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BPS-4H (高温) ポンプ (半導体・マイクロエレクトロニクス用)

製品カタログ

最大 180℃流体、0.32 MPa 又は 50 l/minのポンプシステム

・機械的に接触する部分がないので、パーティクルの発生が極めて少ないです。半導体洗浄プロセスでの微粒子による汚染においては、他のポンプに比べ 10~50 倍微粒子の発生が少なくなります。
・装置のアップタイムを高められます。
・バルブ、軸受、軸封等が使われていないので、費用のかさむ定期的な分解修理が不要、維持費がかかりません。
・磁気軸受技術を盛り込む自己充足型デザインにより、汚染リスクがないです。
・剪断等で影響を受けやすい流体に対し、穏やかなポンプです。
・狭い隙間や溝がないシンプルな構造で、液体の残渣等がポンプケーシング内に滞留しません。
・脈動が無い、スムースな定常流を得られます。
・電子的に回転数をコントロールできます。
・エア駆動ベローズポンプ、遠心式マグネットポンプより小型です。小さな取付面積で設備・装置の省スペース化を実現します。
・医療及び半導体業界で実績のあるオリジナル技術を採用しています。

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ドキュメント名 BPS-4H (高温) ポンプ (半導体・マイクロエレクトロニクス用)
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取り扱い企業 Levitronix Japan株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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ベアリングレスポンプシステム BPS-4H (高温) 0.32 MPa (硫酸) 50 liters/min 最大 180℃ ベアリングレス・シールレス・パルスレス ノンパーティクル・コンタミフリー
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革新的磁気浮上ポンプシステム BPS-4H (高温) 製品概要 BPS-4 ポンプシステムは摩耗する恐れのある軸受がなく、液漏れの恐れの ある軸封も使用しない、画期的な遠心ポンプです。磁気浮上の原理に基 づいて、ポンプのインペラは密閉されたケーシングの中で非接触に浮上し、 モータの回転磁界によって駆動されます (図 1)。 インペラとケーシングは、共に耐薬液性の高い高純度フッ素樹脂で造られ ています。これらはロ-タ磁石と共にポンプヘッドを構成しています。寿命と性 能テストは、高温の硫酸・リン酸とオゾン硫酸及び硫酸過水の混合液で行 いました。 高温の液体によりモータ内の電子部品が過熱しないようにモータには水冷 用の冷却ループ (図 2) が付属されています。 流量と吐出圧は、インペラの回転数を電子回路でコントロールすることによ り、正確に制御されますので脈動がありません。クローズドループの流量或 は圧力制御システムは、流量或は圧力計を追加使用することにより簡単 に構築可能です。その他、以下の節で説明があるように様々なシステムの 図 1: 磁気浮上遠心ポンプの構成 構成が可能です。 シ ステムの利点  機械的に接触する部分がないので、パーティクルの発生が極めて 少ないです。半導体洗浄プロセスでの微粒子による汚染においては、 他のポンプに比べ 10~50 倍微粒子の発生が少なくなります。  装置のアップタイムを高められます。 ベアリングレスモータ  バルブ、軸受、軸封等が使われていないので、費用のかさむ定期的な 分解修理が不要、維持費がかかりません。  磁気軸受技術を盛り込む自己充足型デザインにより、 モータ冷却 汚染リスクがないです。 インペラ ループ  剪断等で影響を受けやすい流体に対し、穏やかなポンプです。  狭い隙間や溝がないシンプルな構造で、液体の残渣等が ポンプケーシング内に滞留しません。  脈動が無い、スムースな定常流を得られます。  電子的に回転数をコントロールできます。  エア駆動ベローズポンプ、遠心式マグネットポンプより小型です。 小さな取付面積で設備・装置の省スペース化を実現します。  医療及び半導体業界で実績のあるオリジナル技術を採用しています。 ポンプヘッド 用途 図 2: BPS-4Hのポンプヘッドとベアリングレスモータの構造  半導体ウエハ処理プロセス向け高温ウェットプロセス  最大 180°C までの硫酸とリン酸の圧送が可能  最大 150°C までのオゾン硫酸 (SOM) 又は硫酸過水 (SPM) の 圧送が可能
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システムの特長 スピードモードのシステムの構成 ベアリングレスモータ BPS-4H を単独運転でご使用される場合、ハンドヘルド (LUI-A.1)をコ ントローラの RS-232 ポートに接続し手動で回転数をコントロールできます (図 6)。 フロントケーシング アナログとデジタルの信号で外部からコントロールする場合には PLC モジュ ール (PLC-A.1) をコントローラに接続し PLC インタフェースからアナログ信 号で回転数を設定でき、その他の様々なデジタル信号で運転をコントロー ルできます (図 7)。 より複雑な操作とコントロールが必要な場合の為にコントローラに RS-232 インペラ リアケーシング インタフェースが準備されています。 O-リング 又、RS-232 インタフェースで PC と接続し、Levitronix®サービス・ソフト ウェアと通信することにより、制御パラメータの変更、ファームウエアの更新、 図 3: BPS-4Hのポンプヘッド分解図 故障解析が可能です。 プロセスモードの方式の構成 BPS-4H ポンプシステムに流量計を接続して比類なき超高純度流量制 御システムを構築する事が可能となりました。 (図 7)。Levitronix®は、ク ローズドループ制御のターン・キー・ソリューションを御提供できるばかりでな く、顧客独自のクローズドループ制御システムの設計のお手伝いも可能で す。又、CMP スラリー、表面処理薬液、メッキ液、超純水及び溶剤等の 流体処理で培われた充分な経験があります。 Levitronix®流量制御システムには単純な流量コントローラの能力をはる かに超えるマルチ機能があります。制御機能に加えて、Levitronix®コント ローラ・ファームウェアには、流体回路全体を監視する為に、いくつかの状態 モニタ機能があります。 図 4: BPS-4Hのの圧力-流量性能曲線 (150℃で 96%の硫酸) 例えば Levitronix®流量制御システムは保全の為のフィルタ交換が必要 な場合や、流路が停止状態の場合、目詰まりが生じた場合などに警告を 出力することができます。ダイナミック・コンデイション・トレンデイング (DCT) 機能を使えば、故障が発生する前に状況を把握して、予防保全を実行す ることが可能となります (図 5)。 酸・ガス混合物の圧送のシステム構成 遠心ポンプにとってガスの混入は、性能に著しく影響を与えます。SOM (H2SO4 + O3、オゾン硫酸) もしくは SPM (H2SO4 + H2O2、硫酸過 水) のような高温酸化剤にガスが混合している場合、圧送の際、ポンプヘ ッド内に気泡集合が生じて、NPSH 不足に因る呼び水不良をもたらす危 険があります。図 8 に紹介する方法で対処できる可能性があります。 Levitronix のエンジニアリングチームは、様々な経験に基づき設計のサポ ートをいたします。 図 5: ダイナミック・コンデイション・トレンデイング (DCT、フィルタ管理等) (流量一定制御時の回転数上限アラーム)
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システム構成 3 9 1 5 2 8 7 図 6: スピードモード (回転数制御) の標準のシステム構成 3 9 1 5 2 7 図 7: PLCインタフェースモジュールによるプロセスモード (流量又は圧力制御) のシステム構成 3 9 1 5 2 8 7 図 8: 酸・ガス混合物のシステム構成 (SOM = H2SO4+O3 及び SPM = H2SO4+H2O2)
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主要構成部品の基本寸法 コントローラ 3 LC325P 図 9: コントローラ L325Pの基本寸法 (単位: mm [インチ]) サクションポート: 入口/出口接続口: ピラーSuper 300 1/4" ピラーSuper 300 1" 1 ポンプヘッド CP-4.25 冷却ループ入口 ピラーSuper 300 1/4" 2 冷却ループ出口 モータ BSM-4.10 ピラーSuper 300 1/4" 図 10: ポンプヘッド CP-4.25付きモータ BSM4.10の基本寸法 (単位: mm [インチ])
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注文の情報 システム名 部品番号 ポンプヘッド モータ コントローラ ファームウェア 備考 表 3 (位置 4a 及び 4b) による延長アダプタケーブル (0.5~10 m) は、指定の長さで別部品として発 BPS-4H.1 100-90688 CP-4.25 (ピラー 1”) BSM-4.10.-05 LC325P S4.48 注する必要があります。認証: CE, UL (NRTL)。 表 1: 標準システム構成 位置 コンポーネント 部品名称 部品番号 特性 値・特徴 インペラ / ケーシング (接液部品) PTFE / PTFE O-リング Kalrez® Perfluoroelastomer 98.02 x 3.53 - Kalrez は DuPont の商標名です。 接続口 ピラーSuper 300 1” (メス) CP-4.25 サクションポート接続口 ピラーSuper 300 1/4” (オス) 1 ポンプヘッド 100-90565 (高温) 最大差圧 - 最大流量 最大 0.32 MPa 又は 50 l/min (150℃、96%硫酸、図 4 参照) 最大静圧 0.77 MPa@25℃, 0.35 MPa@180℃ 評価薬液 / 温度 硫酸及びリン酸 180°C まで、酸・ガス混合 SOM (H2SO4 + O3) と SPM (H2SO4 + H2O2) 150℃まで 重量 2.6 kg モータハウジング ETFE 塗装アルミニウム (耐薬品性、膜厚: 120-200 µm、色: RAL 9022)、防水構造 ケーブル / コネクタ FEP 被覆ケーブル 0.5 m x 2 本 / 丸型 (M23 タイプ) x2 個 (延長アダプタケーブル必要) モータ BSM-4.10-05 2a 100-10061 水冷接続口 ピラーSuper 300 1/4” (オス) (水冷却) (高温) 水冷流量 水、0.5 – 1.0 l/min @ 10 - 20℃、最大圧力 0.4MPa 重量 / 防塵・防水・保護等級 12.6 kg / IP67 (コネクタ部を除く状態にて) 単相 230 V AC ±10% / 11.6 A (ファームウェアで制限) / 2.5 kW (但し、ファームウェアで 1.5 kW に制限) @ 50/60 Hz 電圧 / 電流 / 電力 3相 200 及び 208 V AC ±10% / 8.0 A (ファームウェアで制限) / 2.5 kW (但し、ファームウェアで 1.5 kW に制限) @ 50/60 Hz 100-90332 RS-232 (サービス及びシステム監視及び 3b コントローラ LC325P 給電及び PLC ファームウェア: S4.48 LUI.A.1 インタフェース用) コネクタを含む インタフェース PLC 接続 3x デジタル入力 (0-24 V、フォトカプラ) 3x デジタル出力 (0-24 V、リレー) PLC-A.1 2x アナログ入力 (4-20 mA、抵抗負荷) 必要 2x アナログ出力 (0-5 V、ローパスフィルタ) 重量 / 防塵・防水・保護等級 3.4 kg / IP20 表 2: 標準コンポーネントの仕様 部品名称 部品番号 番号 コンポーネント 特性 値・特徴 センサケーブル パワーケーブル センサーケーブル パワーケーブル MCAS-3.2-05 (0.5 m) MCAP-4.4-05 (0.5 m) 190-10244 190-10247 被覆材質 FEP 延長アダプタケーブル MCAS-3.2-30 (3 m) MCAP-4.4-30 (3 m) 190-10094 190-10095 コネクタ形式 (センサー) モータ側: 丸型 AMP / コントローラ側: D-SUB 4 センサ用 (a) MCAS-3.2-50 (5 m) MCAP-4.4-50 (5 m) 190-10026 190-10096 コネクタ形式 (パワー) モータ側: 丸型 AMP / コントローラ側: Combicon パワー用 (b) MCAS-3.2-70 (7 m) MCAP-4.4-70 (7 m) 190-10245 190-10248 コネクタ材質 金属製 (ニッケル被覆、モータ側コネクターの材質) MCAS-3.2-100 (10 m) MCAP-4.4-100 (10 m) 190-10246 190-10249 MCAS-3.5-05 (0.5 m) MCAP-4.5-05 (0.5 m) 190-10250 190-10254 被覆材質 PVC 延長アダプタケーブル MCAS-3.5-30 (3 m) MCAP-4.5-30 (3 m) 190-10251 190-10255 コネクタ形式 (センサー) モータ側: 丸型 M23 / コントローラ側: D-SUB 5 センサ用 (a) MCAS-3.5-50 (5 m) MCAP-4.5-50 (5 m) 190-10169 190-10171 コネクタ形式 (パワー) モータ側: 丸型 M23 / コントローラ側: Combicon パワー用 (b) MCAS-3.5-70 (7 m) MCAP-4.5-70 (3 m) 190-10252 190-10256 コネクタ材質 金属製 (ニッケル被覆、モータ側コネクターの材質) MCAS-3.5-100 (10 m) MCAP-4.5-100 (10 m) 190-10253 190-10257 表 3: 延長アダプタケーブルの仕様 番号 コンポーネント 品名 品番 特性 値・特徴 インペラ (a) / O-リング (b) LPI-4.7: PTFE / O-リング: Kalrez® 98.02x3.53 ポンプケーシング用ネジ (c) M8x40 (8 本) PTFE 被覆 (耐薬品性、膜厚: ~30 µm、色: RAL 1015) ステンレス鋼 (A4/316) 6 インペラ交換部品 IEK-4.6 100-90564 ポンプ/モータ取り付け用ネジ (d) M8x30 (4 本) PTFE 被覆 (耐薬品性、膜厚: ~30 µm、色: RAL 1015) ステンレス鋼 (A4/316) インペラ交換工具 (e) IET-3.1: POM-C 3x デジタル入力 (0-24 V、フォトカプラ) 3x デジタル出力 (0-24 V、リレー) PLC インタフェース デジタル入力 / 出力 7 PLC-A.1 100-30200 2x アナログ入力 (4-20 mA、抵抗負荷) モジュール アナログ入力 / 出力 2x アナログ出力 (0-5 V、ローパスフィルタ) 8 ハンドヘルド LUI-A.1 100-30300 インタフェース RS-232 材質 チューブ (a) とナット (b): PP、ケーブルシール (c): FKM/FPM コネクタ保護 寸法 外径 = 50 mm, 長さ = 186 mm 9 (センサ用 / パワー用 LCP-S.3 100-90799 目的 コネクタを薬品から保護 ケーブル) 防塵・防水・保護等級 FEP 被覆アダプタケーブル: IP-67、PVC 被覆アダプタケーブル: IP-65 表 4: オプション部品の仕様
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構成ユニット 2 3 1 9 図 11: 標準コンポーネントのポンプシステム 6b 7 6c 4b b 6d 6e 4a a 6a 9b 5b b 9a 9c 5a 9c a 8 9b 図 12: ポンプシステムの延長アダプタケーブル及びオプション部品
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LEVITRONIX®社について Levitronix®は、磁気浮上ベアリングレスモータ技術での世界のリーダです。Levitronix®は、半導体産業、医療及びライフサイエンス市場にベアリングレ スモータ技術を紹介した最初の会社です。ISO 9001 の認定を受けております。生産及び品質管理部門はスイスに所在しています。更に、 Levitronix®は、LEVIFLOW®の流量計のような高度に革新的な製品を積極的に市場に提供しています。 www.levitronix.com 本社及び欧州連絡先 米国連絡先 日本連絡先 台湾連絡先 Levitronix GmbH Levitronix Technologies LLC Levitronix Japan 株式会社 Levitronix Taiwan Technoparkstr. 1 20 Speen Street, Suite 102 〒111-0053 5F, No.251, Dong Sec 1, Guangming CH-8005 Zurich Framingham, Massachusetts 01701 東京都台東区浅草橋 4-16-4 6th Rd., Chu Pei City, HsinChu 302 Switzerland USA ウイングエイト 5F Taiwan, R.O.C. Phone: +41 44 445 19 13 Phone: +1 508 861 3800 Phone: +81 3 5823 4193 Phone: +886 3 657 6209 Fax: +41 44 445 19 14 Fax: +1 508 861 3837 Fax: +81 3 5823 4195 Fax: +886 988 321472 E-Mail: salesEurope@levitronix.com E-Mail: salesUS@levitronix.com E-Mail: salesJapan@levitronix.com E-Mail: salesAsia@levitronix.com 技術データは拘束力がなく、製品の特性をはっきりと保証するものではなく、変更される可能性があります。 ©Levitronix 初リリース: 2012年 05月 21日、最終更新日: 2017年 03月 16日、PL-2038-01、Rev00、DCO# 16-036

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