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BPS-i30 ポンプ (半導体・マイクロエレクトロニクス用)

製品カタログ

最大 0.15 MPa 又は 7.4 l/minの小型ポンプシステム

・機械的に接触する部分がないので、パーティクルの発生が極めて 少ないです。
・装置のアップタイムを高められます。
・バルブ、軸受、軸封等が使われていないので、費用のかさむ定期的な分解修理が不要、維持費がかかりません。
・磁気軸受技術を盛り込む自己充足型デザインにより、汚染リスクがないです。
・剪断等で影響を受けやすい流体に対し、穏やかなポンプです。
・狭い隙間や溝がないシンプルな構造で、液体の残渣等がポンプケーシング内に滞留しません。
・脈動が無い、スムースな定常流を得られます。
・回転数又はクローズドループ制御に必要なコントローラが 内蔵されているので組込み費用が安くなります。
・電子的に回転数をコントロールできます。
・エア駆動ベローズポンプ、遠心式マグネットポンプより小型です。小さな取付面積で設備・装置の省スペース化を実現します。
・医療及び半導体業界で実績のあるオリジナル技術を採用しています (平均故障間隔 /MTBF> 50 年)。

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ドキュメント名 BPS-i30 ポンプ (半導体・マイクロエレクトロニクス用)
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取り扱い企業 Levitronix Japan株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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Page 1:超清浄流体用コントローラ一体型ベアリングレスポンプシステムBPS-i300.15 MPa7.4 liters/minベアリングレス・シールレス・パルスレスノンパーティクル・コンタミフリー

Page 2:革新的磁気浮上ポンプシステム BPS-i30図 1: 磁気浮上遠心ポンプの構成図 2: コントローラ内蔵型磁気浮上ポンプの構造図 3: ポンプ部展開図製品概要BPS-i30 ポンプシステムは摩耗する恐れのある軸受がなく、液漏れの恐れのある軸封も使用しない、画期的な遠心ポンプです。磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます (図 1)。インペラとケーシングは、共に耐薬液性の高い高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石と共にポンプヘッドを構成しています。コントローラ及びモータはドライバ・ハウジング (図 2) と一体化されており、ケーブル配線の煩わしさから解放されます。流量と吐出圧は、インペラの回転数を電子回路でコントロールすることにより、正確に制御されますので脈動がありません。クローズドループの流量或は圧力制御システムは、流量或は圧力計を追加使用することにより簡単に構築可能です。その他、以下の節で説明があるように様々なシステムの構成が可能です。システムの利点 機械的に接触する部分がないので、パーティクルの発生が極めて少ないです。 装置のアップタイムを高められます。 バルブ、軸受、軸封等が使われていないので、費用のかさむ定期的な分解修理が不要、維持費がかかりません。 磁気軸受技術を盛り込む自己充足型デザインにより、汚染リスクがないです。 剪断等で影響を受けやすい流体に対し、穏やかなポンプです。 狭い隙間や溝がないシンプルな構造で、液体の残渣等がポンプケーシング内に滞留しません。 脈動が無い、スムースな定常流を得られます。 回転数又はクローズドループ制御に必要なコントローラが内蔵されているので組込み費用が安くなります。 電子的に回転数をコントロールできます。 エア駆動ベローズポンプ、遠心式マグネットポンプより小型です。小さな取付面積で設備・装置の省スペース化を実現します。 医療及び半導体業界で実績のあるオリジナル技術を採用しています(平均故障間隔 /MTBF> 50 年)。用途 半導体ウェットプロセス (洗浄、CMP 等) PCB、電子部品メッキ 太陽電池製造 FPD 製造 ハードディスク基板製造 印刷用インク、研磨液 化学薬品製造、製薬・医薬製造 EL 薬品/ファインケミカル製造 レドックスフロー二次電池のような電解液循環ドライバハウシングポンプヘッドインペラ内蔵コントローラ内蔵ベアリングレスモータ一体型ポンプドライババックケーシングインペラフロントケーシングO-リング

Page 3:システムの特長スタンドアロン方式の特長図 7 と図 11 にユーザパネルと速度を手動設定する為のボタンスイッチを組み込んだプラグアンドプレイタイプのスタンドアロン方式のポンプシステムを紹介します。このドライバには遠隔速度制御の為のデジタル、アナログ信号用 PLC インタフェースも装備されています。付属品としてデスクトップ AC/DC 電源、電源接続ケーブル、PLC インタフェースケーブルが提供されています。図 4: BPS-i30 の圧力-流量性能曲線 (水相当)図 5: ポンプの方式図 6: ダイナミック・コンデイション・トレンデイング (DCT、フィルタ管理等)(流量一定制御時の回転数上限アラーム)イージーコネクト方式の特長イージーコネクト方式 (図 8 と図 13 参照) のシステムには文字通り、最少のセットアップで様々なシステム構成の接続を実現する為の付属ケーブルが用意されています。二つのフィールドバスコネクタ (IN 及び OUT) を利用することで複数ポンプの接続配列が可能です。例えば図 9 の様にポンプを直列に接続することができます。PLC インタフェース利用して、デジタル・アナログ信号に拠る遠隔操作だけでなく、外部センサを接続して、正確な流量或は圧力制御をすることも可能です (下記注参照)。モータとケーブル接続部を薬液から保護する機能を高める為にコネクタ保護カバーが用意されております (図 18 参照)。OEM 方式の特長OEM 方式 システムは、一組のドライブケーブルにインタフェースに必要な全ての信号線や電源線を網羅させることにより、コンパクトにポンプの組み込みができるように設計されたシステムです (図 10 及び図 15 参照)。ケーブル仕様は基本的にイージーコネクト方式システムで考えられ得る全ての接続構成での組み込みが可能となる用件を満たしております。フィードバックセンサによるプロセス制御流量と圧力のような外部のプロセスパラメータにより、流量及び圧力を制御し、監視することが可能です (図 10)。BPS-i30 ポンプシステムに LEVIFLOW®流量計を接続して比類なき超高純度流量制御システムを構築する事が可能となりました。Levitronix®は、クローズドループの制御のターン・キー・ソリューションを御提供できるばかりでなく、独自のクローズドループ制御システムの設計のお手伝いも可能です。又、CMP スラリー、表面処理薬液、メッキ液、超純水及び溶剤等の流体処理で培われた充分な経験があります。Levitronix®流量制御システムの多機能性は、単純な流量コントローラの能力を遥かに超えます。流量制御機能に加えて、Levitronix®制御ファームウェアには、流体回路全体の性能を監視する為に、いくつかの状態モニタ機能があります。例えば Levitronix®流量制御システムは保全のフィルタ交換が必要になった場合や、流路が停止状態になった場合、目詰まりを起こしている場合などに警告を出力することができます。ダイナミック・コンデイション・トレンデイング (DCT) 機能を使えば、故障が発生する前に状況を把握し、予防保全の日程を決めることが可能となります (図 6)。スタンドアロン方式イージーコネクト方式OEM 方式

Page 4:システム構成図 7: 主なオプション部品付きのスタンドアロン方式の標準システム構成(番号表示のコンポーネントとその他のオプション部品の詳細については、「注文の情報」を参照願います。)図 8: 主なオプション部品付きのイージーコネクト方式の標準システム構成(番号表示のコンポーネントとその他のオプション部品の詳細については、後述 「注文の情報」 を参照願います。)12e5b8b5c8b798a15a62c2d

Page 5:システム構成図 9: イージーコネクト方式の直列圧送の構成(番号表示のコンポーネントとオプション部品の詳細については、後述 「注文の情報」 を参照願います。)図 10: 主なオプション部品付きの OEM 方式の標準システム構成(番号表示のコンポーネントとオプション部品の詳細については、後述 「注文の情報」 を参照願います。)2d 2d 2d12c12c12c7 9 8b 7 78a 8a1115a62a2b

Page 6:モデルの説明 - スタンドアロン方式インタフェース 線名 説明 指定 仕様電源P 24 V DC電源電圧 24 V DC ±10%電力: 35 WP- アース/グラウンドNC 未接続 -- --PLC 6Din1 デジタル入力イネーブル(リセット)フォトカプラによるガルバニック絶縁最小内部抵抗 2.2 kΩ、5-24V で有効Din_COMデジタル入力共通グラウンド-- デジタル入力用のリファレンスAin1アナログ入力 1(電流入力)設定値 (SV)(回転数)アナログ電流入力 4 - 20 mA(450 Ω シャント抵抗、非ガルバニック絶縁)Ain_GNDアナログ入力グラウンド-- アナログ入力用のリファレンスDout1 デジタル出力 ステータスオープンドレイン、最大 24 V, 100 mA参照基準は GNDGND 出力グラウンドド -- 出力のリファレンス (デジタル)ディスプレイ及びボタン-- ディスプレイ回転数とステータス表示---- アップ/ダウン 回転数設定 ---- オン/オフイネーブル/ディスエーブル--図 11: スタンドアロン方式のインタフェースの仕様図 12: 標準のスタンドアロン方式の基本寸法及び説明 (単位: mm [インチ])(ポンプヘッド LPP-30.1 付きドライバ IPD-30.5)電源コネクタ PLC コネクタ入口/出口接続口:ピラー スーパー300 FM 3/8“12e4PLC コネクタ用保護カバー(ドライバパッケージに付属)ポンプヘッドLPP-30.1ドライバ IPD-30.5(エポキシ塗装)ポンプ取付ベース MBP-i30(ドライバパッケージに付属)ディスプレイユーザ・ボタン

Page 7:モデルの説明 - イージーコネクト方式インタフェース 線名 説明 指定 仕様電源P 24 V DC電源電圧 24 V DC ±10%電力: 35 WP- アース/グラウンドNC 未接続 -- --PLC 12Din1 デジタル入力 1 イネーブル (リセット) オプトカプラによるガルバニック絶縁2.2kΩ入力抵抗、5-24V で有効Din2 デジタル入力 2 プロセスモードDin_COM デジタル入力共通 -- デジタル入力用のリファレンスAin1アナログ入力 1(電流入力)測定値 (PV)アナログ電流入力 4 - 20 mA(450Ωシャント抵抗、非ガルバニック絶縁)Ain2アナログ入力 2(電圧入力)設定値 (SV)アナログ入力電圧 0 – 10V(7.9kΩ抵抗負荷、非ガルバニック絶縁)Ain_GND アナログ入力 グランド -- アナログ入力用のリファレンスDout1 デジタル出力 1 ステータス オープンドレイン、最大 24V、100mA参照基準は GNDDout2 デジタル出力 2 エラーAout1アナログ出力(電圧出力)実際回転数実際プロセス値0 -10V (直結、保護なし)参照基準は GNDGND 出力グラウンド -- 出力/Pout のリファレンス (アナログ、デジタル)Pout 出力 24 VDC 電源出力外部デバイスの供給 (ディスプレイ等)(200 mA 電流、フィールドバス OUT と共通)NC 未接続 -- --フィールドバスOUTGND グラウンド -- AGND と接続され電源の参照基準Pout 出力 24 VDC 電源出力外部デバイスへの供給 (ユーザパネル等)(200 mA 電流、PLC 12 と共通)RS-485 RS-485 フィールドバス Modbus プロトコルRS-485- RS-485 -Internal 内部バス 接続禁止ポンプの直列制御為の内部のバスInternal 内部バス 接続禁止フィールドバスInGND グラウンド -- AGND と接続され電源の参照基準NC 未接続 -- --RS-485 RS-485 フィールドバス Modbus プロトコルRS-485- RS-485 -Internal 内部バス 接続禁止ポンプの直列制御為の内部のバスInternal 内部バス 接続禁止図 13: イージーコネクト方式のインタフェースの仕様図 14: 標準のイージーコネクト方式の基本寸法及び説明 (単位: mm [インチ])(ポンプヘッド LPP-30.1 付きドライバ IPD-30.3 及び IPD-30.4)保護カバー用スレッドフィールドバスIN コネクタ電源コネクタフィールドバスOUT コネクタPLC コネクタ12c4PLC 及びフィールドバスコネクタ用保護カバーナット(ドライバパッケージに付属)ポンプヘッドLPP-30.1 ドライバ IPD-30.3(エポキシ塗装)ポンプ取付ベース MBP-i30(ドライバパッケージに付属)2dドライバ IPD-30.4(ETFE 塗装)入口/出口接続口:ピラー スーパー300 FM 3/8“

Page 8:モデルの説明 - OEM 方式線名 説明 指定 仕様Din1 デジタル入力 1 イネーブル (リセット) オプトカプラによるガルバニック絶縁2.2kΩ入力抵抗、5-24V で有効Din2 デジタル入力 2 プロセスモードDin_COM デジタル入力共通 -- デジタル入力用のリファレンスAin1アナログ入力 1(電流入力)測定値 (PV)アナログ電流入力 4 - 20 mA(450Ωシャント抵抗、非ガルバニック絶縁)Ain2アナログ入力 2(電圧入力)設定値 (SV)アナログ入力電圧 0 – 10V(7.9kΩ抵抗負荷、非ガルバニック絶縁)Ain_GND アナログ入力 グランド -- アナログ入力用のリファレンスDout1 デジタル出力 1 ステータス オープンドレイン、最大 24V、100mA参照基準は GNDDout2 デジタル出力 2 エラーAout1アナログ出力(電圧出力)実際回転数実際プロセス値0 -10V (直結、保護なし)参照基準は GNDGND 出力グラウンド -- 出力/Pout のリファレンス (アナログ、デジタル)RS-485 RS-485 フィールドバス Modbus プロトコルRS-485- RS-485 -NC 接続禁止 -- 未使用NC 接続禁止 -- 未使用Shield シールド線 シールデイング グランドに接続する (線名 P- 参照)P 24 V DC電源電圧 24 V DC ±10%電力 35 WP- アース/グラウンド図 15: OEM 方式のインタフェースの仕様注: 電源線の断面積は 1.5 mm2、信号線は 0.14mm2注: インタフェースの詳細についてはユーザマニュアルを参照ください。図 16: 標準の OEM 方式の基本寸法及び説明 (単位: mm [インチ] )(ポンプヘッド LPP-30.1 付きドライバ IPD-30.1及び IPD-30.2)シーリング線電源線信号線12aポンプヘッドLPP-30.1ドライバ IPD-30.1(エポキシ塗装)ドライバケーブル(PVC 被覆/オープン線端末)2bドライバ IPD-30.2(ETFE 塗装)ドライバケーブル(PVC 被覆/オープン線端末)入口/出口接続口:ピラー スーパー300 FM 3/8“

Page 9:アクセサリの説明図 17: 標準ケーブルの基本寸法及び仕様 (単位: mm)図 18: 耐化学品保護を強化する為のドライバコネクタ保護カバーの基本コンセプトケーブルスクリューナットコネクタカバーケーブルガスケット(ケーブル据付の為のスリット付き)ドライバボトムガスケット未使用のコネクタのガスケット付きの保護カバーナットがドライバパッケージに付属注: 化学品保護カバーはケーブルコネクタを分解せずに取り付け可能ケーブルシーリングドライバボトムシーリング10a1010b7 IPS 電力ケーブル ICP-1.1 (イージーコネクト方式及びスタンドアロン方式用) 8a IPS 信号ケーブル ICS-1.1 (イージーコネクト方式用)8b IPS 信号ケーブル ICS-1.2 (イージーコネクト方式及びスタンドアロン方式用)ドライバ側 AC/DC 電源側 ドライバ側フィールドバス OUT ドライバ側フィールドバス IN9 IPS 信号ケーブル ICS-2.1 (イージーコネクト方式用)イージーコネクト方式: フィールドバス側スタンドアロン方式: PLC 側 外部インタフェース側 ドライバ側 PLC 外部 PLC

Page 10:注文の情報システム名 部品番号 ポンプヘッド ドライバ ファームウェア 備考BPS-i30.1 100-90831 LPP-30.1 (ピラー 3/8”) IPD-30.1-50-01 H1.48 OEM - PTFE ポンプヘッド、エポキシ塗布ドライバ、5 m オープン線端末 PVC ケーブルBPS-i30.2 100-90832 LPP-30.1 (ピラー 3/8”) IPD-30.2-50-01 H1.48 OEM - PTFE ポンプヘッド、ETFE 塗布ドライバ、5 m オープン線端末 FEP ケーブルBPS-i30.3 100-91022 LPP-30.1 (ピラー 3/8”) IPD-30.3-01 (MBP-i30.1 付属) H1.36 イージーコネクト方式 - PTFE ポンプヘッド、エポキシ塗布ドライバ、インタフェースコネクタBPS-i30.4 100-91023 LPP-30.1 (ピラー 3/8”) IPD-30.4-01 (MBP-i30.1 付属) H1.36 イージーコネクト方式 - PTFE ポンプヘッド、ETFE 塗布ドライバ、インタフェースコネクタBPS-i30.5 100-90987 LPP-30.1 (ピラー 3/8”) IPD-30.5-01 (MBP-i30.1 付属) H1.25 スタンドアロン方式 - PTFE ポンプヘッド、エポキシ塗布ドライバ、ユーザパネル表 1: 標準システム構成位置 コンポーネント 部品名称 部品番号 特性 値・特徴1 ポンプヘッド LPP-30.1 100-90828インペラ / ケーシングO-リング接続口高純度 PTFE / PTFE (接液部品)Kalrez®Perfluoroelastomer 28.3 x 1.78 - Kalrez は DuPont の商標名です。ピラー Super 300 3/8” (メス)最大差圧 - 最大流量 / 最大静圧最高粘度 - 最高密度 / 最高流体温度最大 0.15 MPa 又は 7.4 l/min (図 4 参照) / 1.0 MPa@25℃, 0.61 MPa@70℃10 cP 及び 1.8 g/cm3まで (注意: 比重と粘度により、性能曲線が変わります) / 70℃重量 0.12 kg2a2b一体型ポンプドライバ(OEM 方式)IPD-30.1-50-01IPD-30.2-50-01100-10075100-10076電圧 / 電力 24 V DC ±10% / 35 Wドライバ・ハウジングa: エポキシ塗装アルミニウム (高耐食性、膜厚: 120-160 µm、色: RAL 5010)、ボトムリッド: PPb: ETFE 塗装アルミニウム (耐薬品性、膜厚: 120-200 µm、色: RAL 9022)、ボトムリッド: PPPLC ケーブル / コネクタa: PVC 被覆ケーブル 5 m x 1 本 / オープン線端末b: FEP 被覆ケーブル 5 m x 1 本 / オープン線端末インタフェース RS-485 Modbus、PLC と電源 (図 15 参照) ファームウェア: H1.48重量 / 防塵・防水・保護等級 2.0 kg / IP65 (IP67 に準拠して設計、テストされています)2c2d一体型ポンプドライバ(イージーコネクト方式)IPD-30.3-01(MBP-i30.1 付属)IPD-30.4-01(MBP-i30.1 付属)100-10095100-10096電圧 / 電力 24 V DC ±10% / 35 Wドライバ・ハウジングc: エポキシ塗装アルミニウム (高耐食性、膜厚: 120-160 µm、色: RAL 5010)、ボトムリッド: PPd: ETFE 塗装アルミニウム (耐薬品性、膜厚: 120-200 µm、色: RAL 9022)、ボトムリッド: PPインタフェース 2 x フィールドバ RS-485 Modbus、PLC と電源 (図 13 参照) ファームウェア: H1.36重量 / 防塵・防水・保護等級 0.8 kg / IP65 (IP67 に準拠して設計、テストされています)2e一体型ポンプドライバ(スタンドアロン方式)IPD-30.5-01(MBP-i30.1 付属)100-10092電圧 / 電力 24 V DC ±10% / 35 Wドライバ・ハウジング e: エポキシ塗装アルミニウム (高耐食性、膜厚: 120-160 µm、色: RAL 5010)、ボトムリッド: PPインタフェース 3 ボタンのユーザパネル、PLC と電源 (図 11 参照)重量 / 防塵・防水・保護等級 0.8 kg / IP65 (IP67 に準拠して設計、テストされています) ファームウェア: H1.25表 2: 標準コンポーネントの仕様番号 コンポーネント 部品名称 部品番号 特性 値・特徴3 インペラ交換部品 IEK-30.1 100-90837インペラ (a) / O-リング (b)ポンプケーシング用ネジ (c)ポンプ/ドライバ取り付け用ネジ (d)インペラ交換工具 (e)LPI-30.1: PFA / Kalrez®28.3 x 1.78 mmM5x14 (6 本) PTFE 被覆 (耐薬品性、膜厚: ~30 µm、色: RAL 9003) ステンレス鋼 (A4/316)M3x10 (4 本) PTFE 被覆 (耐薬品性、膜厚: ~30 µm、色: RAL 9003) ステンレス鋼 (A4/316)IET-30.1: POM-C4ポンプ取付ベース(マウント・ベース)MBP-i30.1 190-10313材質ベース取付ネジPP (30%ガラス繊維強化)M3x10 (2 本) FEP 塗布ステンレス製5a AC/DC 電源TPC 055-124(Traco 社)100-40014電圧 / 電力 / 入力電圧 / 周波数基本寸法 / 規格・認証24 V DC / 55 W / 85 – 264 V AC (自動検出) / 47 – 63Hz45 x 90 x 96.5 mm (DIN レール 35 mm 搭載) / UL, CSA, CB, Semi F475bデスクトップAC/DC 電源AC/DC 電源 VEC50US24HR30 (XP Power 社)100-40015電圧 / 電力 / 入力電圧 / 周波数基本寸法 / 安全認証注24 V DC / 50 W / 90 – 264 V AC (自動検出) / 47 – 63Hz116 x 52 x 31 mm / IEC60950-1, EN60950-1, UL/cUL60950-1電源はドライバの電源入力コネクタと直接接続、ケーブル長さ 1.2 m (ヒロセ HR30 コネクタ)5cAC 電源ケーブル(AC/DC 電源5b 用)AMC-1.1 (2m)AMC-1.2 (2.5 m)AMC-1.3 (2.5 m)AMC-1.4 (2.5 m)AMC-1.5 (2.5 m)190-10331190-10332190-10333190-10334190-10335国 / 規格国 / 規格国 / 規格国 / 規格国 / 規格米国、カナダ / UL, cULドイツ、デンマーク、ノルウェー、フィンランド、ベルギー、オランダ、スウェーデン、オーストリア / CB日本 / PSEスイス / CE英国 / CEケーブル仕様 黒色、ROHS6USB/RS-485 変換アダプタ TR 絶縁型YN-485I-TR 100-30392構造・デザイン USB コネクタ (a)、変換ケーブルタ付ターミネータコネクタ (b)、外部 RS-485 ケーブル接続用コネクタ (c) ケーブルの長さ 2m目的 フィールドバスを利用したドライバと PC との接続表 3: オプション部品の仕様番号 コンポーネント 部品名称 部品番号 特性 値・特徴7IPS 電力ケーブル 3 心線ICP-1.1-50 (5m) 190-10342ケーブル材質 / ワイヤコネクタ形式目的PVC 被覆 / 3 x 0.5 mm2(2 線使用、1 線切断)In 側: オープン線, Out 側: ヒロセ HR30 コネクタイージーコネクト方式及びスタンドアロン方式の電源 (5a) の接続8aIPS 信号ケーブル 6 心線ICS-1.1-01 (0.1 m)ICS-1.1-10 (1 m)ICS-1.1-30 (3 m)190-10343190-10344190-10345ケーブル材質 / ワイヤコネクタ形式目的PVC 被覆 / 6 x 0.08 mm2及びシールド線In 側: オープン線, Out 側: ヒロセ HR30 コネクタイージーコネクト方式及びスタンドアロン方式の電源 (5a) の接続8bIPS 信号ケーブル 6 心線ICS-1.2-50 (5 m) 190-10346ケーブル材質 / ワイヤコネクタ形式目的PVC 被覆 / 6 x 0.08 mm2及びシールド線In 側: ネジタイププラグのオープン線コネクタ, Out 側: ヒロセ丸型イージーコネクト方式のフィールドバス接続及びスタンドアロン方式の PLC 接続9IPS 信号ケーブル 12 心線ICS-2.1-50 (5 m) 190-10347ケーブル材質 / ワイヤコネクタ形式目的PVC 被覆 / 12 x 0.14 mm2及びシールド線In 側: ネジタイププラグのオープン線コネクタ, Out 側: ヒロセ丸型イージーコネクト方式の PLC 接続10a10b10cコネクタ用保護カバーナットCPC-1.1CPC-1.2CPC-1.5190-10349190-10350190-10352材質防塵・防水・保護等級CPC-1.1 目的CPC-1.2 目的CPC-1.5 目的PP (30%ガラス繊維強化) 及び FPM/FKM (モータハウジングシール用平形ガスケット)IP65 (IP67 に準拠して設計、テストされています)ICP-1.x 及び ICS-1.x ケーブルのドライバコネクタの化学品保護ICS-2.x ケーブルのドライバコネクタの化学品保護フィールドバス終端コネクタの化学品保護11フィールドバス終端コネクタFTC-1.1 190-10348材質 / 防塵・防水・保護等級目的コネクタハウジング: PPS, シーリング: FPM / IP67 に準拠して設計、テストされています。フィールドバスの終端表 4: ケーブルと他のアクセサリの仕様

Page 11:構成ユニット図 19: 標準構成のポンプシステム図 20: オプション部品図 21: ケーブルと他のアクセサリ2a112b3c3a3b3d3e6b6c46a8a75b2c2d2e8b 910a 10b 10c 115a5c

Page 12:LEVITRONIX®社について技術データは拘束力がなく、製品の特性をはっきりと保証するものではなく、変更される可能性があります。 ©Levitronix 初リリース: 2013 年 07 月 26 日、最終更新日: 2017 年 03 月 16 日、PL-4041-00、Rev01、DCO# 17-007Levitronix®は、磁気浮上ベアリングレスモータ技術での世界のリーダです。Levitronix®は、半導体産業、医療及びライフサイエンス市場にベアリングレスモータ技術を紹介した最初の会社です。ISO 9001 の認定を受けております。生産及び品質管理部門はスイスに所在しています。更に、Levitronix®は、LEVIFLOW®の流量計のような高度に革新的な製品を積極的に市場に提供しています。www.levitronix.com本社及び欧州連絡先 米国連絡先 日本連絡先 台湾連絡先Levitronix GmbHTechnoparkstr. 1CH-8005 ZurichSwitzerlandPhone: 41 44 445 19 13Fax: 41 44 445 19 14E-Mail: salesEurope@levitronix.comLevitronix Technologies LLC20 Speen Street, Suite 102Framingham, Massachusetts 01701USAPhone: 1 508 861 3800Fax: 1 508 861 3837E-Mail: salesUS@levitronix.comLevitronix Japan 株式会社〒111-0053東京都台東区浅草橋 4-16-4ウイングエイト 5FPhone: 81 3 5823 4193Fax: 81 3 5823 4195E-Mail: salesJapan@levitronix.comLevitronix Taiwan5F, No.251, Dong Sec 1, Guangming6th Rd., Chu Pei City, HsinChu 302Taiwan, R.O.C.Phone: 886 3 657 6209Fax: 886 988 321472E-Mail: salesAsia@levitronix.com