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ハイブリッド制御システム搭載!使いやすさと信頼性を両立したアクチュエータ
高剛性スライダ機構、シリンダ機構に
αSTEP ARシリーズ、AZシリーズを組み合わせた直動製品です。
モーター、フレーム、ガイドレール、ガイドブロック、
ボールねじなどを選定・組み付け済みのため、お客様の設計時間や
装置立ち上げ時間短縮が可能です。
独自のハイブリッド制御をおこなう「aSTEP AZシリーズ/ARシリーズ」
を駆動モーターとして搭載し、使いやすさと信頼性を両立しました。
【電動スライダの特徴】
■薄幅
■小型
■高剛性
■偏平
■簡易防塵構造
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
このカタログについて
ドキュメント名 | ハイブリッド制御システム αSTEP搭載 電動スライダ/電動シリンダ |
---|---|
ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 19.4Mb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | オリエンタルモーター株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
この企業の関連カタログ
このカタログの内容
Page1
AZシリーズ搭載
電動スライダ
電動シリンダ
Page2
AZシリーズ搭載
電動スライダ・電動シリンダ
電動スライダ
EZSシリーズ EASシリーズ
全機種電磁ブレーキ付を 一部機種を除き電磁ブレーキ付を
ご用意しています。 ご用意しています。
✽ 偏平 高剛性 簡易防塵
構造 ✽ 薄幅 小型 高剛性
定価:102,000円 ~ 定価:98,200円 ~
●モーター取付方向 ●モーター取付方向
ストレートタイプ 折り返しタイプ ストレートタイプ 折り返しタイプ
●クリーンルーム対応 ●テーブル方向
Xテーブル Yテーブル
駆動テーブル 駆動テーブル
●センサレールの有無
センサレール付 センサレールなし
センサレール
駆動モーターは AZシリーズ
電動スライダ・電動シリンダの駆動モーターは、
AZシリーズを搭載しています。 小 型 高トルク 高応答 低振動 ハンチングレス 高効率
■ バッテリレス アブソリュートセンサ搭載
AZシリーズ
• バッテリレスのアブソリュートセンサ とは?
内蔵、外部センサ不要でモーター位置 は“オープンループ制御”と“クローズドループ制御”の利点
情報を常時監視 をハイブリッドした独自制御をおこなう、ステッピングモーターベース
• クローズドループ制御による高信頼性
バッテリレス のモーターです。通常時はオープンループ制御で高応答性を発揮。過
アブソリュートセンサ • 高効率化により、モーター発熱低減、 負荷時はクローズドループ制御でモーター位置を補正しながら運転を
(ABZOセンサ) 省エネルギー 継続します。
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モーター、フレーム、ガイドレール、ガイドブロック、ボールねじなどを選定・組み付け済みのため、
お客様の設計時間や装置立ち上げ時間短縮が可能です。
また、独自のハイブリッド制御をおこなう AZシリーズを駆動モーターとして搭載し、
使いやすさと信頼性を両立しました。
電動シリンダ
EZSHシリーズ EACシリーズ
全機種電磁ブレーキ付を 一部機種を除き電磁ブレーキ付を
ご用意しています。 ご用意しています。
✽ 高速 高精度 ロング 簡易防塵
ストローク 構造 ✽ 小型 高剛性 高推力
定価:192,700円 ~ 定価:88,300円 ~
繰り返し ±0.005mm
位置決め精度 ●モーター取付方向
アップしました ±0.01mm ストレートタイプ 折り返しタイプ
●ガイド種類
標準 シャフトガイド付
シャフトガイドカバー付
✽定価はメカ、ドライバ、ケーブル(1m)を含んだ定価です。
■ 多彩な組み合わせドライバ
電動スライダ、電動シリンダと組み合わせる、ドライバ、ケーブルは AZシリーズと共通です。
位置決め機能内蔵タイプ RS-485通信付き パルス列入力タイプ ネットワーク対応 多軸ドライバ
位置決めデータをドライバに設 パルス列入力タイプ 位置決めユニット(パルス発振 ・DC電源入力のアクチュエータ
定(256点)。ネットワークコン RS-485通信でモーターの位 器)からモーターをコントロー と接続可能
バータ(別売)を使用すること 置、速度、トルク、アラーム、温 ル。 ・2軸、3軸、4軸接続できる
で、FAネットワーク制御が可能。 度のモニタが可能。 ドライバをご用意
■ AZシリーズは、個別カタログをご用意しています。
製品の選定にあたっては、個別カタログ(V-184)を合わせて
お使いください。
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電 動スライダ セレクション
型番 リード ストローク 最高速度
シリーズ名 [mm] [mm/s]
タイプ名 幅×高さ 電源電圧 [mm]
100 200 300 400 500 600 700 800 900 1500 200 400 600 800 2000
EZSシリーズ 12 50∼700 800
AZ搭載 AC電源入力
ストレートタイプ 6 50∼700 400
EZSM3
54×50mm
12 50∼700 600
DC電源入力
6 50∼700 300
12 50∼700 800
折返しタイプ AC電源入力
6 50∼700 400 ✽2
EZSM4
74×50mm
12 50∼700 600
DC電源入力
✽2
6 50∼700 300
クリーンルーム対応 12 50∼850 800
AC電源入力
6 50∼850 400
EZSM6
74×66.5mm
12 50∼850 600
DC電源入力
6 50∼850 300
EASシリーズ 6 50∼300 300 2.5
AZ搭載 EASM2 DC電源入力
✽1
ストレートタイプ 30×38mm
3 50∼300 150
12 50∼700 800
AC電源入力
6
EASM4 50∼700 400 ✽2
45×60mm✽1
12 50∼700 600
DC電源入力
6 50∼700 300 ✽2
折返しタイプ
12 50∼850 800
AC電源入力
6 50∼850 400
EASM6
62×83mm✽1
12 50∼850 600
DC電源入力
6 50∼850 300
EZSHシリーズ
AZ搭載 30 200∼1300 1800
EZSHM6
66.4×64mm AC電源入力
20 200∼1300 1200
✽ 1 センサレールなしの値です。
✽ 2( )内は、折返しタイプの値です。
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上段:動的許容モーメント[N·m] 水平可搬質量 垂直可搬質量 繰り返し
下段:静的許容モーメント[ ] [ ] [ ] 位置決め精度 定価[円] 掲載
N·m kg kg ページ
MP MY MR 10 20 30 40 50 60 70 80 10 20 30 [mm]
7.5 3.5
4.2 4.2 10.5
30
26.4 26.4 52.0
15 7
±0.02 61,300∼
7.5 3.5
4.2 4.2 10.5
31
26.4 26.4 52.0
15 7
15 7
8 8 27.8
51.2 42.5 176 32∼33
30 14 ✽2
(12.5)
±0.02 64,600∼
15 7
8 8 27.8
34∼35
51.2 42.5 176 ✽2
30 14(12.5)
30 15
45.7 37.5 55.6 36
290 187 340 60 30
±0.02 87,000∼
30 15
45.7 37.5 55.6
37
290 187 340
60 30
7.5 2.5
2.4 1.5 4.6
±0.02 57,500∼ 62
4.0 4.0 7.7
15 5
15 7
63∼64
30 14(12.5) ✽2
16.3 4.8 15.0 ±0.02 64,600∼
58.3 16.0 53.3
15 7
65∼66
30 14(12.5) ✽2
30 15
67
60 30
31.8 10.3 40.6
±0.02 87,000∼
86.0 34.0 110.0
30 15
68
60 30
15 7.5 88
27.3 21.8 45.8 ±0.005 137,500∼
335 276 440
25 12.5 88
■ 多彩な組み合わせドライバ
電動スライダ、電動シリンダと組み合わせる、ドライバ、ケーブルは AZシリーズと共通です。
位置決め機能内蔵タイプ RS-485通信付き パルス列入力タイプ ネットワーク対応 多軸ドライバ
位置決めデータをドライバに設定 パルス列入力タイプ 位置決めユニット(パルス発振器)か ・DC電源入力のアクチュエータ
(256点)。ネットワークコンバータ RS-485通信でモーターの位置、速 らモーターをコントロール。 と接続可能
(別売)を使用することで、FAネット 度、トルク、アラーム、温度のモニタ ・2軸、3軸、4軸接続できる
ワーク制御が可能。 が可能。 ドライバをご用意
定価[円]:42,900∼ 定価[円]:42,900∼ 定価[円]:37,400∼ 定価[円]:48,400∼ 定価[円]:88,000∼
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電動シリンダ セレクション
型番 ストローク 最高速度
シリーズ名 リード [mm] [mm/s] 推力
タイプ名 幅×高さ 電源電圧 [mm] [N]
100 200 300 400 100 200 300 400 500 600 700 800
EACシリーズ 6 50∼150 300 25
EACM2
AZ搭載 DC電源入力
28 × 28mm
ストレートタイプ 3 50∼150 150 50
12 50∼300 600 ∼70
AC電源入力
6 50∼300 300 ∼140 (125) ✽ ✽
EACM4
42 × 42mm
12 50∼300 600 ∼70
DC電源入力
折返しタイプ 6 50∼300 300 ∼140 ( ) ✽ ✽125
12 50∼300 600 ∼200
AC電源入力
6 50∼300 300 ∼400 (360) ✽
EACM6
60 × 60mm
12 50∼300 600 ∼200
DC電源入力
6 50∼300 300 ∼400 (360) ✽
EACシリーズ
AZ搭載
ストレートタイプ
シャフトガイドカバー付 6 50∼150 300 25
EACM2W
× DC電源入力
28 86mm
折返しタイプ
シャフトガイドカバー付
3 50∼150 150 50
12 50∼300 600 ∼70
ストレートタイプ AC電源入力
シャフトガイド付 6 50∼300 300 ∼140 ( ✽
125) ✽
EACM4W
42 × 114mm
12 50∼300 600 ∼70
DC電源入力
6 50∼300 300 ∼140 (125) ✽ ✽
折返しタイプ 12 50∼300 600 ∼200
シャフトガイド付 AC電源入力
6 50∼300 300 ∼400 (360) ✽
EACM6W
60 × 156mm
12 50∼300 600 ∼200
DC電源入力
6 50∼300 300 ∼400 (360) ✽
✽( )内は、折返しタイプの値です。
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水平可搬質量 垂直可搬質量
押し当て力 繰り返し
[kg] [kg] 掲載
[N] 位置決め精度 定価[円] ページ
10 20 30 40 50 60 200 400 10 20 30 [mm]
40 7.5 2.5
±0.02 47,600∼ 105
80 15 5
100 15 7
107~108
✽ 200 30 14(12.5) ✽
±0.02 49,400∼
100 15 7
109~110
✽ 200 30 14(12.5) ✽
400 30 15
111~112
✽ 500 60 30
±0.02 56,600∼
400 30 15
113~114
✽ 500 60 30
40 7.5 2.0
±0.02 68,000∼ 106
80 15 4.5
100 15 6
115~116
✽ 200 30 13(11.5) ✽
±0.02 69,800∼
100 15 6
117~118
✽ 200 30 13(11.5) ✽
400 30 13
119~120
✽ 500 60 28
±0.02 80,600∼
400 30 13
121~122
✽ 500 60 28
■ 多彩な組み合わせドライバ
電動スライダ、電動シリンダと組み合わせる、ドライバ、ケーブルは AZシリーズと共通です。
位置決め機能内蔵タイプ RS-485通信付き パルス列入力タイプ ネットワーク対応 多軸ドライバ
位置決めデータをドライバに設定 パルス列入力タイプ 位置決めユニット(パルス発振器)か ・DC電源入力のアクチュエータ
(256点)。ネットワークコンバータ RS-485通信でモーターの位置、速 らモーターをコントロール。 と接続可能
(別売)を使用することで、FAネット 度、トルク、アラーム、温度のモニタ ・2軸、3軸、4軸接続できる
ワーク制御が可能。 が可能。 ドライバをご用意
定価[円]:42,900∼ 定価[円]:42,900∼ 定価[円]:37,400∼ 定価[円]:48,400∼ 定価[円]:88,000∼
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上位システムに合わせて
選べるドライバ。
位置決め機能内蔵タイプ AC DC
運転データをドライバに設定し、上位から運転データの選択、実行 基本設定(出荷時設定) 運転データ設定 パラメータ変更
をするタイプです。上位との接続、制御はI/O、Modbus(RTU)、 サポートソフト(MEXE02)
RS-485通信、FAネットワークのいずれかでおこなえます。ネット
ワークコンバータ(別売)を使用することにより、CC-Link通信や
MECHATROLINK通信で制御できます。
モーターまたは
電動アクチュエータ ドライバ
●RS-485通信による設定も可能です。
FLEX(フレックス)とは、I/O制御、Modbus(RTU)制御、
ネットワークコンバータ経由でのFAネットワーク制御に対応した製品の総称です。
I/Oで コンピュータまたは シリアル通信で FAネットワークで
制御する場合 タッチパネルから 制御する場合 制御する場合
制御する場合
CPU 位置決め CPU CPU
電源 ユニット 電源 シリアル通信 電源 FA ネットワーク
I/O 不要 ユニット ユニット
FAネットワーク
I/O Modbus(RTU) Modbus(RTU) ネットワーク
コンバータ(別売)
RS-485
モーターの運転に必要な情報をドライバに持たせるため、上位PLCの負担が軽減します。複数軸制御の場合の
システム構成がシンプルになります。サポートソフト、もしくはRS-485通信による設定となります。
RS-485通信付き パルス列入力タイプ AC DC
ドライバに対してパルスを入力することで運転を実行するタイプ 基本設定(出荷時設定) I/O割付変更 パラメータ変更
です。お客様がご用意する位置決めユニット(パルス発振器)から サポートソフト(MEXE02)
モーターの制御を行います。RS-485通信を使用することで、
モーターのステータス情報(位置、速度、トルク、アラーム、温度など)
をモニタすることができます。
モーターまたは
電動アクチュエータ ドライバ
サポートソフト(MEXE02)を使用
することで、アラーム履歴の確認
や各種状態のモニタができます。
コンピュータまたは
タッチパネルから 位置、速度
制御する場合 パルス列入力
CPU
電源 シリアル通信
ユニット
位置決め
ユニット
Modbus(RTU)
モーターのステータス情報
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AC :単相100-120V、単相/三相200-240V入力
DC :DC24/48V入力
パルス列入力タイプ AC DC
ドライバに対してパルスを入力することで運転を実行するタイプ 基本設定(出荷時設定) I/O割付変更 パラメータ変更
です。お客様がご用意する位置決めユニット(パルス発振器)から サポートソフト(MEXE02)
モーターのコントロールをおこないます。サポートソフト
(MEXE02)を使用することで、アラーム履歴の確認や各種状態
のモニタができます。
モーターまたは
電動アクチュエータ ドライバ
サポートソフト(MEXE02)を使用
することで、アラーム履歴の確認
や各種状態のモニタができます。
CPU
電源 I/O 位置決め 位置、速度
ユニット
パルス列入力
ネットワーク対応ドライバ AC DC
EtherNet/IP、EtherCAT、PROFINET通信に対応したドライバです。ネットワーク上からの直接制御が可能です。
上位制御機器とドライバを通信ケーブル1本で接続するため、省配線を実現します。
上位制御機器
ネットワーク対応多軸ドライバ DC
SSCNET III/H、MECHATROLINK-III、EtherCATドライブプロファイルに対応した
多軸ドライバです。AZシリーズDC電源入力のモーターと、それらを搭載している電動 AZシリーズ 多軸ドライバ
DC電源入力
SSCNETⅢ /H対応 4軸タイプ
MECHATROLINK-Ⅲ対応
アクチュエータを接続できます。2軸、3軸、4軸接続できるドライバをご用意しています。 EtherCAT ドライブプロファイル対応
AZシリーズDC電源入力のモーターと、それらを搭載している
電動アクチュエータを接続できる多軸ドライバです。 3軸タイプ 2軸タイプ
SSCNETⅢ /H、MECHATROLINK-Ⅲ、EtherCATドライブプロファ
イルに対応した製品をそれぞれご用意しています。
✽製品の詳細は、多軸ドライバの個別カタログに掲載しています。 上位ネットワークに直結し、最大4軸を同時制御できる多軸ドライバ
ドライバ1台で複数軸を制御できます。上位ネットワークや電源との接続がドライバ1台に集約され、省配線やコストダウンにも貢献します。
上位制御機器 ドライバを 1台に凝縮するメリット
省スペース、省配線 コストダウン
AZシリーズ DC電源入力 AZシリーズ搭載 AZシリーズ搭載 AZシリーズ搭載
AZシリーズ 多軸ドライバ DC電源入力 モーター 中空ロータリーアクチュエータ 電動スライダ EASシリーズ 電動グリッパ EHシリーズ
DG シリーズ DC電源入力 DC電源入力 DC電源入力
● 接続しているモーター、電動アクチュエータは代表例です。
● EtherCAT対応製品用に、ESIファイルをご用意しています。当社WEBサイトからダウンロードできます。
単軸ドライバを並べるより、コンパクトで省スペースに(2軸タイプ・4軸タイプ)
ネットワーク対応の単軸ドライバを並べる
90mm 180mm
より、設置スペースを省略することができ
ます。 複単
数軸
台ド
使ラ
用イ
すバ
るを
場
● は三菱電気株式会社の登録商標または商標です。 合
使多 2軸 4軸
用軸
● はCC-Link協会、 はMECHATROLINK協会、 はODVAの登録商標です。 すド
るラ -10mm -33mm
場イ
合バ
を
● は、Beckhoff Automation GmbH(ドイツ)よりライセンスを受けた特許取得済み技術であり登録商標です。 ● 上記のドライバは、EtherCAT ドライブプロファイルに対応している、AZシリーズの単軸ドライバと多軸ドライバのサイズ比較です。
● は、PROFIBUS Nutzerorganisation e.V(. PNO)の商標または登録商標です。 個別カタログ
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AZシリーズならではの サポートソフトMEXE02
MEXE02 サポートソフトは、当社WEBサイトから
かんたん設定、便利な機能。 ダウンロードできます。
AZシリーズ
かんたん設定・かんたん動作
サポートソフトMEXE02で運転データの編集やパラメータの設定など、基本的な設定ができます。
また、シーケンス機能により、簡単な入力で高度な動きを実現します。
● 単位系設定ウィザード ● リカバリーデータファイルの作成
移動量や速度などを、任意の単位で表示・入力するための機能です。 メンテナンスで製品を交換するときや、製品が破損したときに備えて、
使用する機構に合わせた単位(mm、deg)に表示・設定ができるので、 製品の出荷時設定を保存したファイルを最初に作成します。
単位換算の手間を省き、運転データの入力が簡単です。 電動アクチュエータをお使いの場合は、必ずリカバリーデータファイ
ルを作成してください。
リカバリーデータファイル
製品交換や破損時、
リカバリーデータファイルから
情報を読み出せます
● シーケンス機能によりメインプログラムを簡略化
AZシリーズのストアードデータ運転には、連結運転や運転間のタイマ設定、
条件分岐、ループ回数などの豊富なシーケンス機能を搭載しています。
上位システムのシーケンスプログラムを簡略化できます。
位置決め機能内蔵タイプの場合 使い方ナビのご紹介
● 位置決め運転データ設定数(最大256点) 当社WEBサイトでは、 AZシリーズの便利な機能・使い方を動画で
● 汎用入出力点数(入力10点、出力6点) わかりやすく紹介しています。是非ご利用ください。
● 通信用入出力点数(入力16点、出力16点)
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START
技術情報・事例
使い方ナビ
ストアード
データ運転 または、
オリエンタルモーター使い方ナビ 検索
出力
位置決め運転① 外部機器 https://www.orientalmotor.co.jp/tech/
video_navi/
待ち時間設定
入力
条件の設定 外部センサ
繰り返し
回数設定
位置決め運転②
END
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テスト機能
モーターを単独で運転させたり、上位システムとの接続確認ができる機能です。
装置立ち上げ時に活用することで、時間短縮につながります。
● ティーチング・リモート運転 立ち上げ時に ● I/Oテスト 立ち上げ時に 運転時に
サポートソフト上から、簡単に原点設定やモーターを駆動させることが可能 入力信号のモニタと、出力信号の強制出力をおこなえます。上位システムと
です。上位システムと接続する前に、ティーチングや試運転などがおこなえるた の結線や、リモートI/Oの動作を確認するときに便利な機能です。
め、装置の立ち上げ時間短縮に貢献します。
ステータス簡易モニタ
テスト運転
ティーチング
JOG運転
FREE操作
各種モニタ機能
● 波形モニタ 立ち上げ時に ● アラームモニタ 立ち上げ時に
オシロスコープのようなイメージで、モーターの運転状態や出力信号の状態 異常が発生したときに、異常の内容や発生時の運転状態、対処方法が確認で
をモニタすることができます。装置の立上げ・調整時などにご使用ください。 きます。
● ステータスモニタ 立ち上げ時に ● マルチモニタリング対応
運転時の速度、モーター、ドライバの温度、負荷率のモニタのほか、使用開始 データ設定・テスト運転・モニタなど複数の設定画面を同時に別画面で開い
時からの積算回転量などもモニタできます。それぞれの項目について、任意 て使うことができます。装置立ち上げ・調整などがおこないやすくなってい
に信号を出力させることができるので、効率的なメンテナンスにも有効です。 ます。
①指令位置に対して実際の
① 位置を検出します。
②
③ ②指令速度に対して実際の
速度を検出します。
③モーターのエンコーダ部、
④ ドライバ内部の温度を検出
します。
④回転中の速度における出力
トルクを100%として、現
在の負荷率を表示します。
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電動スライダの概要
電動スライダは、 AZシリーズのモーターを採用し、フレーム、ガイドレール、ガイドブロック、ボー
ルねじで構成した位置決め用スライダです。ボールねじの回転とガイドにより、正確で精密な直線駆動が可能
です。
■高精度な位置決め運転ができます
モーターでボールねじを回転させることにより、ボールねじナットに固定されたテーブルが駆動します。
ガイドレールが正確な直線運動を案内し、かつ、ワークの荷重を支えるため、大きなワークでも高精度な位置決めが可能となります。
モーター
テーブル
カップリング
ボールねじナット ベアリング
ボールねじ
ガイドブロック
ガイドレール
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■ 電動スライダの種類と特徴
電動
● EZSシリーズ AZシリーズ搭載 スライダ
EZSシリーズ AZシリーズ搭載 クリーンルーム対応
ボールリテーナ入りLMガイド✽をフレームに採用した、小型で軽量なスライダです。スライダは高精度なLMガイドを基準として取り付け AZ搭載
EZS
るため、走り平行度0.03mm以下が可能。ステンレスシート&ローラー構造により、スライダ内部の摺動による粉塵を抑えます。
クリーンルーム対応製品は、EZSシリーズの機能、性能がそのままです。
✽「 ボールリテーナ」「 AZ搭載
LMガイド」はTHK株式会社の登録商標です。 EAS
● ボールねじ採用
● 繰り返し位置決め精度 ±0.02mm
AZ搭載
EZSH
テーブル
吸引用継手 ボールねじ 電動
(クリーンルーム シリンダ
対応製品のみ) ボールねじナット
AZ搭載
ガイドブロック EAC
ガイドレール
ストレートタイプ ドライバ /
接続ケーブル
周辺機器
折返しタイプ(右折返し/左折返し)
● 写真は左折返し
クリーンルーム対応(吸引継手右方向/吸引継手左方向)
● 写真は吸引継手左方向
クリーンルーム対応はストレートタイプのみ
● EASシリーズ AZシリーズ搭載
ボールねじを使用し、ガイドにTHK製のボールリテーナ入りLMガイド✽を採用した電動スライダです。高精度なLMガイド部を直接お客
様の筐体ベースに取り付けるため、走り平行度を要求する用途に適しています。(走り平行度0.03mm以下)
また小型ながら高剛性で、高可搬質量を実現しました。
✽「 ボールリテーナ」「LMガイド」はTHK株式会社の登録商標です。
● ボールねじ採用
● 繰り返し位置決め精度 ±0.02mm
テーブル
ボールねじ
ボールねじナット
サイドカバー
ガイドブロック
ガイドレール
ストレートタイプ
折返しタイプ(右折返し/左折返し)
● 写真は右折返し
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● EZSHシリーズ AZシリーズ搭載
THK製アウターレール(鉄)を採用した電動スライダです。
高剛性なフレームを採用しているため、取付板を使用しないコンパクトな設計が可能です。
ハイリードボールねじによる高速位置決め、繰り返し位置決め精度±0.005mmの高精度位置決めが可能です。
ボールねじ軸の大径化によるロングストロークを実現しました。
更に、ステンレスシートによる簡易防塵構造により外部からの異物混入を防ぎます。
● ボールねじ採用
● 繰り返し位置決め精度 ±0.005mm
アウターレール(鉄)
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■組み合わせ一覧 電動
スライダ
● AC電源入力
種類 シリーズ 品名
(搭載モーター品名) AZ搭載
EZS
EZSM3 ■ ■ □ □ □AZAC(AZM46AC)
EZSM3 ■ ■ □ □ □AZMC(AZM46MC)
AZ搭載
■ ■
EZSシリーズ EZSM4 □ □ □AZAC(AZM46AC) EAS
EZSM4 ■ ■ □ □ □AZMC(AZM46MC)
EZSM6 ■ ■ □ □ □AZAC(AZM66AC)
EZSM6 ■ ■ □ □ □AZMC(AZM66MC) AZ搭載
電動スライダ EZSH
EASM4 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZAC(AZM46AC)
EASM4 ■ ■ ■ ■
EAS □ □ □
シリーズ AZMC(AZM46MC)
EASM6 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZAC(AZM66AC) 電動
EASM6 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZMC(AZM66MC) シリンダ
EZSHシリーズ EZSHM6 ■ □ □ □AZAC(AZM66AC)
EZSHM6 ■ □ □ □AZMC(AZM66MC)
AZ搭載
+ EAC
種類 タイプ 品名
位置決め機能内蔵タイプ AZD-AD、AZD-CD ドライバ /
RS-485通信付きパルス列入力タイプ AZD-AX、AZD-CX 接続ケーブル
パルス列入力タイプ AZD-A、AZD-C
ドライバ
EtherNet/IP対応 AZD-AEP、AZD-CEP
周辺機器
EtherCATドライブプロファイル対応 AZD-AED、AZD-CED
PROFINET対応 AZD-APN、AZD-CPN
+
種類 タイプ 品名
モーター/エンコーダ用:CC◇◇◇VZF
接続ケーブルセット モーター/エンコーダ /電磁ブレーキ用:
接続ケーブルセット/ CC◇◇◇VZFB
可動接続ケーブルセット モーター/エンコーダ用:CC◇◇◇VZR
可動接続ケーブルセット モーター/エンコーダ /電磁ブレーキ用:
CC◇◇◇VZRB
● 品名中の記号には、以下の種類を表す文字や数字が入る場合があります。
■: モーター取付方向または吸引継手方向
■: センサレール
■: テーブル
■: リード
□:ストローク
◇:ケーブル長さ
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● DC電源入力
種類 シリーズ 品名
(搭載モーター品名)
EZSM3 ■ ■ □ □ □AZAK(AZM46AK)
EZSM3 ■ ■ □ □ □AZMK(AZM46MK)
EZSシリーズ EZSM4 ■ ■ □ □ □AZAK(AZM46AK)
EZSM4 ■ ■ □ □ □AZMK(AZM46MK)
EZSM6 ■ ■ □ □ □AZAK(AZM66AK)
電動スライダ EZSM6 ■ ■ □ □ □AZMK(AZM66MK)
EASM2 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZAK(AZM24AK)
EASM4 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZAK(AZM46AK)
EASシリーズ EASM4 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZMK(AZM46MK)
EASM6 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZAK(AZM66AK)
EASM6 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZMK(AZM66MK)
+
種類 タイプ 品名
位置決め機能内蔵タイプ AZD-KD
RS-485通信付きパルス列入力タイプ AZD-KX
パルス列入力タイプ AZD-K
ドライバ
EtherNet/IP対応 AZD-KEP
EtherCATドライブプロファイル対応 AZD-KED
PROFINET対応 AZD-KPN
+
種類 タイプ 品名
接続ケーブルセット CC◇◇◇VZ2F2
EASM2用
可動接続ケーブルセット CC◇◇◇VZ2R2
モーター/エンコーダ用:CC◇◇◇VZF2
接続ケーブルセット/ EZSM3、 接続ケーブルセット モーター/エンコーダ /電磁ブレーキ用:
可動接続ケーブルセット EZSM4、 CC◇◇◇VZFB2
EZSM6、
EASM4、 モーター/エンコーダ用:CC◇◇◇VZR2
EASM6用 可動接続ケーブルセット モーター/エンコーダ /電磁ブレーキ用:
CC◇◇◇VZRB2
● 品名中の記号には、以下の種類を表す文字や数字が入る場合があります。
■: モーター取付方向または吸引継手方向
■: センサレール
■: テーブル
■: リード
□:ストローク
◇:ケーブル長さ
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仕様表の見方 電動
スライダ
電動スライダの仕様を例にして、仕様表の見方を以下にご紹介します。 AZ搭載
EZS
■電動スライダ仕様
AZ搭載
① リード EAS
mm 12 6
② 電磁ブレーキ(無励磁作動型) 付 なし 付 なし
③ 駆動方式 ボールねじ AZ搭載
④ 繰り返し位置決め精度 mm ±0.02 EZSH
⑤ 最小移動量 mm 0.01
⑥ 走り平行度 mm 0.03 電動
動的許容モーメント MP:16.3 MY:4.8 MR:15.0
⑦ 許容モーメント シリンダ
N·m
静的許容モーメント MP:58.3 MY:16.0 MR:53.3
水平 ∼15 ∼30
⑧ 可搬質量 kg
垂直 ∼7 − ∼ AZ搭載
14 − EAC
⑨ 推力 N ∼70 ∼140
⑩ 押し当て力 N 100 200
⑪ 保持力 N 70 140 ドライバ /
接続ケーブル
50∼500mm 800 400
550mm 650 320
ストローク別
⑫
最高速度 600mm mm/s 550 270 周辺機器
650mm 460 220
700mm 400 200
● 製品によっては、使い方に制限や注意が必要な場合もあります。詳細は各製品ページの
注記をご覧ください。
①リード ⑧可搬質量
モーターが1回転することによりテーブルが直線方向に進む距 ● 水平方向
離です。 電動スライダを水平方向で使用する場合、仕様の運転性能で動
かすことのできる質量です。
②電磁ブレーキ(無励磁作動型) ● 垂直方向
製品には無励磁作動型の電磁ブレーキが付いたタイプと、付い 電動スライダを垂直方向で使用する場合、仕様の運転性能で動
ていないタイプがあります。垂直方向の駆動にご使用の場合は、 かすことのできる質量です。
電磁ブレーキ付をお選びください。(EASM2を除く)
⑨推力
③駆動方式 等速運転時、テーブルが負荷を推し進められる力です。
回転動作を直線動作に変換する機構方式をいいます。
⑩押し当て力
④繰り返し位置決め精度 押し当て運転中に、負荷に押し当たった時の加圧力です。
同じ位置に同じ方向から繰り返し位置決めをおこなったときに、
どれだけの誤差が生じるかを表した値です(精度は一定温度、一 ⑪保持力
定負荷での値です)。 通電時、モーター停止時の保持力および、電磁ブレーキ動作状
態の保持力の値です。
⑤最小移動量
テーブルが移動する最小の移動量です。(出荷時) ⑫ストローク別最高速度
最大可搬質量を搬送できる最高速度です。ストロークの長さに
⑥走り平行度 よって速度の上限が制約されます。
電動スライダ取付面からテーブル上面までの高さおよび横方向
の振れ幅です。
⑦許容モーメント
テーブル中心よりワークの位置がオフセットしているとリニア
ガイドに負荷モーメントが作用します。
作用方向はオフセットの位置によりピッチング(MP)、ヨーイン
グ(MY)、ローリング(MR)方向に作用します。
動的許容モーメントは、動作中に許容できるモーメントのこと
です。
静的許容モーメントは、停止中に許容できるモーメントのこと
です。
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電動スライダ この製品に関する技術資料、
EZSシリーズ 法令・規格については当社
AZシリーズ搭載 WEBサイトをご覧ください。
EZSシリーズは、小型、高剛性、簡易防塵構造の電動ス
ライダです。
モーター部に AZシリーズを搭載。ステッピン
グモーター同様の、高応答、低振動、ハンチングなしの
動きを電動スライダで実現。ストレートタイプ、折返
しタイプと装置スペースに合わせて選べるバリエーショ
ンをご用意しました。
● 高剛性で薄型ガイド
ストレートタイプ 折返しタイプ ● モーター折返しによる省スペース化
● 簡易防塵構造で異物の侵入を防止、発塵を抑制
● クリーンルーム対応
■特徴
設置スペース、環境に合わせて選べる豊富な製品バリエーション
薄型・高精度・高強度のスライダに、全長の短い折返しタイプもラインアップ。
モーターは、標準モーターのAZシリーズを搭載。豊富な製品バリエーションを取り揃えています。
搭載モーター 電動スライダ
AZ シリーズ
ストレートタイプ
● バッテリレス アブソリュートセンサ内蔵
● センサ不要で位置情報を把握
● クローズドループ制御による高信頼性
● 高効率化により、モーター発熱低減、省エネルギー
折返しタイプ
(右折返し/左折返し)
● 写真は左折返し
位置決め機能内蔵タイプ パルス列入力タイプ
クリーンルーム対応
( 吸引継手右方向/
吸引継手左方向)
● 写真は吸引継手左方向
ネットワーク対応
● 写真はEZSM6(幅74mm×高さ66.5mm)です。
FLEX(フレックス)とは
FLEXとは、I/O制御、Modbus(RTU)制御、ネットワーク
コンバータ経由でのFAネットワーク制御に対応した製品の
総称です。
かんたん接続、かんたん制御を可能にし、システム構築の
トータルリードタイム短縮を実現します。
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高剛性・高精度 省スペース 電動
スライダ
剛性の高いガイドを採用することで、小型ながら高い許容モーメ ワークとの干渉がないためスペースを最大限に使用することがで
ントを実現しました。 きます。密着配置も可能です。 AZ搭載
EZS
● 高剛性、高精度ガイド 密着配置が可能 ワークと製品の干渉無し
ガイドにはTHK製のボールリテーナ入りLMガイド✽を採用してい ワーク AZ搭載
ます。薄型のステンレスガイドで高いモーメントを受けられます。 EAS
精度も優れたガイドで走り平行度を0.03mm以下に抑えることが
できました。 AZ搭載
✽「 ボールリテーナ」「LMガイド」はTHK株式会社の登録商標です。 EZSH
テーブル ● ケーブル引出口変更可能
吸引継手 電動
ボールねじ モーターの取付方向は4方向✽に変更することができるので、設置
( クリーンルーム ボールねじナット シリンダ
場所に合わせてケーブルの引出口を自由に変えることができます。
対応のみ)
ガイドブロック ✽ 折返しタイプは3方向です。
ガイドレール AZ搭載
EAC
90° ドライバ /
走り平行度 0.03mm以下 接続ケーブル
薄型ながら高可搬質量を実現 周辺機器
テーブル面の高さ
30 kg 60 kg
15 kg
50 mm 50 mm 66.5 mm ● 折返しタイプ
EZSM3 EZSM4 EZSM6 折返しタイプはストレートタイプに比べ全長が最大136.4mm短い
ため装置の省スペースに貢献します。
● 高許容モーメント EZSM6電磁ブレーキ付 ストローク200mm
小型でありながら高いモーメントを実現しました。
MR ● ストレートタイプ
562.1 mm
340N✽
張り出し長さ 1 m
● 折返しタイプ
✽ 荷重の値はEZSM6の静的許容モーメント340N·mより算出した値です。
● ローリング方向の許容モーメント値 [N·m]
最大
型番 静的許容モーメント✽1 動的許容モーメント✽2
136.4mm✽
EZSM3 52.0 10.5 短縮可能
EZSM4 176 27.8 425.7 mm
EZSM6 340 55.6 ✽ 電磁ブレーキ付の場合
✽ 1 停止中にリニアガイドが許容できる負荷モーメント
✽ 2 動作中にリニアガイドが許容できる負荷モーメント
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薄薄型型
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簡易防塵構造 クリーンルーム対応
テーブル部にステンレスシートとローラー構造を採用した簡易防 低発塵のローラー構造に加え低発塵クリーングリースの採用によ
塵構造によって異物の侵入を防止し、発塵も抑制します。 り、ISO規格 クラス3✽(FED規格クラス1相当)のクリーン度を実
異物侵入防止 現しました。
ステンレスシート使用によ
る簡易防塵構造により外
部からの異物の侵入を防
ぎます。
発塵抑制
テーブル部に低発塵のローラー構
造を採用することでステンレスシー
トとの摩擦で摩耗粉がでることがあ
りません。
吸引継手
● 低発塵のローラー構造(特許取得済み ) 吸引ポンプなどで吸引することで ISO規格
テーブル部に低発塵のローラー構造を搭載し、ステンレスシート クラス3のクリーン度を達成できます。
と転がり接触することで、摩耗粉の発生を防ぎます。発塵を抑え ✽ ISO規格 クラス3について
るだけでなく、ステンレスシートの耐久性向上につながります。 [ISO規格 クラス3]
粒子径[μm] 0.1 0.3 0.5
発塵量[個 /m3] 1000以下 102以下 35以下
● 低発塵クリーングリース使用
ローラー ステンレスシート ボールねじやガイド、ベアリングなどに低発塵クリーングリース
を採用しています。
テーブル部ローラーのベアリング
ボールベアリング
ローラーの構造
ボールねじとガイド部
低発塵クリーングリース採用
● 少ない吸引量でクラス3のクリーン度を実現
例えばEZSM3の場合、約20ℓ/min以上の内部吸引量で ISO規格
クラス3のクリーン度を可能にします。
● 発塵量と吸引量の相関図
例 EZSM3CLD050/EZSM3CRD050
100 000 000
粒子径 0.1 μm以上
10 000 000 粒子径 0.3 μm以上
1 000 000 粒子径 0.5 μm以上
100 000
10 000
ストローク: 500mm
1 000 設置条件: 水平
運転速度: 800mm/s
100 加速度: 20m/s2
10 搬送質量: 0kg
運転duty: 50%
1
0 10 20 30 40 50
内部吸引量 [I/min]
使用する吸引ポンプを最小限に抑える
ことができ、消費電力も削減できます。
● ISO規格 クラス3を満たすための内部吸引量
型式 EZSM3 EZSM4 EZSM6
内部吸引量[l/min] 20 30 30
● EZSM4、EZSM6の発塵量と吸引量の相関図は47ページをご覧ください。
20
発塵量 [個/m3]