PI社DC/ステッピング/リニア＆トルクモータステージの製品カタログ。

PI（Physik Instrumente）社製 DC/ステッピング/ リニア/トルクモータ 高精度密位置決め 製品紹介 X 軸・XY 軸・回転ステージ/コントローラ ピーアイ・ジャパン株式会社 044-280-7676 www.pi-japan.jp/ info@pi-japan.jp

V-52X PIMag®ボ イスコイルモーターステージ ■高速スキャニング & ポジショニング ■移動範囲 5mm、10mm、20mm ■数十 Hz までの周波数スキャニング ■最大速度 250mm/s PI ■クロスローラーベアリングによる最高の精度 PI M M a a g g ® アプリケーション例 ® シ ●産業および研究、計測、光学、半導体やフラット シ リ PIMag®︎リニアモーターステージ 　パネルディスプレイ製造における高精度スキャニング リ ー ー ズ 基準となるレベルのリニアステージ インクリメンタルエンコーダーによる ズ 直接位置測定 磁気直接駆動によるリニアポジショニング ステージは、駆動系の中で大幅に機械部を 無接触光学エンコーダーは、最高の精度で 省略しており、駆動力は、モーションプラット モーションプラットフォームの実際の位置 フォームに直接作用します。高精度のベア を直接測定します。非直線性、機械的動作、 リングと共に移動の正確性を高め、製品寿命 弾性変形は、位置測定に影響を与えません。 を長くすることができます。特にスキャニング 用途に適します。 技術データ V-522.1AA / V-522.1AB / V-524.1AA PIMag®︎ ボイスコイル モデル 単位 公差 V-524.1AB / V-528.1AA / V-528.1AB 動作および位置決め ボイスコイル駆動は、2 つの重要な部品に 駆動軸 X よって構成されます。永久磁石とコイルで 移動範囲 V-522.x:5　V-524.x:10　V-528.x:20 mm す。これは磁界の空隙に配置されています。 内蔵センサ 光学、インクリメンタル センサ調整 10 nm P 電流がコイルを流れると、電流は永久磁石 最小インクリメンタルモーション 20 nm 標準 の磁 界の中を移 動することになります。 一方向再現性 20 nm P I 運動の方向は、極性によって変化します。 I g 双方向再現性 ±120 nm 最大 軽量および摩擦のない動作原理のおかげで 基準点スイッチ再現性 < 1 μm g I ピッチング ±50 μrad 最大 ボイスコイル駆動は、移動範囲が限定される ヨーイング ±50 μrad 最大 I i 状態で高い動性および高い速度が求められる リニアリティ 0.5 μm 最大 i 用途に特に適合します。これらのドライブ 平面度 0.5 d μm 最大 e dにはヒステリシスがないため、高いスキャン 速度 250 mm/s 最大 e 機械特性 エ 頻度と高精度のポジショニングも可能とな z 方向負荷容量 100 N 最大 エ ア ります。 移動質量 V-522.x:131　V-524.x:137　V-528.x:150 g 全体質量 V-522.x:460　V-524.x:500　V-528.x:580 g ア ベ ドライブ特性 ベ ア モータータイプ ボイスコイル クロスローラーベアリング 圧力 4 / 3.8 / 2.9 N 公称 ア リ 公称電流 1.3 A 公称 ピーク電流 3 リ ン クロスローラーベアリングにより、ボール A 最大 (3s) 力定数 3.4 / 2.9 / 2.3 N/A 標準 ベアリングのボールの接点は、強化された ン グ モーター定数 1.3 / 1.1 / 0.85 N/ (√W) 標準 ローラーの線接触によって置き換えられます。 V-52X 寸法図 mm コイル抵抗 7.2 Ω 標準 グ シ 結果としてベアリングは堅牢になり、事前 コイルインダクタンス 1.7 mH 標準 シ リ に負荷をかける必要がありません。これに 時定数 0.32 ms その他 リ ー より、摩擦が減少して、スムーズな動作が 原材料 ( ハウジング ) アルミニウム 実現します。クロスローラーベアリングは、 ー ズ ケーブル長さ 2 m ±10mm 高いガイドの正確性や負荷容量という特徴 ケーブル出口 V-52x1AA : ケーブル出口 X　　V-52x1AB : ケーブル出口 Y ズ も持っています。 電圧 / センサ接続 D-Sub 15 ピン 寿命 20,000 km ローラー本体ケージの力の誘導により、 動作温度範囲 18 - 45 ℃ ローラーベアリングのクリープが防止され 動作中の相対湿度 20 - 80 % ます。 設計のカスタマイズについてはご相談ください。詳細は www.pi.ws をご確認ください。 010 011

V-308.753030 技術データ モデル V-308.753030 Tolerance 動作 Z 対物レンズフォーカス用ボイスコイル PIFOC 動作軸 7mm Z 軸 トラベルレンジ 8 m/s² max. Z 軸 加速度 , 無負荷時 200mm/s ■調整可能なトラレベルレンジ 7mm Z 軸 最大速度 , 無負荷時 ± 0.75 µm max. ± 0.75 µm max. ■ハイダイナミクスダイレクトドライブ 平坦度 (Z 軸動作時の X 軸へのリニアクロストーク ) 真直度 (Z 軸動作時の Y 軸へのリニアクロストーク ) ± 125 µrad max. ■ 1kgまでの重量補正機能を内蔵 Yaw (Z 軸動作時のθX 軸への回転クロストーク ) ± 125 µrad max. 　（ユーザー調整も可能） Pitch (Z 軸動作時のθY 軸への回転クロストーク ) ± 125 µrad max. Roll (Z 軸動作時のθZ 軸への回転クロストーク ) 1 nm P ■最小インクリメンタル・モーション Z 軸システム分解能 ± 0.75 µm typ. I P ■クロスローラーガイド Z 軸双方向再現性 ± 25 nm I M ■最適なオプション・アクセサリー Z 軸双方向再現性 , 100nm step ± 4 µm typ. M a Z 軸位置精度 , キャリブレーション無 0.01 µm typ. Z 軸最小インクリメンタルモーション 15 ms a g アプリケーション例 Z 軸セットリングタイム (100nm step, ± 15nm error band) 15 ms g ® シ ●各種光学顕微鏡 Z 軸セットリングタイム (250nm step, ± 15nm error band) 3 nm max. ® Z 軸ポジションノイズ PIOne: Incremental linear encoder -308 に V-308.AP1 アダプタープレート、V-308.OH1 対物ホルダー、 ●ゲノムシークエンス シ リ V P-725.11L スレッドアダプター、対物レンズを装着したもの。 ●レーザー加工 内蔵センサー Sin/cos, 1V peak-peak センサー信号 1 nm リ ー ●半導体・ウェハー検査 PIFOC による対物レンズの Z 方向の位置決め センサー分解能 2 µm ー ズ センサー信号間隔 Optical, direction sensing (reference edge track), 5V, ズ 多くの検査や顕微鏡技術では、試料を Z 方向、つ リファレンススイッチ TTL リファレンススイッチ再現性 0.5 µm まり対物レンズの光軸に沿って位置決めすることが 駆動特性 求められます。また、対物レンズ自体を Z 方向に移 駆動タイプ ボイスコイル 動させることも可能です。この目的のために、PI 社は ノーマル電圧 48 V PIFOC というソリューションを提供しています。 定格電流 , RMS 1.15 A typ. ピーク電流 , RMS 3.5 A typ. 統合された荷重補償 駆動力：Z 軸マイナス方向 4.2 N typ. 駆動力：Z 軸プラス方向 4.2 N typ. この製品には、磁力式の重力補償が搭載されていま ピーク力：Z 軸マイナス方向 9.45 N ピーク力：Z 軸プラス方向 9.45 N す。これにより、電源が入っていない状態でも、動作 力定数 2.7 N/A 軸に対して垂直に設置された 1kgまでの荷重の位置 モーター定数 1.37N/ √ W typ. を維持することができます。荷重補償はユーザーも コイル抵抗 3.9 Ω typ. 調整することができます。 コイルインダクタンス 0.85mH Back EMF 2.7 V·s/m max. 最大許容温度 50°C PIMag®ボイスコイルモーター 機械特性 ボイスコイルモーターはダイレクトドライブです。ダイ ガイド クロスローラーガイド P Z 軸 動作質量 , 無負荷時 200 g レクトドライブは、カップリング、ドライブスクリュー、 X 軸 許容プッシュフォース 10 N max. P I ギアヘッドなどの機械的な伝達要素を使用せずに、 Y 軸 許容プッシュフォース 10 N max. I g 駆動要素の力が直接、移動する荷重に伝わります。 Z 軸 許容プッシュフォース 10 N max. g I ボイスコイルドライブは、磁界のエアギャップ内に配置 全体質量 600 g ケーブルなし質量 450 g I i された永久磁石とコイルで構成されており、コイルに 材質 Aluminum, anodized i 電流が流れると、永久磁石の磁界の中を移動します。 その他 d 軽量で摩擦のない駆動原理により、ボイスコイルドラ コネクタ HD D-sub 26 (m) de イブは、限られた移動範囲で高い動特性と高速度を V-308.753030 寸法図 mm 推奨コントローラ /ドライバー C-414, G-910, ACS SPiiPlus + NPMpm (NanoPWM incl.) e エ ケーブル長 1.5 m 必要とするアプリケーションに特に適しています。また、 エ ア 動作温度範囲 10 to 50°C ヒステリシスの影響を受けないため、高いスキャン周 ア ベ 波数と高精度の位置決めが可能です。 センサー分解能と最小インクリメンタル・モーションについて：2x インターポレーション C-414 コントローラを使用した場合 セトリングタイムについて。ゲイン・スケジューリングあり（NanoPWM のみ） ベ ア クロスローラーガイド 位置決め精度・再現性に関する注意事項 ISO 230-2 に準拠 ア リ 定格電流、ピーク電流について：最大 10 秒、コイル温度 70℃の場合 定格電流、RMS について：冷却なしの値、冷却ありの値。1.55A; 水平方向に配置されたポジショナー、スチール製プレート付き、200mm × 250mm × 12mm クロスローラーガイドでは、ボールガイドのボールの リ ン インダクタンスについて :100mHz での値 点接触の代わりに、硬化されたローラーの線接触にて ン グ 仕様は室温（22 ℃ ± 3℃）に適用。範囲外では、仕様が逸脱する可能性があります。 駆動します。その結果、剛性が大幅に向上し、予圧が グ シ 少なくて済むため、摩擦が減り、スムーズな走行が シ リ 可能です。また、クロスローラーガイドは、高いガイド 精度と耐荷重が特徴です。フォースガイド式のローリ リ ー ングケージは、ケージのクリープを防ぎます。 ー ズ ズ ダイレクトポジション計測 非線形性、機械的な遊び、弾性変形などが位置計測 に影響しないように、モーションプラットフォームで ダイレクトに、高精度で位置計測を行います。 012 013

V-408 V-408 技術データ 動作および位置決め 単位 公差 駆動軸　 X　 PIMag® X　 リ ニアモーターステージ 移動範囲 V-408.132020：25 mm V-408.232020：50 内蔵 インクリメンタルエンコーダー ■ アイロンコア３相リニアモータ センサー信号周期 80 µm センサー分解能 10(1) nm 標準 ■ 高耐荷重のクロスローラガイド 最小インクリメンタルモーション 20 nm 標準 ■ 最小インクリメンタルモーション 20nm 双方向繰り返し性 ￥±0.1 µm 標準 ■ 双方向繰り返し性 ±0.1µm ピッチング / ヨーイング ±150 µrad 標準 真直度 / 平坦度 ±4 µm 標準 P ■ コンパクト設計 速度 V-408.132020：0.5 m/s 最大 I P V-408.232020：0.7 I M 機械的特製 M a z 方向負荷容量 80 N 最大 許容横力 80 N 最大 a g 許容トルク 2.3 Nm 最大 g ® 許容トルク 1.3 Nm 最大 ® シ 移動質量 V-408.132020：0.23 kg シ リ V-408.232020：0.3 リ ー PIMag®︎リニアモーターステージ ケーブルなしの重量 V-408.132020：0.5 kg V-408.232020：0.65 ー ズ kg PIMag®︎ 磁気駆動ドライブ クロスローラーガイド クロスローラーガイドには、ガイド精度が 全体質量 V-408.132020：0.79 ズ V-408.232020：0.94 高く耐荷重が大きいという特徴もあります。 ガイドの種類 クロスローラーガイド 3相の磁気ダイレクトドライブはドライブトレ クロスローラーガイドにより、ボールガイド 応用分野 駆動特性 イン内で機械部品を使用しないため、駆動力 のボールの点接触ではなく強化ローラーが 駆動タイプ PIMag®リニアモータ、アイロンコア、3相 を摩擦プラットフォームに伝達します。アイ 線で接触するようになっています。これにより 産業および研究用途 ダイナミクスと精度に 中間回路電圧 48 V VDC 最大 ロンコアモータは、限られた設置スペースで 剛性が著しく増すとともに必要なプリロード 対する要求の高いオートメーション技術。 ピーク力 14 N 標準 圧力 5 N 標準 力と加速度を達成する必要がある場合に使用 が抑えられているため、摩擦が低減しスムーズ ピーク電流 (RMS) 3.2 A 標準 されます。 な動作が可能となっています。 公称電流 (RMS) 1.1 A 標準 力定数 (RMS) 4.60 N/A 標準 抵抗 ( 相間 ) 2.46 W 標準 インダクタンス ( 相間 ) 1.94 mH 標準 相間逆起電力 2.81 V s/m 最大 極ピッチ (N-N) 18 mm その他 動作温度範囲 10 ～ 50 ℃ 湿度露 20 – 90% 相対、非結露 材料 黒アルマイト加工アルミニウム モーター接続 HD D-Sub 26(m) P センサー接続 Sub-D 15(f) ケーブル長さ 2 P I m I g (1) interpolated g I I i i d de e エ エ ア ア ベ ベ ア ア リ リ ン ン グ グ シ シ リ リ ー ー ズ ズ 014 015

V-412 技術データ 動作 V-412.03 V-412.05 V-412.09 V-412.13 単位 公差 V-412 高耐荷重リニアモータステージ 駆動軸 X X X X トラベルレンジ 52 102 204 305 mm Pitch / yaw ±9 ±14 ±19 ±29 µrad 最大 +10% 真直度 / 平坦度 ±1.5 ±2.5 ±4 ±6 µm 最大 ■幅 116mm 速度 , 無負荷時 2000 2000 2000 2000 mm/s 最大 ■トラベルレンジ 最大 610mm 位置精度 , キャリブレーションなし ±3 ±4 ±8 ±10 µm 標準 ■インクリメンタ＆アブソリュートリニアエンコーダ 動作 V-412.17 V-412.21 V-412.25 単位 公差 P ■精密再循環ボールベアリング、最大 400Nの耐荷重 I 駆動軸 X X X P ■サイドのカバーストリップでパーティクルを防止 トラベルレンジ 407 508 610 mm I M Pitch / yaw ±39 ±48 ±58 µrad 最大 +10% M a 真直度 / 平坦度 ±8 ±9 ±10 µm 最大 a g 速度 , 無負荷時 2000 2000 2000 mm/s 最大 g ® 位置精度 , キャリブレーションなし ±12 ±14 ±15 µm 標準 ® シ シ リ エンコーダオプション V-412.xxx211Ex V-412.xxx025Ex 単位 公差 リ ー 内蔵センサ インクリメンタルリニアエンコーダ アブソリュートリニアエンコーダ センサ信号 Sin/cos, 1 V peak-peak, 20 µm EnDat 2.2 ー ズ ンコーダを採用しています。エンコーダーの これは、スイッチオン時にリファレンス動作が デザイン分解 0.0003 0.001 µm ズ リファレンスクラスのリニアポジショナ 高い分解能により、優れたトラッキング性能、 必要がなく、操作時の効率と安全性を向上さ 最小インクリメンタルモーション 5 10 nm 標準 双方向再現性 ±0.5 ±0.5 V-412 は、リニアモータを搭載した高精度 小さなトラッキングエラー、短いセトリング せます。業界互換のコネクターは、高速で µm 標準 リミットスイッチ ホール効果、N/C contavt, 5V、NPN – のリニアステージで、産業用ソリューションの タイムを実現しています。 安全な接続を提供します。側面のカバース ポートフォリオに含まれます。その設計は一貫 柔軟性を高めるために、インクリメンタル トリップとパージエアコネクターにより、パー 機械特性 V-412.xxxxxx 単位 公差 して厳しい産業環境に対応し、高い剛性と エンコーダとアブソリュートエンコーダの ティクルによる汚染を防ぐことができます。 ガイドタイプ 再循環ボールベアリングガイド 高品質なコンポーネントを使用していることが いずれかを選択することが可能です。アブソ 荷重 /Z 400 N 最大 特徴です。高性能アイアンレスリニアモーター、 リュートエンコーダは明確な位置情報を提供 ラテラルフォース 200 N 最大 ヘビーデューティーリニアボールベアリング するため、位置を即座に決定することがで 横方向許容力 θX 20 N•m 最大 ガイド、高精度インクリメンタルリニアエ きます。 横方向許容力 θY 15 N•m 最大 横方向許容力 θz 20 N•m 最大 ドライブ特性 V-412.xx6 単位 公差 ドライブタイプ アイアンレス 3 相リニアモーター 中間回路電圧 300 V DC 最大 ピークフォース 151 N 標準 公称力 33 N 標準 P ピーク電流 , RMS 7.55 a 標準 P I 定格電流 , RMS 2.39 a 標準 I g 力定数 , RMS 19.9 N/A 標準 モーター定数 4 N/ √ W 標準 g I 電気時定数 0.19 ms 抵抗値 phase-phase 8.69 Ω 標準 I i i d インダクタンス phase-phase 1.4 mH 標準 Back EMF phase-phase 8.1 V·s/m 最大 e Pole pitch N-N 30.5 mm de エ その他 V-412 単位 公差 エ ア アルミニウム , ブラックアルマイト処理 材質 ア ベ ステンレススチール V-412.03 (52 mm): 5.0　　 V-412.05 (102 mm): 5.6 ベ ア V-412.09 (204 mm): 6.7 V-412.13 (305 mm): 7.9 重量 ア リ V-412.17 (407 mm): 9.0 V-412.21 (508 mm): 10.2 kg ±5% V-412.25 (610 mm): 11.3 リ ン 可動部の重量 1.7 kg ±5% ン グ MTBF 20000 h コネクタ M15 ( モーター )　M15 (リニアエンコーダ )　外径 4mm のパージエアホース グ シ 推奨コントローラ G-901.R519　ACS モジュラー コントローラ N•m 最大 シ リ ※接続ケーブルは、別途注文する必要があります。 リ ー ー ズ ズ V-417, dimensions in mm 016 017

V-508 技術データ モデル V-508.2 V-508.6 V-508.9 単位 公差 PIMag® 高 精度リニアモーターステージ 駆動軸 X X X トラベルレンジ 80 170 250 mm ピッチング / ヨーイング ±100 ±200 ±300 µrad 最大 真直度 / 平坦度 ±4 ±10 ±20 µm 最大 ■ トラベルレンジ：80, 170, 250mm V-508.2x1: 0.6(1) V-508.6x1: 0.6(1) V-508.9x1: 0.6(1) 速度 ■ アイロンコアあるいはアイロンレスリニアモータ V-508.9x2: 0.7(1) m/s 最大 V-508.2x2: 0.7(1) V-508.6x2: 0.7(1) 加速度 5 5 5 m/s² 最大 ■ インクリメンタルあるいはアブソリュートリニアエンコーダ 機械特性 P ■ コンパクトクロスセクション : 80mm × 25mm 耐荷重 /Z 軸 100 100 100 N 最大 V-508.2x1: 0.45 V-508.6x1: 0.75 V-508.9x1: 1.01 I kg P ■ クロスローラーベアリング 可動部の重量 V-508.2x2: 0.35 V-508.6x2: 0.6 V-508.9x2: 0.79 I M V-508.2x1: 1.1 V-508.6x1: 1.7 V-508.9x1: 2.3 総重量 M a kg V-508.2x2: 1.0 V-508.6x2: 1.6 V-508.9x2: 2.1 a g Crossed roller guide with Crossed roller guide with Crossed roller guide with ガイドタイプ anti-creep system anti-creep system anti-creep system g ® ® シ エンコーダオプション V-508.x3 V-508.x5 V-508.xB 単位 公差 シ リ PIMag®精密リニアステージ 内蔵センサ Incremental linear encoder PIOne incremental linear encoder Absolute encoder リ ー Sin/cos, 1 V peak-peak, Sin/cos, 1 V peak-peak, センサ信号 BiSS-C ー ズ 80 µm signal period 2 µm signal period フレキシブル調整 内のボールの点接触は、硬化したローラの アプリケーション分野 センサ分解能 10(2) 0.2(2) 78 mm 標準 ズ 技術的に洗練されたコスト重視のアプ リ 線接触に置き換えられます。その結果かなり 最小インクリメンタルモーション 20 1 160 µrad 標準 ケーションは、さまざまな移動距離、ドラ 堅くなりそして予圧を少なくする必要があり、 産業と研究半導体または医療技術における 双方向再現性 ±0.1 ±0.05 ±0.15 µm 標準 イブ、および測定システムで同様に利用できま それは摩擦を減らし滑らかな走行を可能に 測定技術、フォトニクスおよび精密スキャン。 す。XY アセンブリも可能です。 します。クロスローラガイドは、高いガイド ドライブ特性 V-508.xx1 V-508.xx2 単位 公差 クロスローラガイド 精度と可搬質量によっても際立っています。 ドライブタイプ Linear motor, ironless, 3-phase Linear motor, iron core, 3-phase 力誘導転動体保持器は保持器のクリープを 中間回路電圧 48 48 VDC クロスローラガイドの場合、ボールガイド 防止します。 ピーク力 12 14 N 標準 圧力 3 5 N 標準 ピーク電流（RMS） 3.2 3.2 A 標準 公称電流（RMS） 0.7 1.1 A 標準 力定数（RMS） 4.28 4.81 N/A 標準 抵抗値（相間） 5.92 2.46 Ω 標準 インダクタンス（相間） 1.26 1.94 mH 標準 相間逆起電力 5.36 3.02 V·s/m 標準 極ピッチ（N-N） 20 18 mm 最大 その他 V-508 P 動作温度範囲 10℃ to 50℃ 12 P I 湿度 20 – 90% rel., not condensing I g 材料 Aluminum, blue / black anodized モータ接続 HD Sub-D 26 (m) g I センサ接続 Sub-D 15 (f) I i ケーブル長 2 m i d (1) V-508.x5: max. 0.2 m/s when combined with the C-891 (2) interpolated de e エ エ ア V-508.231020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 80 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , インクリメンタルリニアエンコーダ sin/cos, 80 µm Signal period, アイアンレス , 48 V ア ベ V-508.232020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 80 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , インクリメンタルリニアエンコーダ sin/cos, 80 µm Signal period, アイアンレスリニアモータ , 48 V ベ ア V-508.251020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 80 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , PIOne リニアエンコーダ sin/cos, 2 µm Signal period, アイアンレス リニアモータ , 48 V V-508.252020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 80 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , PIOne リニアエンコーダ sin/cos, 2 µm Signal period, アイアンレスリニアモータ , 48 V ア リ V-508.2B1020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 80 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , Absolutencoder, 78 nm センサー分解能 , アイアンレス リニアモータ , 48 V リ ン V-508.2B2020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 80 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , Absolutencoder, 78 nm センサー分解能 , アイアンレスリニアモータ , 48 V ン グ V-508.631020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 170 mm 高さ, 100 N 耐荷重 , インクリメンタルリニアエンコーダ sin/cos, 80 µm Signal period, アイアンレス リニアモータ, 48 V V-508.632020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 170 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , インクリメンタルリニアエンコーダ sin/cos, 80 µm Signal period, アイアンレスリニアモータ , 48 V グ シ V-508.651020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 170 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , PIOne リニアエンコーダ sin/cos, 2 µm Signal period, アイアンレス リニアモータ , 48 V シ リ V-508.652020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 170 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , PIOne リニアエンコーダ sin/cos, 2 µm Signal period, アイアンレスリニアモータ , 48 V V-508.6B1020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 170 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , Absolutencoder, 78 nm センサー分解能 , アイアンレス リニアモータ , 48 V リ ー V-508.6B2020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 170 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , Absolutencoder, 78 nm センサー分解能 , アイアンレスリニアモータ , 48 V ー ズ V-508.931020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 250 mm 高さ, 100 N 耐荷重 , インクリメンタルリニアエンコーダ sin/cos, 80 µm Signal period, アイアンレス リニアモータ, 48 V ズ V-508.932020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 250 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , インクリメンタルリニアエンコーダ sin/cos, 80 µm Signal period, アイアンレスリニアモータ , 48 V V-508.951020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 250 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , PIOne リニアエンコーダ sin/cos, 2 µm Signal period, アイアンレス リニアモータ , 48 V V-508.952020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 250 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , PIOne リニアエンコーダ sin/cos, 2 µm Signal period, アイアンレスリニアモータ , 48 V V-508.9B1020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 250 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , Absolutencoder, 78 nm センサー分解能 , アイアンレス リニアモータ , 48 V V-508.9B2020 PIMag® 高精度リニアステージ , 80 mmx25 mm, 250 mm 高さ , 100 N 耐荷重 , Absolutencoder, 78 nm センサー分解能 , アイアンレスリニアモータ , 48 V 018 019

動作および位置決め V-551.2x V-551.4x V-551.7x Unit Tolerance V-551 動作軸 X X X トラベルレンジ 60 130 230 mm PIMag®精 密リニアモーターステージ Pitch ±50 ±100 ±100 µrad Typ. Yaw ±50 ±50 ±50 µrad Typ. 真直度 ±1 ±1 ±2 µm Typ. ■移動範囲 : 最大 230mm 平坦度 ±2 ±2 ±2 µm Typ. 速度 0.5 (1) 0.5 (1) 0.5 (1) m/s Max. ■最大速度 : 0.5m/s 機械特性 V-551.2x V-551.4x V-551.7x Unit Tolerance 耐荷重（Z） 150 150 150 N Max. ■1nm 分解能のアブソリュートエンコーダ 耐荷重（Y) 50 50 50 N Max. ■高精度ガイディング 移動質量 2.2 2.7 4.9 kg P 全体質量 4.2 5.5 9.7 kg I ■コンパクト設計 P リニアガイド アンチクリープクロスローラベアリング ドライブ特性 I M V-551 　Unit 　Tolerance ドライブタイプ M a アイアンレスリニアモータ Intermediate circuit voltage 48 (2) V DC Max. a g ピークフォース 180 N Typ. g ® Nominal force 27 N Typ. ® シ アプリケーション例 ピーク電流 , RMS 10 A Typ. シ リ 定格電流 , RMS 1.5 A Typ. ●産業および研究 力定数 , RMS 18 N/A Typ. リ ー ●オートメーション 抵抗値 / phase 3.15 Ω Typ. ー ズ ●計測 インダクタンス / phase 0.9 mH Typ. PIMag®精密リニアモーターステージ ●フォトニクス Back EMF phase-phase 16 Vs/m Max. ズ ●医療 Pole pitch N-N 30 mm ●半導体やフラットパネルディスプレイ製造に エンコーダーオプション V-551.xB V-551.xD 　おける高精度スキャニング 内蔵センサー Absolute encoder PIOne incremental linear encoder Sin/cos, 1 V peak-peak, センサー信号 BiSS-C 2µm signal period センサー分解能 1 nm 0.2nm(3) 最小移動量 2 nm 0.5nm(4) リファレンスクラスのリニアステージ PIMag®︎ 磁気直接駆動 ダイレクト計測アブソリュート 一方向再現性 0.02 µm 0.02µm エンコーダ 双方向再現性 ±0.05 µm ±0.05µm クロスローラーベアリングを用いた高精度 高速及び高加速度を実現するため、アイアン トラベルレンジリミット リミットはソフトウェア設定し、メカニカルストップバッファを追加。 Hall effect limit switches, N/O contact, 5V, TTL ステージは高い移動精度を実現し、特に レス磁気直接駆動を採用しています。PI アブソリュートエンコーダーは明確な位置 リファレンススイッチ – Optical, direction sensing (reference edge track), 5V, TTL 一定速度が求められるスキャニングでの モーションコントローラによる正弦波整流 情報を提供するため、高速位置決めが可能 リファレンススイッチ再現性 – <1µm 利用に適合します。アンチクリープシステム 制御と摩擦のない駆動により、高い位置 その他 V-551 で、スイッチが入っている間はリファレンス 動作温度範囲 10 °C to 50 °C は、確実にケージクリープを防ぎます。様々な 決め分解能が得られます。Push/pull フォース 動作をする必要がありません。このため 湿度 20 – 90% rel., not condensing 動作状況下でガイドは高精度かつ高耐荷重を は自由に調整可能です。 動作中の効率や安全性が向上します。 材質 Aluminum, black anodized もたらします。 非直進性、機械の遊び、あるいは弾性変形 モーターコネクタ― HD D-sub 26(m) センサーコネクタ D-sub 15(f) P の影響がないよう、最も高精度な位置計測 ができる移動ステージ部分でダイレクト計測 (1) C-891と使用時、Max. 0.2m/s for V-551.xD P I (2) 24 VDC with C-891 and 24V power adapter I g しています。 (3) interpolated (4) with ACS NanoPWM g I 接続ケーブルは含まれていないため別途注文が必要。 I i i de de エ エ ア ア ベ ベ ア ア リ リ ン ン グ グ シ シ リ リ ー XY 軸例：2x モディファイ V-551.4D。ドラグチェインケーブルオプション ー ズ ズ XYZ 軸例：3xV-551 (60 mm レンジ）。モディファイ Z 軸：重量を磁気補正。 V-551 寸法図 mm 020 021

技術データ V-817.336211E0 V-817 動作 V-817.256211E0 V-817.256211E0 V-817.096211E0 公差 駆動軸 X X X X 高 負荷対応リニアステージ トラベルレンジ 813 mm 610 mm 407 mm 204 mm ■ 高さ (63mm)、幅 166mm、 最大速度 , 無負荷時 3000 mm/s 3000 mm/s 3000 mm/s 3000 mm/s 　 ロングトラベルレンジ(813mm まで ) X 軸動作時のリニアクロストーク（Y) ± 18 µm ± 14 µm ± 10 µm ± 6 µm max. ナミックでメンテナンスフリーの X 軸動作時のリニアクロストーク（Z) ± 18 µm ± 14 µm ± 10 µm ± 6 µm max. ■ ハイダイ 　 リニアモーターと高精度インクリメンタル X 軸動作時の回転クロストーク（θY) ± 100 µrad ± 90 µrad ± 60 µrad ± 50 µrad max. X 軸動作時の回転クロストーク（θZ） ± 100 µrad ± 90 µrad ± 60 µrad ± 50 µrad max. 　 リニアエンコーダを搭載 Positioning ■ 長寿命を実現する堅牢な産業向け設計 システム分解能 0.3 nm 0.3 nm 0.3 nm 0.3 nm 双方向再現性 ± 1.5 µm ± 1.5 µm ± 1 µm ± 1 µm max. P ■ 最大600Nの耐荷重 位置決め精度 , キャリブレーション後 ± 6 µm ± 4 µm ± 3 µm ± 2.5 µm max. I P ■ リファレンスエッジによる迅速な組み込み、 位置決め精度 , キャリブレーションなし ± 27 µm ± 22 µm ± 18 µm ± 12 µm max. I M 　 簡単に XY 軸構成が可能 最小移動量 0.01 µm 0.01 µm 0.01 µm 0.01 µm M a 内蔵センサー Incremental linear encoder Incremental linear encoder Incremental linear encoder Incremental linear encoder g ■ テストレポートの作成と送付を標準で提供 セン サー信号 Sin/cos, 1V peak-peak Sin/cos, 1V peak-peak Sin/cos, 1V peak-peak Sin/cos, 1V peak-peak a センサー信号ピッチ 20 µm 20 µm 20 µm 20 µm g ® レンススイッチ Optical Optical Optical Optical ® シ リファ アプリケーション分野 リミットスイッチ Hall effect, N/C contact, 5V, NPN Hall effect, N/C contact, 5 V, NPN Hall effect, N/C contact, 5V, NPN Hall effect, N/C contact, 5 V, NPN シ リ ドライブ特性 ● 電子機器、 センサー、カメラ製造 tor Ironless 3-phase linear motor Ironless 3-phase linear motor Ironless 3-phase linear motor リ ー ドライブタイプ Ironless 3-phase linear mo ● 非接触検査、X 線検査 定格電圧 325 V 325 V 325 V 325 V ー ズ ● センサー、超音波検査 定格電流 , RMS 3.54 A 3.54 A 3.54 A 3.54 A ズ ● 半導体製造 ウェーハの加工・検査 ピーク電流 , RMS 15 A 15 A 15 A 15 A 駆動力：Z 軸マイナス方向 70 N 70 N 70 N 70 N ● レーザー加工 レーザー溶接 駆動力：Z 軸プラス方向 70 N 70 N 70 N 70 N ピーク力：Z 軸マイナス方向 300 N 300 N 300 N 300 N 高性能・高負荷に対応する産業向け設計 タイムを実現しています。業界互換性のある V-817 リニアステージは、複雑なシステム ピーク力：Z 軸プラス方向 300 N 300 N 300 N 300 N コネクターにより、高速で安全な接続が可 に組み込むのに最適な製品です。そのため、 力定数 19.9 N/A 19.9 N/A 19.9 N/A 19.9 N/A V-817 は、PI 社の産業用ソリューションの 能です。オプションのモーションプラット PI 社では、適切なコントローラと、グラナ モータ定数 8.4N/ √ W 8.4N/ √ W 8.4N/ √ W 8.4N/ √ W ポートフォリオの中で、高負荷容量と高い フォームは、3 つの M6 ホールパターンに イトベース、マシンフレーム、マウントアダ 時定数 0.35 ms 0.35 ms 0.35 ms 0.35 ms 動特性を持つリニアステージです。V-817 抵抗値 phase-phase 3.6 Ω 3.6 Ω 3.6 Ω 3.6 Ω より、多様な組み立てオプションを提供します。 プタ、ケーブルセット、適切なソフトウェア インダクタンス phase-phase 1.2 mH 1.2 mH 1.2 mH 1.2 mH は、産業界の厳しい条件に合わせて設計され このプラットフォームを使用しない場合、全 サポートなどのアクセサリを備えた、統合さ Back EMF phase-phase 16V·s/m 16 V·s/m 16V·s/m 16V·s/m ており、高い剛性と高品質の部品を使用し 高が特に低くなるため、特に XY の組み合 れた XY または XYZ 多軸システムを提供し Pole pitch N-N 30 mm 30 mm 30 mm 30 mm ているのが特徴です。循環ボールベアリン わせにおいて利点があります。 ています。多軸システムに関するご要望は、 機械特性 V-817.096211E0 グガイド、3 相リニアモーター、インクリメ ガイド Recirculating ball bearing guide Recirculating ball bearing guide Recirculating ball bearing guide Recirculating ball bearing guide 完全に統合された多軸システム 弊社営業部までお問い合わせください。 可動部質量 , 無負荷時 1400 g 1400 g 1400 g 1400 g ンタルリニアエンコーダ。エンコーダの高 Z 軸への最大押力 600 N 600 N 600 N 600 N max. い分解能により、優れたトラッキング性能、 V-817 リニアステージは、複雑なシステム 全体質量 21100 g 18400 g 14800 g 11200 g 小さなトラッキングエラー、短いセトリング に組み込むのに最適な製品です。そのため、 材質 Aluminum, black anodized, Aluminum, black anodized, Aluminum, black anodized, Aluminum, black anodized, stainless steel stainless steel stainless steel stainless steel P その他 タ M15 9-pole(m) M15 9-pole(m) M15 9-pole(m) M15 9-pole(m) P I コネク センサーコネクタ M15 15-pole(m) M15 15-pole(m) M15 15-pole(m) M15 15-pole(m) I g Ready for use, with fully Ready for use, with fully Ready for use, with fully Ready for use, with fully g I integrated controller of the integrated controller of the integrated controller of the integrated controller of the G-901 series: G-901.R519. G-901 series: G-901.R519. G-901 series: G-901.R519. G-901 series: G-901.R519. I i Flexible integration with Flexible integration with Flexible integration with Flexible integration with i d 推奨コントローラ /ドライバ compact modules: ACS compact modules: ACS compact modules: ACS compact modules: ACS iiPlusEC and UDMpm. SPiiPlusEC and UDMpm. SPiiPlusEC and UDMpm. SPiiPlusEC and UDMpm. de SP Also compatible with other Also compatible with other Also compatible with other Also compatible with other e エ third-party controllers and third-party controllers and third-party controllers and third-party controllers and エ ア servo drivers. servo drivers. servo drivers. servo drivers. 動作温度範囲 5 to 40 °C 5 to 40 °C 5 to 40 °C 5 to 40 °C ア ベ ベ ア (All cables required for operation with the recommended controller are included in the scope of delivery. ア リ The cable length is 3 m. Cable for connecting to other controllers can be ordered as accessory. リ ン ン グ グ シ シ リ リ ー ー ズ ズ V-817.xxHxx:Drag Chain オプション V-817.TT1: プラットフォームオプション 022 023

V-855 技術データ 動作 V-855.566023E0 V-855.566211E0 V-855.576023E0 V-855.576211E0 公差 駆動軸 X X X X 高 速リニアステージ トラベルレンジ 400 mm 400 mm 800 mm 800 mm 加速度 , 無負荷時 50 m/s² 50 m/s² 50 m/s² 50 m/s² max. 最大速度 , 無負荷時 4000 mm/s 4000 mm/s 4000 mm/s 4000 mm/s 真直度：X 軸動作時リニアクロストーク（Y) ± 12 µm ± 12 µm ± 20 µm ± 20 µm max. ■ 長い移動量（800mm まで）と狭幅（幅 100mm） 平坦度：X 軸動作時リニアクロストーク（Z) ± 10 µm ± 10 µm ± 10 µm ± 10 µm max. ■ ハイダイナミックでメンテナンスフリーの Pitch：X 軸動作時回転クロストーク（θY) ± 100 µrad ± 100 µrad ± 150 µrad ± 150 µrad max. Yaw：X 軸動作時回転クロストーク（θZ) ± 150 µrad ± 150 µrad ± 200 µrad ± 200 µrad max. 　 リニアモーター（最大速度：4m/s） Positioning 内蔵センサー Absolute linear encoder Incremental linear encoder Absolute linear encoder Incremental linear encoder P ■ 長寿命を実現する堅牢な産業設計 システム分解能 1 nm 0.3 nm 1 nm 0.3 nm I P ■ 高精度インクリメンタル 双方向再現性 ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm max. I M 位置決め精度 , キャリブレーションなし ± 15 µm ± 15 µm ± 20 µm ± 20 µm max. 　 またはアブソリュートリニアエンコーダ M a 最小移動量 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm max a g ■ 最大 600Nの耐荷重 センサー信号 BiSS-C Sin/cos, 1 V peak-peak BiSS-C Sin/cos, 1 V peak-peak センサー分解能 5 nm 5 nm g ® ■ ガントリーシステムに最適 ® シ センサ信号ピッチ 20 µm 20 µm リミットスイッチ Hall effect, N/C contact, 5 V, Hall effect, N/C contact, 5 V, シ リ 低消費電力を必要とするアプリケーション 条件に対応しており、高い剛性と、循環ボー トラッキング性能、小さなトラッキングエラー、 NPN NPN ドライブ特性 リ ー のためのコンパクトな産業向け設計 ルベアリングガイド、3 相リニアモーター、 短いセトリングタイムを実現しています。オプ ドライブタイプ Ironless 3-phase linear Ironless 3-phase linear Ironless 3-phase linear Ironless 3-phase linear ー ズ インクリメンタルまたはアブソリュートリニア ションのモーションプラットフォームは、3つの motor motor motor motor ズ V-855 は、産業用アプリケーション向けの エンコーダなどの高品質な部品を使用して M6 ホールパターンを備え、多彩な組み立て 定格電圧 60 V 60 V 60 V 60 V ヘビーデューティーでハイダイナミックなリニ いることを特徴としています。 オプションを提供します。 ピーク電圧 60 V 60 V 60 V 60 V typ. 定格電流 , RMS 3.2 A 3.2 A 3.2 A 3.2 A typ. アステージです。設計は、産業界の厳しい エンコーダの高い分解能により、優れた ピーク電流 , RMS 7.3 A 7.3 A 7.3 A 7.3 A typ. 駆動力：Z 軸マイナス方向 39 N 39 N 39 N 39 N typ. 駆動力：Z 軸プラス方向 39 N 39 N 39 N 39 N ピーク力：Z 軸マイナス方向 90 N 90 N 90 N 90 N ピーク力：Z 軸プラス方向 90 N 90 N 90 N 90 N 力定数 12.4 N/A 12.4 N/A 12.4 N/A 12.4 N/A typ. モータ定数 5.39 N/ √ W 5.39 N/ √ W 5.39 N/ √ W 5.39 N/ √ W 時定数 0.36 ms 0.36 ms 0.36 ms 0.36 ms typ. 抵抗値 phase-phase 3.5 Ω 3.5 Ω 3.5 Ω 3.5 Ω インダクタンス phase-phase 1.2 mH 1.2 mH 1.2 mH 1.2 mH max. Back EMF phase-phase 10 V·s/m 10 V·s/m 10 V·s/m 10 V·s/m Pole pitch N-N 24 mm 24 mm 24 mm 24 mm 機械特性 ガイド Recirculating ball bearing Recirculating ball bearing Recirculating ball bearing Recirculating ball bearing guide guide guide guide 可動部質量 , 無負荷時 800 g 800 g 800 g 800 g max. P Y 軸への最大押力 60 N 60 N 60 N 60 N max. P I Z 軸への最大押力 600 N 600 N 600 N 600 N 全体質量 6800 g 6800 g 10500 g 10500 g I g 材質 Aluminum, black anodized, Aluminum, black anodized, Aluminum, black anodized, Aluminum, black anodized, g I steel (guide rail) steel (guide rail) steel (guide rail) steel (guide rail) その他 I i コネクタ HD D-sub 26 (m) HD D-sub 26 (m) HD D-sub 26 (m) HD D-sub 26 (m) i センサーコネクタ D-sub 15-pole (f) D-sub 15-pole (f) D-sub 15-pole (f) D-sub 15-pole (f) de d推奨コントローラ /ドライバ Ready for use, with fully Ready for use, with fully Ready for use, with fully Ready for use, with fully integrated controller of the integrated controller of the integrated controller of the integrated controller of the e エ G-901 series: G-901.R319, G-901 series: G-901.R319, G-901 series: G-901.R319, G-901 series: G-901.R319, エ ア G-901.R3199, G-901.R4199. G-901.R3199, G-901.R4199. G-901.R3199, G-901.R4199. G-901.R3199, G-901.R4199. ア ベ Flexible integration with Flexible integration with Flexible integration with Flexible integration with ベ ア compact modules: ACS compact modules: ACS compact modules: ACS compact modules: ACS SPiiPlusEC and UDMpa. SPiiPlusEC and UDMpa. SPiiPlusEC and UDMpa. SPiiPlusEC and UDMpa. ア リ Also compatible with other Also compatible with other Also compatible with other Also compatible with other リ ン third-party controllers and third-party controllers and third-party controllers and third-party controllers and ン グ servo drivers. servo drivers. servo drivers. servo drivers. ケーブル長 1 m 1 m 1 m 1 m グ シ 動作温度範囲 5 to 40 °C 5 to 40 °C 5 to 40 °C 5 to 40 °C シ リ リ ー (All cables required for operation with the recommended controller are included in the scope of delivery. ー ズ The cable length is 3 m. Cable for connecting to other controllers can be ordered as accessory. ズ 024 025

V-738 技術データ V-738.056111 単位 公差 PIMag® 動作と位置決め 高 精度開口部付 XY ステージ トラベルレンジ 102 × 102 mm 内蔵センサ Incremental linear encoder 設計分解能 0.001 µm センサ信号 Sin/cos,1V peak-peak, 20µm signal period ■ 移動範囲：102mm×102mm（4 "） 最小インクリメンタルモーション 0.02 µm 標準 ■ 150x150mmの大きな開口部 一方向再現性 0.1 µm 標準 双方向再現性 ±0.25 µm 標準 ■ 一方向再現性：0.1µm 角度エラー（xry）（ピッチング） ±40 µrad 標準 角度エラー（xrz）（ヨーイング） ■ 速度：500mm/s ±20 µrad 標準 P 角度エラー（yrx）（ピッチング） ±40 µrad 標準 I P ■ 三相リニアモータ 角度エラー（yrz）（ヨーイング） ±20 µrad 標準 I M 真直度 / 平坦度 ±2 µm 標準 ■ 高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ M a 直交性 ±96.963 µrad 標準 a g 速度 500 mm/s 最大 アプリケーション分野 加速度（X,Y・無荷重時） g ® 10 m/s² 最大 ® シ リファレンスリミットスイッチ 光学式 ● レーザーカッティング 機械特性 シ リ ● スキャニング 耐荷重 100 N 最大 PIMag®高精度開口部付XYステージ リ ー トルク（θx,θy） 130 N·m 最大 ● バイオテクノロジー トルク（θz） 90 N·m 最大 ー ズ ● 計測測定 ガイド Recirculating ball bearing ズ ● 顕微鏡検査 ドライブ特性 モータタイプ アイロンレス 3 相リニアモータ リニアモーター が発生しません。制御動作の非線形性が 循環型ボールベアリング 動作電圧（公称） 48 V nom. 動作電圧（最大） 48 V 最大 回避され、任意の位置を容易に制御すること リニアモーターは、電磁式のダイレクトドラ 循環型ボールベアリングは、慎重に組み立て ピークフォース 200 N 最大 ができます。また、駆動力は自由に設定でき イブです。駆動系の機械部品を必要とせず、 られた場合、高負荷容量、寿命、メンテナンス 圧力 87 N 標準 ます。 ピーク電流 15 A 標準 駆動力を直接、摩擦なくモーションプラット フリーの動作、およびガイド精度の有益な組み 公称電流 4.4 A 標準 フォームに伝達します。このドライブは高い 合わせによって区別されます。ステージの可動 力定数 インクリメンタルリニアエンコーダで N/A 標準 速度と加速度が得られます。 モータ定数 71 N/ √ W 標準 高精度な位置計測 部は、2 本のガイドレール上に配置された 4 つ アイアンレスモーターは、永久磁石との望 の予圧付きリニアボールベアリングユニットに 電気時定数 0.4 ms 抵抗値（相間） 3.6 Ω 標準 ましくない相互作用がないため、特に精度が 非接触光学式エンコーダは、プラッフォーム よって支えられています。各ベアリングユニット インダクタンス（相間） 1.2 mH 標準 要求される位置決め作業に適しています。 の位置を直接、最も高い精度で測定します。 は 2 列の独立した循環型ボールベアリングで 相間逆起電力 16 V·s/m 最大 これにより、最低速度でもスムーズな動作 非線形性、機械的な遊び、弾性変形は測定 構成されています。 極ピッチ（N-N） 30 mm が可能となり、同時に、高速度でも振動 に影響を与えません。 その他 動作温度範囲 5 to 40 ℃ 材質 X 方向時可動部重量（無荷重） 16.8 kg ±5% P Y 方向時可動部重量（無荷重） 8 kg ±5% P I 総重量 24 kg ±5% 2 × HD Sub-D 26 (m) (motor) I g コネクタ 2 × Sub-D 15 (f) (sensor) g I SMC Hydra (double axis) C-891 (single axis) I i 推奨コントローラ C-885 with C-891.10C885 (up to 20 axes) i d ACS modular controller e de (All cables required for operation with the recommended controller are included in the scope of delivery. エ The cable length is 3 m. Cable for connecting to other controllers can be ordered as accessory. エ ア ア ベ ベ ア ア リ リ ン ン グ グ シ シ リ リ ー ー ズ ズ V-738 の外形図（単位：mm） 026 027

V-610 技術データ 動作 V-610.998061 V-610.998061B Tolerance P IMag® 駆動軸 θZ θZ 小型回転ステージ 回転レンジ 360 ° 360 ° 最大速度 , 無負荷時 500 min -1 500 min -1 位置決め V-610.998061B 内蔵センサー Incremental angle-measuring system Incremental angle-measuring system ■ フラットでコンパクトなデザイン 一方向再現性 4 µrad 4 µrad typ. ■ 透過光での使用に適した開口部 双方向再現性 ± 88 µrad ± 88 µrad typ. 最小移動量 2 µrad 2 µrad typ. ■ オプションのホールドブレーキ センサー信号 Sin/cos, 1 V peak-peak Sin/cos, 1 V peak-peak P ■ 自社開発のアイアンレス PIMag®︎ トルク センサー信号ピッチ / U 1845 1845 センサー分解能 , rotational 9 µrad 9 µrad I P 　 モーターで高駆動トルク 1 / revolution, differential pulse over 1 / revolution, differential pulse over I M リファレンススイッチ one sensor signal period, one sensor signal period, M a 1 V peak-peak 1 V peak-peak a g ドライブ特性 アプリケーション分野 ドライブタイプ Ironless 3-phase torque motor Ironless 3-phase torque motor g ® ® シ 定格電圧 48 V 48 V max. ● 光学検査 定格電流 , RMS 2.05 A 2.05 A typ. シ リ ● 精密部品製造 ピーク電流 , RMS 5:00 AM 5:00 AM typ. リ ー ● バイオテクノロジ 駆動トルク CCW 0.49 N·m 0.49 N·m max. 駆動トルク CW 0.49 N·m 0.49 N·m max. ー ズ ● 半導体検査・計測 ピークトルク CCW 1.25 N·m 1.25 N·m max. ● オートメーション ズ ピークトルク CW 1.25 N·m 1.25 N·m max. トルク定数 0.24 N·m/A 0.24 N·m/A typ. 抵抗値 phase-phase 3 Ω 3 Ω typ. PIMag®トルクモーター インダクタンス phase-phase 0.5 mH 0.5 mH Back EMF phase-phase 25.1 V/kRPM 25.1 V/kRPM max. トルクモーターは、電磁式のダイレクトドライブです。駆動系の機械的な部品を必要とせず、駆動力を直接、摩擦なくモーションプラットフォーム Number of pole pairs 12 12 機械特性 に伝達します。このドライブは高い速度と加速度に達します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、 ベアリングタイプ Crossed roller bearings Crossed roller bearings 特に精度が要求される位置決め作業に適しています。これにより、最低速度でもスムーズな動作が可能となり、同時に、高速度でも振動が 可動部質量 , 無負荷時 380 g 400 g ±5 % 発生しません。制御動作の非線形性が回避され、任意の位置を容易に制御することができます。また、駆動力は自由に設定できます。 慣性力 , 無負荷時 411.84 kg·mm² 418.23 kg·mm² ±20% Y 軸への最大押力 6 N 6 N max. PIMag® Z 軸への最大押力 20 N 20 N max. 全体質量 705 g 965 g ±5 % PI は、位置決めシステムにおいて、高い力密度やコンパクトな設計など、現在市販されている駆動部品では到達できない特定の性能特性を実現 ケーブルなし質量 630 g 870 g 材質 Aluminum, anodized Aluminum, anodized する必要がある場合、独自の磁気モーターを開発します。自社開発のモーターは、PIMag®︎ のブランド名で呼ばれています。 ホールドブレーキ Electromagnetic safety brake その他 コネクタ M15 M15 センサーコネクタ M15 M15 P C-891 (single axis) C-891 (single axis) P I C-885 with C-891.11C885 C-885 with C-891.11C885 推奨コントローラ /ドライバ (up to 20 axes) (up to 20 axes) I g ACS modular controller ACS modular controller g I 動作温度範囲 10 to 50 °C 10 to 50 °C トラベルレンジ：±5 ターン（C-891 コントローラ / コントローラモジュール使用時 I i 定格トルク / 電流とピークトルク / 電流：面上に依存。仕様は 600mm×300mm×12.7mm（L×W×H）のアルミ面に取り付けた場合。 C-891/C-885：モーターとセンサーの接続にはそれぞれ別に接続ケーブルが必要です。 i d de e エ エ ア ア ベ ベ ア ア リ リ ン ン グ グ シ シ リ リ ー ー ズ V-610.998061, 単位 mm. (1) V-610.AP1 オプションアダプタープレート ズ V-610.998061B, 単位 mm. (1) V-610.AP1 オプションアダプタープレート 028 029

X-417 モデル X-417.x22 X-417.1xx X-417.2xx X-417.3xx 駆動軸 2 2 3 3 コントローラ G-901.R519 G-901.R519 G-901.R5197 G-901.R5197 統合型多軸システム グラナイトベース X-417–.x22 1100x900x150 mm 1100x900x150 mm – ケーブル長 5m 最大ワークサイズ（ XY システム） – – 300x300x100 mm 300x300x100 mm ■ 2 台の V-417 ステージで構成された XY システム、 動作温度範囲 5 ～ 40°C 　 移動範囲は 204 ～ 407mm 湿度 Max.80%rel., 結露なし X-417.x22 X-417.x32 X-417.x33 X-417.x42 X-417.x43 X-417.x44 ■ Z 軸に L-412 ステージを使用した XYZ システム、 トラベルレンジ (XY) 204x204 mm 305x204 mm 305x305 mm 407x204 mm 407x305 mm 407x407 mm 　 トラベルレンジ 102mm 1-D 位置決め精度 (X / Y)(1) ±1.5 / ±1.5 µm XY 直行度 30µrad P ■ ACSドライバモジュール付き ACS コントローラ 最大速度 (X / Y)(2) 1.5 / 2.0 m/s I P 　 G-901 に対応 内臓センサー アブソリュートリニアエンコーダ I M センサー信号 EnDat 2.2 ■ オプションでグラナイトベースプレートを用意 デザイン分解能 M a 0.001 µm 最小動作量 a g 10 nm ■ 豊富なテストレポートをお届け リミットスイッチ – g ® ■ 豊富な付属品、ソフトウェアサポートあり X-417.x22 X-417.x32 X-417.x33 X-417.x42 X-417.x43 X-417.x44 ® シ 最大荷重 15kg シ リ 重量 (XY システム )(3)± 5 % 22 kg 24 kg 26 kg 26 kg 28 kg 30 kg 重量 (XYZ システム , ベース＋ブラケット)(3)± 5 % 481 kg 483 kg 484 kg 484 kg 486 kg 488 kg リ ー アプリケーション分野 in X-417.2xx ー ズ トラベルレンジ 102 mm ● ガルバノインテグレーション 位置決め精度 , uncalibrated (max.) ±6 µm ズ 最小動作量 2 µm ● レーザー微細加工 双方向再現性 (max.) ±3 µm ● レーザドリル 速度 , 無負荷時 (max.) 300 mm/s ● 試験・検査 最大荷重 15 kg ● 電子機器の製造 保持ブレーキ 電磁式安全ブレーキ X-417.1xx & .2xx 平坦度 5µm オプションとアクセサリー 重量 430kg(±5%) ● ベースフレーム (1) プラットフォームからの測定高さが約 30mm の場合。1 次元位置決め精度の推奨環境条件：21°C±1°C、相対湿度 50 ～ 60%。 ● グラナイトプレート用ブレッドボードセット (2) 値はアプリケーション固有のパラメータに依存します。 (3) ケーブルマネジメントなし ● アダプターブラケット ● XYZ システム用の追加ケーブルセット。 　 X/Y 軸用ケーブル長 2m、Z 軸用ケーブル長 3m ● ソフトウェアサポート：SPS 統合用など P 統合型多軸システム-IMAS P I I g 多軸システム X-417 は、動特性と精度への要求が高い産業用アプリケーションのための g I 統合ソリューションです。PI 社の高性能コントローラ ACS を搭載した XY システムと XYZ システムがあります。ベースシステムは、リニアモーターと絶対値測定リニアエンコーダ I i を備えた 2 台の V-417 高負荷リニアステージからなる XY システムです。複数の移動量 i de を組み合わせて使用することができます。204mm から407mmまで。XYシステムでは、 グラナイトプレートを使用することも可能です。XYZ システムでは、Z 軸に高荷重リニア de エ ステージ L-412（移動量 102mm、同期サーボモータ、保持ブレーキ付き）を使用します。 エ ア XYZ システムにはグラナイトプレートをベースにしたシステムもあります。これらのシステム X-417.1xx： X-417.0xx： ア ベ では、Z 軸をグラナイトベースに固定するためのアダプターブラケットが付属しています。 XY ステージ＋グラナイトプレート XY ステージ ベ ア ケーブル管理 ア リ すべてのシステムの納品時には、適切なケーブルセットが含まれています。ケーブルセット リ ン には、1 軸あたり5mのドライブケーブルが含まれています。コントローラーをベースフレー ン グ ム（付属品）に取り付ける場合など、より短いケーブルが必要な場合は、2m の短いケーブ グ シ ルセットを付属品としてご用意しています。 シ リ リ ー ー ズ ズ 030 031

C-413 PIMag® ボイスコイルモーターコントローラ ■ 力 x2、位置 x2 センサーの最大 4 センサーチャンネル ■ バージョンによって、構成やコマンド送信のために 　 TCP/IP または USB インターフェイス採用 P ■ バージョンによって、コマンド送信用リアルタイム I P 　 SPI インターフェイス I M ■ オプションのアナログ入出力 M a a g ■ 保持電流の自動ゼロ機能 g ® ■ 高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ ® シ シ リ リ ー ー ズ PIMag®ボイスコイル駆動のための 技術データ ズ デジタルモーションコントローラ モデル C-413.1G C-413.20/.20A,C-413.2G/.2GA C-413.1G: Housed device C-413.20/.20A: OEM board C-413.1: 1 モーターチャンネル、2 センサー C-413.2G/.2GA: Housed device チャンネル。V-275 および V-275 リニア モーターチャンネル 1 2 アクチュエータ対応。C-413.2: 2 モーター センサーチャンネル 2 4 チャンネル、4 センサーチャンネル。力、位置、 サーボ特性 位置および速度の PID コントローラーにより、即座にパラメータを変更 サーボサイクル時間 100µs ～ 200µs、4 ステップから選択可能 速度用 PID コントローラーを搭載しています。 プロファイルジェネレーター 台形速度プロファイル、最大速度および加速度設定 サーボ更新レートは、5 ～ 10kHz の間から エンコーダー入力 SPI センサーインターフェイス 選択可能です。 リファレンススイッチ 2×TTL, 方向検知 4 ×TTL, 方向検知 最大出力電圧 24 V 力制御 最大出力電流 ±1.5 A 通信インターフェイス TCP/IP TUSB 2.0, real time SPI 力を制御することで、定められた保持力や モーター / センサーコネクタ D-sub 9 (f) モータ , D-sub 25 (f) センサー D-sub 15 (f) モータ＆センサー組合せ 2× アナログ入力 ,-10to10V,16bit,1kHz 送り力で PIMag ドライブやステージを運用 (only.20Aand.2GA) することができます。力および位置センサーを 2 × アナログ出力 , -10to10V, 17bit, 1kHz 2× アナログ出力 ,-10to10V,17bit,1kHz 読み取って同時に値を処理することができます。 I/O ポート 4 × アナログ入力 , 24V (only .20Aand.2GA) P 純粋な力制御に加えて、下位の位置や速度の 6 × アナログ出力 , 24V 6× アナログ出力 ( オープンコレクタ , 電圧範囲 5V to24V,33k Ω internal pull-up to 5V) P I 制御も可能です。PI では、力センサーを搭載 4× アナログ入力 (5V TTL level, to24V 最大 I g した PIMag アクチュエータを提供しています。 入力電圧 ,10k Ω 入力インピーダンス ) g I C-413.20A/.2GA モデルを使うと、アナログ コマンドセット PI General Command Set (GCS) 信号を通じて外部の力センサーを読み取ること ユーザーソフトウェア PIMikroMove I i プログラミングインターフェース API for C / C++ / C# / VB.NET / MATLAB / Python, drivers for NI LabVIEW ができます。 i d ポイントーポイント動作. データレコーダ. Wave generator. ポイントーポイント動作. データレコーダ. Wave generator. e サポート機能 オートゼロ .ID チップ検知 . オートゼロ . ID チップ検知 . I2t monitoring. 幅広い機能性 de 動作電圧 24 V DC 外部電源アダプタ ( 同梱 ) 24V DC 外部電源アダプタ ( 同梱：2G and.2GA) エ 最大動作電流 2A データレコーダー : エ ア 動作温度範囲 5 ～ 50°C モーター電流、速度、位置、位置誤差など 重量 0.3kg ア ベ 稼働データを記録します。 210mm×28mm×105mm 189mm×28mm×105mm(.2G/.2GA) 寸法 ベ ア ウェーブジェネレーター : 160mm×18mm×100mm(.20/.20A) ア リ 定期モーションプロファイルを保存して出力 します。自動ゼロ機能は、ウェイトの補償など、 リ ン オープンループでドライブが ON の力を出力 ン グ する保持電流を定義します。 グ シ ID チップサポート: 接続されたステージを識別し、構成および交換 シ リ 可能性を簡素化します。 リ ー 方向感知基準点スイッチサポート。 ー ズ ズ 032 033

C-414.13030 C-891 PIMag® ボイスコイルモーターコントローラ PIMag® リニアモーターコントローラ ■ 出力電流最大 5A、closed loop ■ 出力電流 5A ■ コマンド＆設定用：TCP/IP、USB ■ 20kHz 制御帯域幅 ■ 電流保持するオートゼロ機能 ■ 過負荷に対する保護過電流、過熱 P ■ データレコーダー ■ トリガー用デジタル入出力、停止機能 I P ■ Wave generator ■ コマンド指令用 USB インターフェース I M M a a g g ® ® シ シ リ リ ー ー ズ PIMag®ボイスコイルドライブ　デジタルモーションコントローラ ズ PIMag®︎ Motion Controller for 位置制御と速度設定の PID 制御。サーボアップデートレート 20 kHz Magnetic Direct Drives メカニクスの保護 豊富な機能、ソフトウェア対応 インターフェース 豊富な機能 技術データ C-891.130300 オートゼロ機能は、オープンループ動作時 モータの電流、速度、位置、位置誤差などの TCP/ IP、USB 経由でのコマンド制御。 モータ及びモータドライバーの保護回路 機能 PIMag®motion controller for 3-phase linear motors に、0Nの力を発生させるときの保持電流を 動作データを記録するデータレコーダ。 自動化のためのデジタル入力と出力 アナログ 外部スイッチによるモータ停止機能。 モータチャンネル 1 1 定義することで、荷重補正が可能です。 周期的なモーションプロファイルを出力する 入出力（センサー、コマンド、ポジション データレコーダー、ウエーブジェネレーター、 センサチャンネル 1 1 モニタリング機能により、過電流によるドラ ウェーブジェネレータ NI LabVIEW、C、 フィードバックなど） マクロ対応。 サポート機能 Point-to-point motion. Data recorder. Wave generator. Macros. Automatic commutation angles adjustment for 3-phase linear motors. イブの過熱を防ぐことができます。 C++、MATLAB、Python などの豊富な NI LabVIEW, C, C++, MATLAB, Python 安全機能 Motor stop via external switch. Overload protection of the motor driver. ソフトウェアをサポート。PIMikroMove 向けのサポート。 Overheat protectionof the motor. Overcurrent protection of the system. ユーザーソフトウェア。 PIMikroMove ソフトウエア モーション・サーボコントローラ コントローラタイプ PID controller for position and velocity, parameter changing during operation 技術データ エンコーダ入力 サーボ周波数 20 kHz C-414.13030 プロファイルジェネレータ Trapezoidal velocity profile, setting of maximum velocity and acceleration エンコーダインプット 機能 PIMag®motion controller for voice coil drives, 1 channel, housed device デジタル (A/B) 、アナログ (sin/cos) 信号、 Sin/cos, A/B (TTL, differential), BiSS interface for absolute encoder リファレンス・リミットスイッチ モーターチャンネル 1 BiSS。 TTL P 機械特性 センサーチャンネル 1 P I アブソリュートエンコーダ向けインターフェイス。 最大出力電圧 コントローラタイプ PID controller for position and velocity; parameter changing during operation 8/24 V depending on operating voltage I g リミットスイッチ、リファレンスポイント用 最大平均出力電流 サイン振幅 サーボサイクルタイム 50 µs 5 A 最大出力電流 サイン振幅 プロファイルジェネレータ Trapezoidal velocity profile, specification of the maximum velocity and acceleration TTL 信号。 10 A g I 最大出力電流（RMS) エンコーダーインプット Sin/cos (differential), A/B (TTL, differential) 3.6 A インターフェイス I i ピーク出力電流（RMS） リファレンススイッチ 1 × (TTL, differential) 7.2 A インターフェースとオペレーション i d リミットスイッチ 2 × (TTL) 接続インターフェース 最大出力電圧 24 - 48 V USB,RS232 USB, RS-232 e モータ接続 最大出力電流 ± 5 A (controlled) dオートメーション向けデジタル入力・出力 HD D-sub 26 (f) e エ センサ接続 通信インターフェース TCP/IP, USB 外部センサー信号記録用アナログ入力 D-sub 15 (m) センサーコネクタ D-sub 15 (m) HD D-sub 15 (f): エ ア モータコネクタ HD D-sub 26 (f) 4 x digital input, 4 x digital output (TTL) I/O lines ア ベ I/O lines 1 x analog input, -10 to 10 V, 16 bit, 1 kHz LEMO EPG.00.302.NLN: 1 × analog output, -10 to 10 V, 16 bit, 1 kHz Analog input -10 to 10 V ベ ア コマンドセット 2 × digital input, 24 V PI General Command Set (GCS) ソフトウエア 2 × digital output, 24 V PIMikroMove ア リ コマンドセット アプリケーションプログラミング PI General Command Set (GCS) API for C / C++ / C# / VB.NET / MATLAB / Python, drivers for NI LabVIEW リ ン ソフトウェア インターフェース PIMikroMove ン グ アプリケーションプログラミングインターフェース その他 API for C / C++ / C# / VB.NET / MATLAB / Python, drivers for NI LabVIEW サポート機能 動作電圧 48 / 24V DC (Power adapter not in the scope of delivery. Available as an accessory.) Point-to-point motion. Data recorder. Wave generator. Autozero. I2t monitoring. 動作電圧 最大消費電力 10A (load-dependent) グ シ 24 to 48 V DC 動作温度範囲 5 to 40℃ (A power adapter with 48 V output voltage is included in the scope of delivery. Power adapters with other output voltage must be supplied by the user.) シ リ 最大動作電流 重量 1.0kg 5A 動作温度範囲 寸法 190 mm × 83 mm × 110 mm リ ー 5 to 50 °C (with rubber feet and connection for supply voltage: 206 mm x 83 mm x 112 mm) 質量 ー ズ 0.4 kg 寸法 234 mm × 28 mm × 115 mm (incl. mounting rails) ズ 034 035

Electrical properties G-901 G-901.R319[x] G-901.R4197, G-901.R4199 G-901.R519[x] Axes 0,1 : 96 V 中間回路電圧 All axes : 48 V Axes 2,3 : 48 V All axes : 96 V 高出力用モーションコントローラ (Axis 3 only with G-901.R4199) 96V:2000W/2100W 中間回路出力、連続 / ピーク 1000W/1050 W(max. 5s) 2000 W/2100 W(max. 5s) 48V:480W/580W(max.10s) 1 軸あたりの出力パワー（実効値）、 Axes 0,1：500W/1500W(96V 時 ) 連続／ピーク（最大 1 秒）※ 1 250W/74 0W Axes 2,3：250W/580W(48V 時 ) 500 W/1500 W (Axis 3 only with G-901.R4199) ■ ACSドライバと STO（セーフ・トルク・オフ）モジュール モータ各相の電流制限（正弦波の振幅）、 6.6A/20 A 6.6 A/20 A 連続／ピーク（最大 1 秒） 6.6 A/20 A 　 を内蔵した ACS モーションコントローラ Interfaces and operation P G-901.Rx19[x] ■ PI 社製ポジショナーとの直接の互換性 2 × HD D-sub 26 (f), maximum 3 A continuous current per pin I P ■ AC サーボモータ、ブラシレス DC モータ、ブラシ付き 2 × D-sub 9W4 (f), maximum 20 A per motor phase I M ドライバモジュール 1 台あたりのモータコネクタ、 　 DC モータ、ボイスコイルモータ、ステッピングモータ用 Alternative use is possible, depending on maximum phase current. 中間回路電圧 48V** M a The lines for limit and reference switches are available on all コネクタ ■ 1 軸あたりの出力パワーは最大 1500W a g The lines for motor brakes are available on the HD D-sub 26 (f) コネクタ 2 × M15 9-pin (f) g ® ■ 軌道計画のための多くのオプション ® シ The lines for limit switches are available for: ドライバモジュール 1 台あたりのモータコネクタ、 ■ ACS の EtherCAT ネットワークで最大 8 軸までの 2 × HD D-sub 26 (f) シ リ 中間回路電圧 96V** 　 アップグレードが可能 2 × M12 5-pin (f) リ ー 2 × D-sub 15 (m) The lines for reference switches are available on the HD D-sub 26 (f) コネクタ ー ズ The lines for motor brakes are available on the M15 9-pin (f) and HD D-sub 26 (f) コネクタ ズ 2 × D-sub 15 (m) 2 × HD D-sub 26 (f) Alternative use depending on encoder type. ドライバーモジュールセンサーコネクター ** Default factory configuration at delivery: Digital incremental encoder (RS-422) or absolute encoder on HD D-sub 26 (f) Incremental encoder 1 Vss on D-sub 15 (m) Possible modified factory configuration at delivery: Digital incremental encoder (RS-422) or absolute encoder on D-sub 15 (m) HD D-sub 15 (f): 2 × outputs PNP 24 V source; also control the drivers for the motor brakes Default for inputs: リアパネル：G-901.R4199 ドライバモジュールごと Digital I/O lines 2 × PNP 24 V source on HD D-sub 15 (f); in addition 2 × NPN 5 V sinking for reference switches on the motor コネクタ 技術データ Optional configuration for inputs: 4 × PNP 24 V source on HD D-sub 15 (f) G-901.Rx19 / G-901.Rx197 / G-901.Rx199 HD D-sub 15 (m): ACS SPiiPlusEC controller wit up to two ACS UDMcb driver modules including ACS components for STO 機能 ドライバーモジュールごとアナログ I/O ライン 2 differential analog inputs: ±10 V, 12-bit x codes the 中間回路電圧 (48 V / 96 V), for details see " 電気特性 " 2 differential analog outputs: ±10 V, 10-bit バージョン 19 インチラックマウント、PI 社製ポジショナー用コネクタ付き Parallel on HD D-sub 15 (m) and HD D-sub 15 (f): モータータイプ 2 and 3-phase AC サーボモーター／ブラシレス DC モーター／ブラシ付き DC モーター／ボイスコイルモーター／ステッピングモーター ドライバモジュールごとの位置イベントトリガ（PEG）出力 2 differential outputs (RS-422) for pulses at programmable positions, pulse width 26 ns to 1.75 ms, max. 10 MHz; P 駆動軸数 2/3/4 only possible with incremental encoder ドライバモジュールを追加することで、EtherCAT 経由で最大 8 軸の同期が可能です。 P I D-sub 9 (f) Motion and control G-901.Rx19 / G-901.Rx197 / G-901.Rx199 STO 安全機能の入力 2 differential inputs (STO1, STO2): 24 V, < 50 mA per pin I g コントロールタイプ 速度と加速度のフィードフォワード制御によるカスケード PIV コントローラ構造 If at least one signal assumes the "low" state, all drives are deactivated at the same time within 50 to 200 ms. g サンプリングレート current control 20 kHz I EtherCAT network Up to 8 axes in an ACS EtherCAT network, also using EtherCAT third-party components. コントロールアルゴリズム 多入力多出力（MIMO）ガントリー制御、デュアルループ制御 コントロールレートと EtherCAT クロックレート 2 kHz I i 多軸のポイントツーポイント、ジョグ、トラッキング、シーケンシャルマルチポイントモーション EtherCAT IN and OUT: RJ-45 i ルックアヘッドによる多軸セグメンテーション・モーション 通信インターフェース Ethernet (TCP/IP, Modbus/TCP, EtherNet/IP): RJ-45 d de PVT 三次補間による任意のパス RS-232: D-sub 9 (m) モーションプロファイル / 軌道計画 Third order profiles (S-Curve) ユーザーソフトウェア ACS SPiiPlus MMI Application Studio e エ Smooth on-the-fly change of target position or velocity アプリケーションプログラミング Programming libraries for C/C++, COM, .NET, MATLAB available Inverse/forward kinematics and coordinate transformations (at application level) エ ア プログラミング ACSPL+ real-time scripting language: Up to 10 simultaneously running programs (buffer) Master-slave with position and velocity locking (electronic gear/cam) Miscellaneous G-901.R319[x] G-901.R4197, G-901.R4199 G-901.R519[x] ア ベ 1 × per integrated axis, supported types: 動作電圧 *** 2×mains コネクタ 100-250V AC, 50-60Hz エンコーダー Incremental: 1Vss, RS-422 ベ ア IEC: Absolute: EnDat 2.2 & 2.1, Smart-Abs, Panasonic, BiSS-A/B/C (SSI) 12-16A@250V AC;50Hz ア リ 2 × per integrated axis 主電源コネクタに必要な保護機能 *** UL /CSA: リミットスイッチ Default: 5 V sinking (NPN) 12-20 A @ 125/250 V AC; 60 Hz リ ン Optional configuration: 24 V; sourcing (PNP) 動作温度範囲 5℃ to 40 ℃ ( 温度保護機能は、過度な高温時にスイッチ OFF) ン グ リファレンススイッチ Default: 1 × per integrated axis, 5 V sinking (NPN) 質量 13 kg 17 kg 15.5 kg Optional configuration: 24 V; sourcing (PNP); use as digital multipurpose inputs on digital I/O コネクタ (HD D-sub 15 (f)) 寸法 482.6×553.4×184.2mm( ハンドル含 ) 482.6×553.4×184.2mm( ハンドル含 ) 482.6×553.4×184.2mm( ハンドル含 ) グ シ モーターブレーキ 1 × per integrated axis Integrated PWM brake driver with current reduction for a reduced heating up of the brake * すべての軸で同時にピークパワーを発揮することはできません。 シ リ ** 1 つの駆動軸用のドライバモジュールには、2 つ目の軸用のモータとセンサのコネクタがありますが、これらは割り当てられていません。 STO *** 電源は 2 つの異なる電流回路を介して供給する必要があります。両方の主電源コネクタを接続し、スイッチを入れる必要があります。 リ ー For safety applications including SIL-3 safety integrity level according to: ー ズ EN/IEC 61800-5-2 Ed. 2 (Second Environment) 安全機能 EN/IEC 61800-5-1 ズ IEC 61508 IEC 62061 PLe performance level and category 3 according to: EN ISO 13849-1/-2 036 037

コピ L-505 コピ ンエ ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ トュ エ ー DC/ ステッピングモータ・小型リニアステージ ンチ トュ エ ー タ・ タ・ 高ピ ■ トラベルレンジ： 13 または 26mm 高ピ 速エ 速エ スゾ スゾ キフ ■ ギヤヘッドなしのステッピングモータあるいは キフ ャレ ャレ ニク 　 DC サーボモータ選択可能 ニク ンシ ンシ グャ グャ シス ■ 速度：15mm/s シス ステ ステ テー ■ 最大荷重：30N テー ムジ ムジ ／ ■ リファレンスポイント・リミットスイッチ内蔵 ／ 高 高 速 速 ス ス テ テ ア ア リ リ ン ン グ グ ミ ミ ラ ラ ー ー DC ステッピングモータ付き モピ コンパクトリニアステージ L-505 Stepper motor type モピ ーエ ーエ タゾ タゾ ーコ ーコ コン コン ント ント トロ ドライブスクリューとボールガイドを備えた トロ ロー ロー ーラ コンパクトなリニアステージ。直接取付け可能 ーラ ラ／ な XY コンビネーション。 ラ／ リニアステージには 2 つのデザインバリエー シＰ シＰ リｉ ションがあります。 リｉ ーｅ ーｅ ズｚ フランジモーターを備えた細長いタイプ。ベルト ｏ ズｚｏ Ｗ Ｗ ａ ドライブ（折り畳み式ドライブトレイン）を備えた ａ ｌ ｌ ｋ 幅広くコンパクトなタイプ。 ｋ ® これらのタイプは、アイテム番号の末尾に「F」 ® でマークされています。 ピ ピ エ エ ゾ ゾ モ モ ー ー タ タ 電 電 動 動 モ モ ー ー タ L-505 DC motor type タ 静 静 電 電 容 容 量 量 セ セ ン ン サ サ ー ー パヘ パヘ ラキ ラキ レサ レサ ルポ ルポ 制ッ 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 軸 シ シ ス ス テ テ ム ム ・ ・ モA モA ー ー シC XYZ 構成例 L-505.AP1 アダプタブラケット シC ョS ョS ン ン コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー L-505 Fold type ー ル ル 134 135

コピ コ ンエ L-505 ピ ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ トュ エ ー DC/ ステッピングモータ・小型リニアステージ ンチ トュ エ ー タ・ タ・ 高ピ 速エ 技術データ 高ピ 速エ スゾ モデル L-505.011200 (F) L-505.021200 (F) L-505.011212 (F) スゾ キフ L-505.021212 (F) L-505.01A200F L-505.02A200F L-505.01A212F L-505.02A212F L-505.013212 (F) L-505.023212 (F) L-505.014212F L-505.024212F 公差 キフ ャレ リトラベルレンジ 13 mm 26 mm 13 mm 26 mm 13 mm 26 mm 13 mm 26 mm 113 mm 26 mm 13 mm 26 mm ャレ ニク "10 mm/s "10 mm/s "10 mm/s ニク ンシ 最高速度 , 無負荷時 10 mm/s 0.75 mm/s 0.75 mm/s 0.75 mm/s 0.75 mm/s "15 mm/s "15 mm/s 1 mm/s 1 mm/s typ. ンシ グャ ± 1 µm ± 0.5 µm ± 1 µm ± 0.5 µm ± 1 µm 7.5 mm/s (F)" グャ シス 7.5 mm/s (F)" 7.5 mm/s (F)" 7.5 mm/s (F)" 7.5 mm/s (F)" ± 0.5 µm ± 1 µm シス ステ 真直度 / 平坦度 ± 0.5 µm ± 1 µm ± 0.5 µm ± 75 µrad ± 50 µrad ± 75 µrad ± 50 µrad ± 75 µrad ± 0.5 µm ステ テー ± 1 µm ± 50 µrad ± 75 µrad typ. テー ムジ Pitch/Yaw ± 50 µrad ± 75 µrad ± 50 µrad 0.1 µm 0.3 µm 0.3 µm 0.1 µm 0.1 µm ± 50 µrad ± 75 µrad 0.25 µm 0.25 µm typ. ムジ ／ ／ 一方向再現性 0.3 µm 0.3 µm 0.1 µm ± 0.15 µm ± 2.5 µm ± 2.5 µm ± 0.15 µm ± 0.15 µm 0.1 µm 0.1 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm typ. 高 双方向再現性 ± 2.5 µm ± 2.5 µm ± 0.15 µm "0.05 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.05 µm 0.05 µm ± 0.15 µm ± 0.15 µm 0.5 µm 0.5 µm typ. 高 速 速 ス 最小動作量 0.1 µm "0.1 µm 0.05 µm 0.1 µm (F)" 0.1 µm 0.1 µm ス テ 0.2 µm (F)" ホール効果、4 µm テ ア ホール効果、4 µm ホール効果、4 µm ホール効果、4 µm ア リ リファレンススイッチ、再現性 ホール効果、4 µm ホール効果、4 µm ホール効果 リ ン ホール効果 ホール効果 ホール効果 ホール効果、4 µm ホール効果、4 µm ホール効果、4 µm ホール効果、4 µm ホール効果、4 µm ホール効果、4 µm max. ン グ リミットスイッチ ホール効果 ホール効果 ホール効果 ホール効果 ホール効果 ホール効果 ホール効果 ホール効果 グ ミ ミ ラ 内臓センサー インクリメンタルリニア インクリメンタルリニア インクリメンタルリニア インクリメンタルリニア インクリメンタルリニア インクリメンタルリニア インクリメンタルリニア インクリメンタルリニア ラ ー ー センサ信号 A/B 相 , RS-422 A/B 相 , RS-422 A/B 相 , RS-422 A/B 相 , RS-422 A/B 相 , RS-422 A/B 相 , RS-422 A/B 相 , RS-422 A/B 相 , RS-422 センサー分解能 5 nm 5 nm 5 nm 5 nm 50 nm 50 nm 50 nm 50 nm モピ モピ ーエ ドライブ特性 ーエ タゾ ーコ ドライブタイプ 2 相ステッピング 2 相ステッピング 2 相ステッピング 2 相ステッピング 2 相ステッピングギアヘッド 2 相ステッピングギアヘッド 2 相ステッピングギアヘッド 2 相ステッピングギアヘッド DC DC DC ギア DC ギア タゾ ーコ コン ント 最大消費電力 4 W 4 W 5 W 5 W 1 W 1 W 2 W 2 W 7 W 7 W 3 W 3 W コン ント トロ ロー モーター分解能 200 Full steps/rev. 200 Full steps/rev. 200 Full steps/rev. 200 Full steps/rev. 24 Full steps/rev. 24 Full steps/rev. 24 Full steps/rev. 24 Full steps/rev. トロ ロー ーラ 定格電圧 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 12 V 12 V 12 V 12 V ーラ ラ／ ラ／ 定格電流 , RMS 0.6 A 0.6 A 0.6 A 0.6 A 0.25 A 0.25 A 0.25 A 0.25 A "0.46 A "0.46 A 0.14 A 0.14 A typ. 20 N 20 N 20 N 65 N 65 N 65 N 65 N 0.45 A (F)" 0.45 A (F)" シＰ 駆動力：両方向 20 N 20 N 20 N 20 N 20 N typ. シＰ リｉ 機械特性 リｉ ーｅ ーｅ ズｚ ガイド ボールガイド ボールガイド ボールガイド ボールガイド ボールガイド ボールガイド ボールガイド ボールガイド ボールガイド ズｚｏ ボールガイド ボールガイド ボールガイド ｏ Ｗ ドライブスクリュー 精密スピンドル 精密スピンドル 精密スピンドル Ｗ ａ 精密スピンドル 精密スピンドル 精密スピンドル 精密スピンドル 精密スピンドル 精密スピンドル 精密スピンドル 精密スピンドル 精密スピンドル ａ ｌ ドライブスクリューピッチ 0.5 mm 0.5 mm 0.5 mm 0.5 mm 0.5 mm 0.5 mm 0.5 mm 0.5 mm 0.5 mm ｌ ｋ 0.5 mm 0.5 mm 0.5 mm ｋ ® 保持力 in X, passive 20 N 20 N 20 N 20 N 20 N 20 N 20 N 20 N ® 許容押力 Y&Z 30 N 30 N 30 N 30 N 30 N 30 N 30 N 30 N 30 N 30 N 30 N 30 N max. 許容トルク in θx 7 N·m 9 N·m 7 N·m 9 N·m 7 N·m 9 N·m 7 N·m 9 N·m 7 N·m 9 N·m 7 N·m 9 N·m max. ピ 許容トルク θY&θZ 6 N·m 8 N·m 6 N·m ピ エ 8 N·m 6 N·m 8 N·m 6 N·m 8 N·m 6 N·m 8 N·m 6 N·m 8 N·m max. エ ゾ 全重量 ゾ モ 400 g 400 g 400 g 400 g 400 g 400 g 400 g 400 g 400 g 400 g 400 g 400 g モ ー 材質 "Anodized アルミ, "Anodized アルミ, "Anodized アルミ, "Anodized アルミ, "Anodized アルミ, "Anodized アルミ, "Anodized アルミ, "Anodized アルミ, "Anodized アルミ, "Anodized アルミ, "Anodized アルミ, "Anodized アルミ, ー タ タ ステンレス " ステンレス " ステンレス " ステンレス " ステンレス " ステンレス " ステンレス " ステンレス " ステンレス " ステンレス " ステンレス " ステンレス " ギア比 28,444 28,444 28,444 28,444 28,444 28,444 その他 コネクタ HD Dsub26pin (m) HD Dsub26pin (m) HD Dsub26pin (m) HD Dsub26pin (m) HD Dsub26pin (m) HD Dsub26pin (m) HD Dsub26pin (m) HD Dsub26pin (m) HD Dsub26pin (m) HD Dsub26pin (m) HD Dsub26pin (m) HD Dsub26pin (m) 電 推奨コントローラ C-663.12 C-663.12 C-663.12 C-663.12 C-663.12 C-663.12 C-663.12 C-663.12 C-863, C-884 C-863, C-884 C-863, C-884 C-863, C-884 電 動 G-901, G-910 G-901, G-910 G-901, G-910 G-901, G-910 G-901, G-910 G-901, G-910 G-901, G-910 G-901, G-910 G-901, G-910 G-901, G-910 G-901, G-910 G-901, G-910 動 モ モ ー ACS コントローラ ACS コントローラ ACS コントローラ ACS コントローラ ACS コントローラ ACS コントローラ ACS コントローラ ACS コントローラ ACS コントローラ ACS コントローラ ACS コントローラ ACS コントローラ ー タ タ ケーブル長 0.5 m 0.5 m 0.5 m 0.5 m 0.5 m 0.5 m 0.5 m 0.5 m 0.5 m 0.5 m 0.5 m 0.5 m 動作温度範囲 5 ～ 40 °C 5 ～ 40 °C 5 ～ 40 °C 5 ～ 40 °C 5 ～ 40 °C 5 ～ 40 °C 5 ～ 40 °C 5 ～ 40 °C 5 ～ 40 °C 5 ～ 40 °C 5 ～ 40 °C 5 ～ 40 °C 静 静 電 電 容 容 量 量 セ セ ン ン サ サ ー ー パヘ パヘ ラキ ラキ レサ レサ ルポ ルポ 制ッ 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 軸 シ シ ス ス テ テ ム ム ・ ・ モA モA ー ー シC シC ョS ョS ン ン コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ル ル 136 137

コピ コピ ンエ VT-80/L-406/L-509/M-404/L-511 ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ ンチ トュ 高精度リニアステージ：１軸ステージ トュ エ エ ー ー タ・ タ・ 高ピ ■ クロスローラーガイドによる高トラベル精度 高ピ 速エ 速エ スゾ 　 と負荷容量 スゾ キフ キフ ャレ ャレ ニク ■ 最高 0.1µm の再現性 ニク ンシ ンシ グャ グャ シス ■ 用途に応じてActiveDriveDCサーボモータ、 シス ステ ステ テー 　 ステッピングモータ、DC ギアモータタイプを提供 テー ムジ ムジ ／ ■ 歪みのないアルミニウムベースで最高度の ／ 　 安定性を実現可能 高 VT-80 シリーズ 高 速 速 ス ス テ アプリケーション例 テ ア ア リ リ ン ● 産業および研究分野での精密な位置決め ン グ グ ミ ミ ラ ラ ー オーダー情報 ー VT-80 シリーズ モピ モピ ーエ L-406 シリーズ ・623091x0：DC モータ・ロータリーエンコーダ内蔵タイプ ーエ タゾ タゾ ーコ ・623092x0：ステッピングモータ内蔵タイプ ーコ コン コン ント ント トロ L-406 シリーズ トロ ロー ・L-406.10DD10L/406.20DD10L/406.40DD10： ロー ーラ ーラ ラ／ 　DC モータ・ロータリーエンコーダ内蔵タイプ ラ／ ・L-406.10DG10/L-406.20DG10/L-406.40DG10： 　DC ギアモータ・ロータリーエンコーダ内蔵タイプ シＰ シＰ リｉ ・L-406.10SD00/L-406.20SD00/L-406.40SD00： リｉ ーｅ ーｅ ズｚ 　ステッピングモータ内蔵タイプ ズｚｏ ｏ Ｗ Ｗ ａ L-509 シリーズ ａ ｌ ｌ ｋ ・L-509.x4AD00： ｋ ® 　ActiveDrive DC モータ・リニアエンコーダ内蔵タイプ (direct position measurement) ® ・L-509.x0AD10： ピ 　ActiveDrive DC モータ・ロータリーエンコーダ内蔵タイプ ピ エ エ ゾ ・L-509.x0DG10： ゾ モ 　DC ギアモータ・ロータリーエンコーダ内蔵タイプ モ ー ー タ ・L-509.xASD00： タ 　ステッピングモータ・リニアエンコーダ内蔵タイプ (direct position measurement) ・L-509.x0SD00： 　ステッピングモータ内蔵タイプ L-509/ L-511 のコンビネーション 電 M-404 シリーズ 電 動 動 モ ・M-404.1PD/M-404.2PD/M-404.4PD/M-404.6PD/M-404.8PD with ActiveDrive モ ー ー タ ・M-404.1DG/M-404.2DG/M-404.4DG/M-404.6DG/M-404.8DG with DC gear motor タ L-511 シリーズ ・L-511.x4AD00： 　ActiveDrive DC モータ・リニアエンコーダ内蔵タイプ (direct position measurement) ・L-511.x0AD10： 静 　ActiveDrive DC モータ・リニアエンコーダ内蔵タイプ 静 電 電 容 ・L-511.x0DG10： 容 量 量 セ 　DC ギアモータ・ロータリーエンコーダ内蔵タイプ セ ン ン サ ・L-511.xASD00： サ ー M-404 シリーズ 　ステッピングモータ・リニアエンコーダ内蔵タイプ (direct position measurement) ー ・L-511.x0SD00： 　ステッピングモータ内蔵タイプ パヘ パヘ ラキ ラキ レサ 技術データ レサ ルポ ルポ 制ッ モデル VT-80 L-406 L-509 M-404 L-511 制ッ 御ド 御ド ６ 駆動源 DC/Stepping モータ ６ 軸 移動方向 軸 シ X 軸 シ ス 移動量 (mm) ス テ 25/50/75/100/150/200/300 26/52/102 26/52/102 25/50/100/150/200 52/102/155 テ ム ステージ幅 (mm) 80 65 85 80 110 ム ・ ・ ステージ高さ (mm) 25 ～ 40 30 35 40 42.7 モA 耐荷重 (N) 50 100 100 200 500 モA ー ー シC 1mm リードスクリュー 1mm リードスクリュー 1mm ボールスクリュー 1mm ボールスクリュー 2mm ボールスクリュー シC ョS スピンドル ガイド ョS ン ボールベアリング ボールベアリング クロスローラー クロスローラー ボールベアリング ン コ コ ン 最小移動距離（µm） 0.2, 0.5 0.2, 0.5 0.1, 0.01 0.1~0.25 0.1, 0.02 ン ト １方向再現性（µm） ト ロ 0.4 ～ 0.8 0.5 0.1 ～ 0.3 0.5 ～ 1.0 0.1 ～ 0.2 ロ ー 速度 (mm/sec) 20 ー ル 20 3 ～ 20 1.5 ～ 50 6 ～ 90 ル 重量 (kg) 0.55 ～ 1.25 0.8 ～ 1.0 1.4 ～ 1.9 1.8 ～ 2.6 2.5 ～ 3.3 138 139

コピ L-306 モデル L-306.011100 L-306.011112 L-306.013112 単位 公差 コピ ンエ ンエ ポゾ ポゾ ーア トラベルレンジ 13 13 13 mm ーア ネク 内臓センサー ネク ンチ – インクリメンタルリニア , A/B インクリメンタルリニア , A/B ンチ トュ 小型高精度 Z ステージ センサー分解能 – 5 50 Nm トュ エ エ ー 設計分解能 2.5 0.005 0.05 µm ー タ・ 最小動作量 2.5 0.1 0.1 µm Typ. タ・ 一方向再現性 0.5 0.1 0.1 µm Typ. 高ピ ■ コンパクト :63x63x80mm 双方向再現性 ±2 ±0.5 ±0.5 µm Typ. 高ピ 速エ 速エ スゾ Pitch ±175 ±175 ±175 µrad Typ. スゾ キフ ■ ステッピングモータと DC モータ フ ャレ Yaw ±150 ±150 ±150 µrad Typ. キ ャレ ニク ンシ ■ オプション : リニアエンコーダ 真直度 / 平坦度 ±3 ±3 ±3 µm Typ. ニク ンシ グャ 速度 5 5 5 mm/s Max. グャ シス シス ステ ■ クロスローラーガイド リファレンス＆リミットスイッチ フォーク型光電センサ フォーク型光電センサ フォーク型光電センサ ステ テー ムジ ■ 非接触リファレンス＆リミットスイッチ ガイド クロスローラ クロスローラ クロスローラ テー ムジ ／ ドライブスクリュー , ピッチ Ball screw, 0.5 Ball screw, 0.5 Ball screw, 0.5 mm ／ 高 Push/pull force 20 20 20 N Max. 高 速 保持力 , power off 20 20 20 N Typ. 速 ス テ 許容横力 10 10 10 ス N Max. テ ア リ 耐荷重 20 20 20 N Max. ア リ ン グ 許容トルク in θX, θY ン グ ミ コンパクト Z 軸ステージ 1 1 1 N·m Max. 許容トルク in θZ 2 2 2 N·m Max. ミ ラ ー モータタイプ 2 相ステッピング 2 相ステッピング DC ラ L-306 は、ベルト駆動式のコンパクトな Z 軸 ー 動作温度範囲 5 ～ 40 5 ～ 40 5 ～ 40 °C モピ ステージで、XY ステージと組むことが容易です。 材質 Anodized アルミ, スチール Anodized アルミ, スチール Anodized アルミ, スチール モピ ーエ タゾ 重量 0.6 0.6 0.6 kg ±5 % ーエ タゾ ーコ 動作部重量 0.18 0.18 0.18 kg ±5 % ーコ コン ント コネクタ HD Dsub26 (m) ( モータ ) HD Dsub26 (m) ( モータ & エンコーダ ) HD Dsub26 (m) ( モータ & エンコーダ ) コン ント トロ トロ ロー 0.5 0.5 0.5 ロー ーラ ケーブル長 C-663.12 C-663.12 C-863、C-884 m ーラ ラ／ ラ／ 推奨コントローラ C-885とモジュール C-885とモジュール C-885とモジュール ACS コントローラ ACS コントローラ ACS コントローラ シＰ シＰ リｉ リｉ ーｅ ーｅ ズｚｏ ズｚｏ Ｗ Ｗ ａ ａ ｌ ｌ ｋ ｋ ® ® ピ ピ エ エ ゾ ゾ モ モ ー ー タ タ 別途：耐荷重とトラベルレンジの大きいタイプ 電 L-310：高精度 Z 軸ステージ（詳細は WEB へ） 電 動 動 モ トラベル : 26mm、速度 : 50mm/s、耐荷重 : 100N モ ー ー タ タ 静 静 電 電 容 容 量 量 セ セ ン ン サ サ ー ー パヘ パヘ ラキ ラキ レサ レサ ルポ ルポ 制ッ 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 軸 シ シ ス ス テ テ ム ム ・ ・ モA モA ー ー シC シC ョS ョS ン ン コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ル ル 140 141

コピ コピ ンエ WT-90 ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ ンチ トュ ゴニオメーターモーターステージ トュ エ エ ー ー タ・ タ・ 高ピ ■ 回転レンジ：90° 高ピ 速エ 速エ スゾ スゾ キフ ■ 再現性 : ～ 2.7µrad キフ ャレ ャレ ニク ニク ンシ ■ 耐荷重：8Kg ンシ グャ グャ シス シス ステ ■ メカニカルリミットスイッチ内蔵 ステ テー テー ムジ ■ WT-120 と併用でも回転中心は一つ ムジ ／ ／ ■ オプション：角度センサー内蔵 高 高 速 速 ス ス テ テ ア ア リ リ ン ン グ グ ミ WT-90 ゴニオメーターモーターステージは、 ミ ラ ラ ー ー WT-120 と同時に使用するために組合せられ モピ ます。お互いを直交させてマウントしても共通 モピ ーエ ーエ タゾ の回転中心を持っています。 タゾ ーコ ーコ コン コン ント WT-90 は、グラウンドベアリングガイドが装備 ント トロ トロ ロー されています。グラウンド硬化ウォームス ロー ーラ ーラ ラ／ リューとウォームギアの組合せにより、非常に ラ／ 静かなで滑らかな動作が可能です。DC ある シＰ いは2 相ステッパーモーターでダイレクト駆動 シＰ リｉ リｉ ーｅ させるステージは、比較的速いスピードを ーｅ ズｚ 得られます。WT-90 ステージは、光学式角度 ズｚｏ ｏ Ｗ Ｗ ａ ａ ｌ スケールシステムと、2 つのリミットスイッチが ｌ ｋ 装備されています。 ｋ ® ® ピ ピ エ エ ゾ ゾ モ モ ー ー タ 65509200：ステッピングモータ WT-90 タ 技術データ モデル 65509100 65509200 65509201 単位 公差 電 駆動軸 θX θX θX 電 動 角度レンジ 90 90 90 ° 動 モ モ ー 内臓センサー ロータリーエンコーダ – インクリメンタル角度エンコーダ ー タ センサー信号 ロータリーエンコーダ A/B 相 , RS-422 – – タ センサー信号 角度エンコーダ – A/B 相 , RS-422 センサー分解能 ロータリーエンコーダ 20000 – – センサー信号ピッチ 角度エンコーダ – – 269.3 µrad 設計分解能 1.047 105 2.69 µrad 静 最小動作量 52.4 4.8 2.7 µrad typ. 静 電 一方向再現性 87 9.6 17.5 µrad typ. 電 容 容 量 双方向再現性 ±350 ±175 ±17.5 µrad typ. 量 セ セ ン ±125 ±125 ±125 µrad typ. ン サ Wobble サ ー 速度 15 10 10 °/s max. ー 回転中心から駆動面までの距離 57.5 57.5 57.5 mm リミットスイッチ メカニカル メカニカル メカニカル パヘ ガイド Ball bearing Ball bearing Ball bearing パヘ ラキ ラキ レサ ドライブスクリュー ウォームギア ウォームギア ウォームギア レサ ルポ ウォームギア比 ルポ 制ッ 300:01:00 300:01:00 300:01:00 制ッ 御ド トルク , power on 2.5 2.5 2.5 N·m max. 御ド ６ ６ 軸 軸 シ 保持トルク , power off 2.5 2.5 2.5 N·m max. シ ス 耐荷重 80 80 80 N max. ス テ テ ム 許容横力 50 50 50 N max. ム ・ 許容トルク in θY, θZ 12 12 12 N·m max. ・ モA モータ DC 2 相ステッピング 2 相ステッピング モA ー シC ステップ分解能 ー シC ョS – 200 200 Full steps/rev. 動作温度範囲 ョS ン 5 ～ 40 5 ～ 40 5 ～ 40 °C ン コ 材質 アルミ、ステンレス、銅 アルミ、ステンレス、銅 アルミ、ステンレス、銅 コ ン ン ト 重量 2.8 2.8 2.9 kg ±5% ト ロ ロ ー コネクタ D-sub 15 (m) HD D-sub 15 (m) HD D-sub 15 (m) (motor) ー ル ル D-sub 9 (m) (sensor) 推奨コントローラ C-863, C-884 C-663.12 C-663.12 C-885とモジュール C-885とモジュール C-885とモジュール 142 ACS コントローラ ACS コントローラ ACS コントローラ 143