白色干渉顕微鏡　IS-R100

Page 1:OPTIFIS※１白色干渉顕微鏡非接触 超精密表面形状測定微小段差・表面粗さを同時に測定簡単操作と、サブナノメートルのZ測定分解能を実現Ra 60nm 粗さ基準ゲージの測定例JIS B0601:1994/2001準拠試料上に干渉縞が見えるまで、照度調整と、高さ合わせを行ないます。マニュアル及びオートフォーカスでの高さ合わせが可能です。○測定方法を選択粗面（垂直走査法）/ 平滑面（位相シフト法）○粗面の場合下記項目を設定・モードマニュアル：開始位置、終了位置を手動設定セミオート ：開始位置を自動設定オート ：開始位置、終了位置を自動設定・開始位置 ：干渉縞が見え始める位置・終了位置 ：干渉縞が見えなくなる位置・移動ピッチ ：初期設定75nm ピッチを細かくすると精度が上がります○測定領域水平面内の測定領域を設定。領域を狭くすると計算処理時間を短縮できます。○Startボタンを押すと測定測定試料をセット照度・高さ合わせ測定条件設定&測定Step1ユーザーニーズに応じたハードウェア・ソフトウェアのカスタマイズも、対応可能です。IS-R100Step2Step318nm段差基準ゲージの測定例www.sinto-sp.co.jpStep4 解析※1 OPTIFIS Optical Fine Intelligent Systemガラス マイクロブラスト加工(直径：457μm 深さ：2.4μm Ra:0.17μm)金属 バレル光沢研磨加工(粗さ Ra：0.036μm)Si基板上のレジストパターン(溝ピッチ：1.7μm 深さ：0.25μm）金属 研削加工面の傷（幅：1.6μm 深さ：0.3μm）TFT基板 電極パターン(幅：2μm 高さ：0.4μm)測定例FPD半導体 精密加工部品表面処理部品ガラス加工

Page 2:■測定原理0.25%(対物レンズ10×、4μm段差測定時)段差測定繰返し性サイズ 201mm×104mm移動量 X：±38mm Ｙ：＋28mm -23mmXYテーブルフォーカシングユニットストローク 30mm顕微鏡部マニュアル移動範囲 100mmZ軸5倍,10倍,20倍,50倍（標準10倍)対物レンズ30万画素(640×480)、120万画素(1280×960)切替カメラ画素数0.1ｎｍZ測定分解能1倍/0.5倍 出荷時選択結像レンズ100μm / 250μm / 400μm 出荷時選択高さ計測範囲白色干渉法（垂直走査方式/位相シフト方式）測定方法■仕様本社： 〒243-0036 神奈川県厚木市長谷260-63TEL ： 046-248-0026 FAX： 046-282-9163http://www.sinto-sp.co.jp 2013105倍,10倍,20倍,50倍対物レンズPTB（ドイツ）校正証明書付き粗さ基準片NIST（アメリカ）校正証明書付き高さ校正用基準片ISO 025178準拠（開発中）面粗さ解析ソフトパッシブ除振台 / アクティブ除振台除振台■データ処理・JIS B0601:1994/2001に準拠した、線粗さパラメータに対応・ISO 025178に準拠した面粗さに対応・3次元データの拡大・回転・移動・照明とカラーの２つの表示モード・マウスで、指定したポイントの高さを表示。・マウスで直線指定した箇所の断面プロファイルデータをプロファイルウィンドウに表示。・２Dビューワーで指定した直線の断面プロファイルを表示・指定範囲の、最大高さ・最小高さ等を算出【3Dビューワー】 【 2Dビューワー】 【プロファイルウィンドウ】●単色光源による位相シフト法対物レンズをZ方向に1/8λずつ3回動かして測定面と参照ミラーの位相差⊿を求めます。各画素の位相差を計算処理で繋ぎ合わせて相対高さを求める方法です。干渉縞が面内全体に広がっている平滑面の測定に適しており、垂直走査法より高いサブナノレベルの高さ測定分解能を得ることが出来ます。白色光源を使用した場合、測定面と参照ミラーの光路差がゼロの時、干渉縞のコントラストが最大となります。対物レンズをZ方向に連続的に移動させて画像を取得し、各画素において干渉縞の輝度値が最大となるZの位置を求めることで測定対象物表面の相対高さを求める方法です。●白色光源による垂直走査法参照ミラー測定面B/S干渉光 照明光対物レンズCCD 照明ピエゾ測定試料干渉対物レンズ干渉画像参照ミラーの戻り光と測定面の戻り光の位相が揃った時、干渉光は最も明るくなります。対物レンズλ/4移動。（光路長変化量は、対物レンズ移動量 の2倍、λ/2(180度)になります。）③干渉光 ①＋②①参照ミラーの戻り光②測定面の戻り光①参照ミラーの戻り光②測定面の戻り光③干渉光 ①＋② 参照ミラーの戻り光と測定面の戻り光の位相が180度ズレた時、干渉光は最も暗くなります。【粗さウィンドウ】●標準システム●オプション●製品構成ｱｸﾃｨﾌﾞ除振台☆オプションPC本体マウスキーボード測定用ステージ照明用コントローラ操作画面0.1880.3750.751.50.3750.751.53ピクセル分解能（30万画素 640×480)(μm)0.0940.1880.3750.750.1880.3750.751.5ピクセル分解能（120万画素 1280×960)(μm)0.12 ×0.090.24×0.180.48×0.360.96 ×0.720.24×0.180.48×0.360.96 ×0.721.92 ×1.44視野X × Y（mm）1.0×0.5×結像レンズ倍率50×20×10×5×50×20×10×5×対物レンズ倍率●測定視野とピクセル分解能