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レーザ変位センサ MELSENSOR MH11

製品カタログ

あらゆる製造現場の生産性および品質の向上を可能にするレーザ変位センサ

◆業界最高クラスの高速・高精度測定
 サンプリング周期10μs最小分解能0.01μmを実現。
◆測定物の特性に合わせた測定が可能

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このカタログについて

ドキュメント名 レーザ変位センサ MELSENSOR MH11
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 1.3Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 三菱電機株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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あらゆる製造現場の生産性および品質の向上を 可能にするレーザ変位センサMH11 こんなことでお困りありませんか? 測定物の特性に合わせた測定が可能 業界最高クラスの高速・高精度測定 サンプリング周期10μs □厚み、幅 例:基板,フィルム等厚み測定 最小分解能0.01μmを実現。 □高さ・段差 例:コネクタ,部品等高さ測定 □振れ・偏芯 例:ディスクロータ振れ測定 □振動 例:超音波溶接機の振動測定 □反り平坦度 例:ガラス基板の平坦度測定 ウェハの平面度測定 三菱電機製品との親和性を追及したコントローラ Before After のメリット バイナリ・アナログ接続 ①測定値変換のプログラム工数がかかる・・・ ①サイクリック通信で簡単に測定値を取込でき、 ②バイナリやアナログ接続はそれぞれ アナログよりもノイズ影響が少なく安心。 ユニットが必要… ②CPU直結でユニットコスト削減。
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センサヘッド製品ラインアップ          :拡散 反 射 測 定      :正反射測定 形名 MH11H11□0□ MH11H08□0□ MH11H05□0□ MH11H03B0□ MH11H01A2□ MH11H01A0□ MH11H01A1□ MH11H35C3□NA MH11H35□0□NA (※1) (NA) (NA) (NA) (NA) (NA) (NA) (NA) 外観 測定中心 距離 および測 350±200mm 350±50mm 110±15mm 85±20mm 50±5mm 30±5mm 15±1mm 10±1mm 8±0.8mm 定範囲 (※2) 分解能 0.1μm 0.15μm 0.05μm 0.025μm 0.01μm 0.01μm 0.01μm (2μm) (0.5μm) (※3) (0.25μm) (0.25μm) (0.25μm) (0.25μm) (0.25μm) (0.25μm) (0.25μm) ±0.03(※4)直線性 / ±0.04~±0.08 ±0.03 ±0.03 ±0.03 ±0.03 ±0.02 ±0.02 ±0.02 [%F.S.] ±0.1(※5) 温度特性 [% 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.02 0.01 0.02 F.S./℃] ビーム径 約400× 約250× 約80× 約100× 約70× 約30× 約30× 約20× 約20× [μm] 約ø400 約ø250 約ø80 約ø100 約ø70 約ø30 約ø30 約ø20 約ø20 6500 3500 1700 1200 1000 1200 1400 700 700 (※6) ※1 形名の末尾がNAではない機種は分解能が0.25μm未満の機種です。 ※1~6. 詳細は商品カタログをご確認ください。 ※2 MH11H01□の値は正反射測定時の仕様です。MH11H01□以外の機種の値は拡散反射測定時の仕様です。 ※3 かっこで囲まれている値は形名の末尾がNAの機種の仕様です。かっこで囲まれていない値は形名の末尾がNAではない機種の仕様です。 ※4 拡散反射測定時の仕様ですG。OTから設定・モニタが可能 システム構成 ※5 正反射測定時の仕様です。 ※6 各機種の左側の欄は小スポットタイプの機種の仕様です。右側の欄はラインスポットタイプの機種の仕様です。 受光波形表示 条件設定 RS 232C 測定データ表示 USB Ethernet/ GOT GT2104PMBD2にサンプル画面データを登録して、コントローラの USB 設定・モニタを行えます。サンプル画面データは三菱電機FAサイト (www.MitsubishiElectric.co.jp/fa)のサンプルライブラリコーナーより /アナログ ダウンロードできます。 Ethernet 他 お問い合わせは下記へどうぞ アナログ