC 1.28 0.75 1.7 0.128 41 MB0802 □42 DC 1.28 0.75 1.7 0.128 41 注1)基本ステップ角は、0.72°です。 Note 1) Basic step angle is 0.72° 注2)ロータイナーシャはボールねじ軸を含んだ値です。 Note 2) Rotor Inertia includes Ball Screw Shaft. ●モータ特性 / Motor Characteristic MB04005A / MB0401A MB0401 Pulley Inertia / 負荷イナーシャ 5g・cm2 Pulley Inertia / 負荷イナーシャ 5g・cm2 160 400 Full stepHalf step 120 Full step Half step 80 200 40 0 0 2 3 4 102 4103 10 10 10 10 Pulse Rate / パルス速度(pps) Pulse Rate / パルス速度(pps) MB0601 / MB0602 MB0801 / MB0802 Pulley Inertia / 負荷イナーシャ 5g・cm2 Pulley Inertia / 負荷イナーシャ 5g・cm2 Full step 400 Half step 1.0 Full step Half step 200 0.5 0 102 10 3 104 0 102 103 104 Pulse Rate / パルス速度(pps) Pulse Rate / パルス速度(pps) ■Test Condition / テスト条件 Driver / ドライバ : Maker Standard / メーカ標準機 Input Voltage / 電源電圧 : DC24V Phase Current / 設定電流 : 0.75A 注)モータ特性はドライバ、運転条件により変化します。 Note)Motor characteristic will vary depending on Driver type, opearting conditions. F106 Torque / トルク(gf・cm) Torque / トルク(gf・cm) Torque / トルク(kgf・cm) Torque / トルク(gf・cm) MoBo Series Precision Ball Screw type MoBo シリーズ 精密ボールねじタイプ
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Standard products in stock MB series Dimensions & Specifications 標準在庫品 MBシリーズ 寸法諸元 精密ボールねじ+5相ステッピングモータ / Precision Ball Screw + 5-phase Stepping Motor MB04005A Shaft dia(. 軸径)φ4 Lead(リード)0.5mm Trave(l ストローク)20mm (49) AWG26 9±0.5 40 UL1061 +30 13 X 1.5 300 0 (6) 04005(φ0.4) 3 (10) 5 (11.5) Y (0.4) 3.6 C0.5 Y 銘板 製造 No. X ( ) Identification Plate38.5 11.5 (50) 45 95 2-φ2.9 D15PC 12 16 4-M2 Depth /深さ 6 View Y-Y 矢視 20Y–Y View X-X 矢視 X–X KR-A5CC Note)Refer to page F159, F160 for connection diagram of Recommended Drivers ( ) recommended Drivers.推奨ドライバ KR-A55MC Micro step 注) 推奨ドライバとの結線はページF159,F160を参照してください。 KR-A535M(Micro step / AC-100~220V) Motor side Supporting plate / モータ側サポートプレート MP-20A or MP-20B Recommended accessories 推奨アクセサリー Supported side Bracket / 支持側ブラケット ― Nut Block / ナットブロック NB-04005 Ball Screw Specifications ボールねじ諸元 Motor Specifications モータ諸元 Accuracy grade JIS C3 Basic step angle精度等級 基本ステップ角 0.72° Thread direction Right 右 Rated Voltage巻方向 定格電圧 DC 1.05 V Axial play 0.005mm or less Rated current 0.75A/phase 軸方向すきま 0.005mm以下 定格電流 0.75A/相 Reference Thrust Winding resistance 参考推力 10N 巻線抵抗 1.4Ω Shaft material Stainless steel Holding Torque ねじ軸材質 ステンレス鋼 ホールディングトルク 0.010Nm Nut material Chrome-molybdenum steel Rotor inertia 2 ナット材質 クロムモリブデン鋼 ロータイナーシャ 3.9g・cm Surface hardness Min. HRC55 Operating temperature ねじ部表面硬度 (Thread area) 使用温度範囲 -20℃~ 50℃ Lubricant KSS original grease MSG No.1 Note)Only shaft end cutting is available. 潤滑剤 KSSオリジナルグリース MSG No.1 Other than that, it would be customized order. 注)軸端の切断のみ可能です。 その他の軸端形状は受注生産品となります。 F107 φ20 φ4 φ10g6-0.005-0.014 φ17 0-0.02 16 20 φ4h7 0-0.012 (22) MoBo Series Precision Ball Screw type MoBo シリーズ 精密ボールねじタイプ
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Standard products in stock MB series Dimensions & Specifications 標準在庫品 MBシリーズ 寸法諸元 精密ボールねじ+5相ステッピングモータ / Precision Ball Screw + 5-phase Stepping Motor MB0401A Shaft dia(. 軸径)φ4 Lead(リード)1mm Trave(l ストローク)30mm (49) AWG26 9 40 UL1061±0.5 13 X 1.5 300 +30 0 (6) 0401(φ0.6) 3 (10) 5 (11.5) Y (0.4) 3.6 Y 銘板 製造 No. X ( ) Identification Plate48.5 11.5 (60) 45 105 2-φ2.9 CD1 4 P 11 16 4-M2 Depth /深さ 6 20 View Y-Y 矢視 Y-Y View X-X 矢視 X-X KR-A5CC Note)Refer to page F159, F160 for connection diagram of Recommended Drivers 推奨ドライバ KR-A55MC(Micro step) recommended Drivers. 注) 推奨ドライバとの結線はページF159,F160を参照してください。 KR-A535M(Micro step / AC-100~220V) Motor side Supporting plate / モータ側サポートプレート MP-20A or MP-20B Recommended accessories 推奨アクセサリー Supported side Bracket / 支持側ブラケット ― Nut Block / ナットブロック NB-0401A Ball Screw Specifications ボールねじ諸元 Motor Specifications モータ諸元 Accuracy grade Basic step angle 精度等級 JIS C3 基本ステップ角 0.72° Thread direction Right 右 Rated Voltage巻方向 定格電圧 DC 1.05 V Axial play 0mm Rated current 0.75A/phase軸方向すきま 定格電流 0.75A/相 Reference Thrust 20N Winding resistance参考推力 巻線抵抗 1.4Ω Shaft material Stainless steel Holding Torque ねじ軸材質 ステンレス鋼 ホールディングトルク 0.010Nm Nut material Chrome-molybdenum steel Rotor inertia 2 ナット材質 クロムモリブデン鋼 ロータイナーシャ 3.9g・cm Surface hardness Min. HRC55 Operating temperature ねじ部表面硬度 (Thread area) 使用温度範囲 -20℃~ 50℃ Lubricant KSS original grease MSG No.1 Note)Only shaft end cutting is available. 潤滑剤 KSSオリジナルグリース MSG No.1 Other than that, it would be customized order. 注)軸端の切断のみ可能です。 その他の軸端形状は受注生産品となります。 F108 φ19 φ4 φ9g6-0.005-0.015 φ17 0-0.02 16 20 φ4h7 0-0.012 (22) MoBo Series Precision Ball Screw type MoBo シリーズ 精密ボールねじタイプ 0.5C
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Standard products in stock MB series Dimensions & Specifications 標準在庫品 MBシリーズ 寸法諸元 精密ボールねじ+5相ステッピングモータ / Precision Ball Screw + 5-phase Stepping Motor MB0401 Shaft dia(. 軸径)φ4 Lead(リード)1mm Trave(l ストローク)30mm AWG26 UL3265 41 13 10.5 30.5±1 X (10) 3 2 Y 0401(φ0.6) (0.5) 4.5 10 C0 .5 .3 C0 .5 C0 5 Y C0 . X 銘板 製造 No. ( ) Identification Plate51 12.5 63.5 (40.5) 104 4-M2.6 Depth /深さ 2.5 2-φ2.9 D14 φ 32 PC 11 19±0.2 24 - ±0.3View Y Y 矢視 Y-Y View X-X 矢視 X-X KR-A5CC Note)Refer to page F159, F160 for connection diagram of Recommended Drivers ( ) recommended Drivers.推奨ドライバ KR-A55MC Micro step 注) 推奨ドライバとの結線はページF159,F160を参照してください。 KR-A535M(Micro step / AC-100~220V) Motor side Supporting plate / モータ側サポートプレート MP-24A or MP-24B Recommended accessories 推奨アクセサリー Supported side Bracket / 支持側ブラケット ― Nut Block / ナットブロック NB-0401 Ball Screw Specifications ボールねじ諸元 Motor Specifications モータ諸元 Accuracy grade JIS C3 Basic step angle精度等級 基本ステップ角 0.72° Thread direction Rated Voltage 巻方向 Right 右 定格電圧 DC 0.83 V Axial play Rated current 0.75A/phase 軸方向すきま 0mm 定格電流 0.75A/相 Reference Thrust 50N Winding resistance参考推力 巻線抵抗 1.1Ω Shaft material Stainless steel Holding Torque ねじ軸材質 ステンレス鋼 ホールディングトルク 0.018Nm Nut material Chrome-molybdenum steel Rotor inertia ナット材質 クロムモリブデン鋼 ロータイナーシャ 4.2g・cm 2 Surface hardness Min. HRC55 Operating temperature ねじ部表面硬度 (Thread area) 使用温度範囲 -20℃~ 50℃ Lubricant KSS original grease MSG No.1 Note)Only shaft end cutting is available. 潤滑剤 KSSオリジナルグリース MSG No.1 Other than that, it would be customized order. 注)軸端の切断のみ可能です。 その他の軸端形状は受注生産品となります。 F109 φ4 φ9g6-0.005-0.014 φ19 φ19.5 φ20 0-0.025 24±0.3 19±0.2 5~10 500+300 φ5g5-0.004-0.009 MoBo Series Precision Ball Screw type MoBo シリーズ 精密ボールねじタイプ
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Standard products in stock MB series Dimensions & Specifications 標準在庫品 MBシリーズ 寸法諸元 精密ボールねじ+5相ステッピングモータ / Precision Ball Screw + 5-phase Stepping Motor MB0601 Shaft dia(. 軸径)φ6 Lead(リード)1mm Trave(l ストローク)75mm AWG26 UL3265 57 14.5 Y X 10.5 46.5±1 (11) 3.5 2 0601(φ0.8) (0.5) 4.5 10 .5 R0.2max 0.5+0.1 C 0 0 銘板 製造 No. Identification Plate 5.35±0.05 Y X 96 (12.5) 8 (108.5) (116.5) 56.5 173 4-M2.6 Depth /深さ 2.5 2-φ3.4 CD1 7 φ32 P 13 19±0.2 24±0.3 View Y-Y 矢視 Y–Y View X-X 矢視 X–X KR-A5CC Note)Refer to page F159, F160 for connection diagram of Recommended Drivers ( ) recommended Drivers.推奨ドライバ KR-A55MC Micro step 注) 推奨ドライバとの結線はページF159,F160を参照してください。 KR-A535M(Micro step / AC-100~220V) Motor side Supporting plate / モータ側サポートプレート MP-24A or MP-24B Recommended accessories 推奨アクセサリー Supported side Bracket / 支持側ブラケット SP-24 Nut Block / ナットブロック NB-0601 Ball Screw Specifications ボールねじ諸元 Motor Specifications モータ諸元 Accuracy grade JIS C3 Basic step angle精度等級 基本ステップ角 0.72° Thread direction Right 右 Rated Voltage巻方向 定格電圧 DC 1.28 V Axial play Rated current 0.75A/phase 軸方向すきま 0mm 定格電流 0.75A/相 Reference Thrust Winding resistance 参考推力 100N 巻線抵抗 1.7Ω Shaft material Stainless steel Holding Torque ねじ軸材質 ステンレス鋼 ホールディングトルク 0.028Nm Nut material Chrome-molybdenum steel Rotor inertia 8.9g・cm2ナット材質 クロムモリブデン鋼 ロータイナーシャ Surface hardness Min. HRC55 Operating temperature ねじ部表面硬度 (Thread area) 使用温度範囲 -20℃~ 50℃ Lubricant KSS original grease MSG No.1 Note)Only shaft end cutting is available. 潤滑剤 KSSオリジナルグリース MSG No.1 Other than that, it would be customized order. 注)軸端の切断のみ可能です。 その他の軸端形状は受注生産品となります。 F110 φ4 -0.002-0.010 C0 φ3.7±0.03.3 φ6 φ -0.00611g6-0.017 φ23 φ19.5 C0 24 .±0.3 5 φ20 0-0.025 19±0.2 5~10 C0 500 +30 0 .5 φ5g5-0.004-0.009 MoBo Series Precision Ball Screw type MoBo シリーズ 精密ボールねじタイプ
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Standard products in stock MB series Dimensions & Specifications 標準在庫品 MBシリーズ 寸法諸元 精密ボールねじ+5相ステッピングモータ / Precision Ball Screw + 5-phase Stepping Motor MB0602 Shaft dia(. 軸径)φ6 Lead(リード)2mm Trave(l ストローク)75mm AWG26 UL3265 57 17 X 10.5 46.5±1 (13) 4 5 0602(φ1.0) Y (0.5) 4.5 10 C0 .5 0.3C 0.5+0.1 . 5 R0.2max 0 C0 0.5 銘板 製造 No.C Identification Plate 5.35±0.05 Y 96 X (12.5) 8 (108.5) (116.5) 56.5 173 4-M2.6 Depth / 深さ 2.5 2-φ3.4 2 CD2 φ32P 19±0.2 17 24±0.3 View Y-Y View X-X 矢視 Y-Y 矢視 X-X KR-A5CC Note)Refer to page F159, F160 for connection diagram of Recommended Drivers ( ) recommended Drivers.推奨ドライバ KR-A55MC Micro step 注) 推奨ドライバとの結線はページF159,F160を参照してください。 KR-A535M(Micro step / AC-100~220V) Motor side Supporting plate / モータ側サポートプレート MP-24A or MP-24B Recommended accessories 推奨アクセサリー Supported side Bracket / 支持側ブラケット SP-24 Nut Block / ナットブロック NB-0602 Ball Screw Specifications ボールねじ諸元 Motor Specifications モータ諸元 Accuracy grade 精度等級 JIS C3 Basic step angle 基本ステップ角 0.72° Thread direction Rated Voltage 巻方向 Right 右 定格電圧 DC 1.28 V Axial play 軸方向すきま 0mm Rated current 0.75A/phase 定格電流 0.75A/相 Reference Thrust 50N Winding resistance参考推力 巻線抵抗 1.7Ω Shaft material Stainless steel Holding Torque ねじ軸材質 ステンレス鋼 ホールディングトルク 0.028Nm Nut material Chrome-molybdenum steel Rotor inertia 2 ナット材質 クロムモリブデン鋼 ロータイナーシャ 8.9g・cm Surface hardness Min. HRC55 Operating temperature ねじ部表面硬度 (Thread area) 使用温度範囲 -20℃~ 50℃ Lubricant KSS original grease MSG No.1 Note)Only shaft end cutting is available. 潤滑剤 KSSオリジナルグリース MSG No.1 Other than that, it would be customized order. 注)軸端の切断のみ可能です。 その他の軸端形状は受注生産品となります。 F111 φ4-0.002-0.010 φ3.7±0.03 φ6 φ -0.00615g6 -0.017 φ28 φ19.5 φ20 0-0.025 24±0.3 19±0.2 5~10 +30 500 0 φ5g5-0.004-0.009 MoBo Series Precision Ball Screw type MoBo シリーズ 精密ボールねじタイプ
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Standard products in stock MB series Dimensions & Specifications 標準在庫品 MBシリーズ 寸法諸元 精密ボールねじ+5相ステッピングモータ / Precision Ball Screw + 5-phase Stepping Motor MB0801 Shaft dia(. 軸径)φ8 Lead(リード)1mm Trave(l ストローク)150mm AWG26 UL3265 41 9 32±1 15 2 (11) 4 Y X 0801(φ0.8) (0.5) 4.5 10 C0 .5 0.5C 0.5 R0.2max 0.8+0.1 C 銘板 製造 No. 0 Identification Plate 6.8 +0.10 178 Y X (11) 9 (189) (198) 42 (240) 4-M3 Depth / 深さ 4.5 2-φ3.4 φ52 D20PC 15 View Y-Y 31 ±0.2 矢視 Y-Y 42±0.3 View X-X 矢視 X-X KR-A5CC Note)Refer to page F159, F160 for connection diagram of Recommended Drivers 推奨ドライバ KR-A55MC(Micro step) recommended Drivers. 注) 推奨ドライバとの結線はページF159,F160を参照してください。 KR-A535M(Micro step / AC-100~220V) Motor side Supporting plate / モータ側サポートプレート MP-42A or MP-42B Recommended accessories 推奨アクセサリー Supported side Bracket / 支持側ブラケット SP-42 Nut Block / ナットブロック NB-0801 Ball Screw Specifications ボールねじ諸元 Motor Specifications モータ諸元 Accuracy grade JIS C3 Basic step angle精度等級 基本ステップ角 0.72° Thread direction Right 右 Rated Voltage巻方向 定格電圧 DC 1.28 V Axial play 0mm Rated current 0.75A/phase軸方向すきま 定格電流 0.75A/相 Reference Thrust 300N Winding resistance参考推力 巻線抵抗 1.7Ω Shaft material Stainless steel Holding Torque ねじ軸材質 ステンレス鋼 ホールディングトルク 0.128Nm Nut material Chrome-molybdenum steel Rotor inertia ナット材質 クロムモリブデン鋼 ロータイナーシャ 41g・cm 2 Surface hardness Min. HRC55 Operating temperature ねじ部表面硬度 (Thread area) 使用温度範囲 -20℃~ 50℃ Lubricant KSS original grease MSG No.1 Note)Only shaft end cutting is available. 潤滑剤 KSSオリジナルグリース MSG No.1 Other than that, it would be customized order. 注)軸端の切断のみ可能です。 その他の軸端形状は受注生産品となります。 F112 φ6 -0.002-0.010 φ5.7 0-0.06 φ8 -0.006 φ13g6-0.017 φ26 42±0.3 31±0.2 C φ27.50.5 0φ28-0.025 5~10 500+300 φ -0.0045g5 -0.009 MoBo Series Precision Ball Screw type MoBo シリーズ 精密ボールねじタイプ
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Standard products in stock MB series Dimensions & Specifications 標準在庫品 MBシリーズ 寸法諸元 精密ボールねじ+5相ステッピングモータ / Precision Ball Screw + 5-phase Stepping Motor MB0802 Shaft dia(. 軸径)φ8 Lead(リード)2mm Trave(l ストローク)150mm AWG26 UL3265 41 9 32 ±1 18 2 (14) 4 Y X 0802(φ1.2) 5 (0.5) 4.510 0.C 0.5C R0.2max 0.8+0.1 銘板 製造 No.0 Identification Plate 6.8+0.10 Y X 178 (11) 9 (189) (198) 42 240 4-M3 Depth / 深さ 4.5 2-φ3.4 2 D22 φ5 PC 17 View Y-Y 31±0.2 矢視 Y-Y 42 ±0.3 View X-X 矢視 X-X KR-A5CC Note)Refer to page F159, F160 for connection diagram of Recommended Drivers 推奨ドライバ KR-A55MC(Micro step) recommended Drivers. 注) 推奨ドライバとの結線はページF159,F160を参照してください。 KR-A535M(Micro step / AC-100~220V) Motor side Supporting plate / モータ側サポートプレート MP-42A or MP-42B Recommended accessories 推奨アクセサリー Supported side Bracket / 支持側ブラケット SP-42 Nut Block / ナットブロック NB-0802 Ball Screw Specifications ボールねじ諸元 Motor Specifications モータ諸元 Accuracy grade Basic step angle 精度等級 JIS C3 基本ステップ角 0.72° Thread direction Rated Voltage 巻方向 Right 右 定格電圧 DC 1.28 V Axial play Rated current 0.75A/phase 軸方向すきま 0mm 定格電流 0.75A/相 Reference Thrust 参考推力 150N Winding resistance 巻線抵抗 1.7Ω Shaft material Stainless steel Holding Torque ねじ軸材質 ステンレス鋼 ホールディングトルク 0.128Nm Nut material Chrome-molybdenum steel Rotor inertia 2 ナット材質 クロムモリブデン鋼 ロータイナーシャ 41g・cm Surface hardness Min. HRC55 Operating temperature ねじ部表面硬度 (Thread area) 使用温度範囲 -20℃~ 50℃ Lubricant KSS original grease MSG No.1 Note)Only shaft end cutting is available. 潤滑剤 KSSオリジナルグリース MSG No.1 Other than that, it would be customized order. 注)軸端の切断のみ可能です。 その他の軸端形状は受注生産品となります。 F113 φ6 -0.002-0.010 C φ5.7 0 -0.06 0.5 φ8 φ15g6-0.006-0.017 φ28 42±0.3 C φ27.50 31 .±0.2 5 φ28 0-0.025 5~10 500+300 φ5g5 -0.004-0.009 MoBo Series Precision Ball Screw type MoBo シリーズ 精密ボールねじタイプ