【シリコンフォトニクス、光学アライメントにお薦め】精密駆動ステージ F-712

コピ ンエ F-712 ポゾ ーア ネク ンチ トュ 高精度ファイバーアライメントシステム エ ー タ ・ 高ピ 速エ スゾ キフ ■ 光ファイバーアライメント用のスキャン ャレ ニク ルーチンを搭載 ンシ グャ シス ■ シリコンフォトニクスアプリケーション ステ テー に最適 ムジ ／ ■ 幅広いソフトウェアパッケージ 高 速 ■ 光信号を直接検出 ス テ ア ■ 優れた精度と動作信頼性を実現する リ ン ポジションセンサー グ ミ ラ ■ 複数のファイバーを1秒未満で ー 　自動アライメント シＰ リｉ ーｅ ズｚ アプリケーション例 ｏ Ｗ F-712.HA1型　ファイバーアライメントシステム ａ ● 光コンポーネントのアライメント ｌ ｋ ● 自動ウエハーテスト ● シリコンフォトニクスにおけるアセンブリ ピ エ ゾ モ ー タ 電 動 モ ー タ 静 電 容 量 セ ン サ ー パヘ ラキ レサ ルポ F-712.HU1型　マルチチャンネルフォトニクスアライメントシステム 制ッ 御ド ６ 軸 シ ス テ ム ・ モピ ーエ タゾ ーコ コン ント トロ ロー ーラ ラー ー／ ア ク セ サ リ ー F-712.MA1型　高精密ファイバーアライメントシステム 142

コピ ンエ ポゾ ーア ネク ンチ トュ エ ー タ ・ 技術データ 高ピ F-712.HA1 / F-712.HA2 F-712.HU1 F-712.MA1 / F-712.MA2 単位 速エ スゾ 動作および位置決め キフ ャレ 粗位置決め ニク ンシ 駆動軸 X、Y、Z、θX、θY、θZ X、Y、Z、θX、θY、θZ X、Y、Z グャ シス X、Y、Z方向トラベルレンジ ±6.5, ±16, ±8.5* ±17, ±16, ±6.5* 25, 25, 25 mm ステ テー θX、θY、θZ方向トラベルレンジ ±14.5, ±10, ±10* ±10, ±10, ±21* ‒ ° ムジ ／ 最小インクリメンタルモーションX、Y 0.1 0.1 3 μm 最小インクリメンタルモーションZ 0.1 0.05 3 μm 高 速 最大速度 10 20 20 mm/s ス テ センサータイプ ロータリーエンコーダ インクリメンタルロータリーエン ア コーダ ロータリーエンコーダ リ ガイド ‒ ‒ クロスローラーガイド ン グ 駆動タイプ ブラシレスDCモータ ブラシレスDCモータ DCモータ ミ ラ 微細位置決め ー 駆動軸 X、Y、Z X, Y, Z X, Y, Z X、Y、Z方向クローズドループトラベル 100 100 100 μm シＰ リｉ 最小インクリメンタルモーション、オープンループ 0.3 0.3 0.3 nm ーｅ ズｚ 最小インクリメンタルモーション、クローズドループ 2.5 2.5 2.5 nm ｏ Ｗ 全トラベルレンジに対する直線性誤差** 2 2 2 % ａ 再現性（双方向）10%トラベルレンジ 2 2 2 nm ｌ ｋ センサータイプ インクリメンタル インクリメンタル インクリメンタル 駆動タイプ PICMA® PICMA® PICMA® アライメント ピ 100μm x 100μm面スキャン時のアライメント時間 エ （ピーク強度最大偏差 0.02dB）*** <0.5 / <1 <0.5 <0.5 / <1 秒 ゾ モ 傾斜探索時のアライメント時間、±5μmでランダム化 ー （再現性 < 0.01dB）*** <0.5 / <1 <0.5 <0.5 / <1 秒 タ その他 動作温度範囲、メカニクス 0～50 0～50 -20～65 ℃ 動作温度範囲、コントローラ 5～40 5～40 5～40 ℃ ケーブル長さ 2 2 3 m 電 動 モ 使用光度計の要件 単位 ー 出力信号 アナログ出力、リニアから対数への変換を推奨 タ 出力電圧範囲、最大 -5～5 V 帯域幅、最小 1 kHz ノイズレベル、最大 -60 dBm 静 20±3°C時の技術仕様データです。 電 * 各座標（X、Y、Z、θX、θY、θZ）のトラベルレンジは相互依存します。この表に記載されている各軸のデータは、 容 量 その他すべての軸および回転軸が基準位置にあるときの最大トラベルレンジを示しています。 セ ン ヘキサポッドのデフォルトの座標系および回転軸座標については、寸法図をご覧ください。回転軸を変更すると、θX、θY、θZ方向のトラベルレンジが減少します。座標系の向きを変更すると（光軸をZ軸にするな サ ど）、X、Y、およびZ方向のトラベルレンジが変化します。 ー ** 多項式線形化なし *** 最初の光検出後に全体の最大値に到達 パヘ ラキ レサ ルポ 制ッ 御ド ６ 軸 シ ス テ ム ・ モピ ーエ タゾ ーコ コン ント トロ ロー ーラ ラー ー／ ア ク セ サ リ ー 143