PIグループ　ACS社製　モーションコントローラ紹介

精密位置決めの PI グループ ACS Motion Control 社 高性能多軸モーション コントローラ・ ドライブソリューション の紹介 ピーアイ・ジャパン株式会社 044-280-7676 www.pi-japan.jp/ info@pi-japan.jp

コピ ACS Motion コピ ンエ ンエ ポゾ Control 社と PI 社について ACS の主な機能 ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ ンチ トュ トュ エ エ ー ー タ・ 多軸対応にもスムーズ タ・ 高ピ ACS 社は、1985 年以来、半導体、電子機器組立、 最大 64 軸までの完全同期が可能です。サンプリングアップデート 高ピ 速エ 20KHz（サーボサイクル 50µs）これは軸数で数値が落ちることは 速エ スゾ レーザー加工、フラットパネルディスプレイ、バイオ スゾ キフ キフ ャレ ャレ ニク メディカル、その他のハイテク産業のOEMメーカー ありません。EtherCAT による接続でつないだ瞬間にシステムが完 ニク ンシ 成する洗練された機構となっております。 ンシ グャ グャ シス から信頼を受け、機械性能の向上、設計の柔軟性、 シス ステ ステ テー テー ムジ アプリケーション開発の加速、市場投入時間の ムジ ／ ／ 高 高 速 短縮を実現しています。イスラエルに本社を置き、 速 ス ス テ 米国、ドイツ、中国に子会社、そして代理店やパー テ ア ア リ リ ン トナーのグローバルネットワークを持つ ACS の ン グ リアルタイム ACSPL+ 及び PLC プログラム グ ミ G- コード、M コードに対応したソフトウェアをご用意しております。 ミ ラ 組織は、世界中で活動する OEM のニーズに対応 ラ ー ー ハイレベルでマルチタスクをこなせる言語仕様で、先読み機能も モピ するように構成されています。また 2017 年より、 モピ ーエ 年々機能が拡大・充実をしております。 ーエ タゾ ACS 社は、Physik Instrumente（PI）グループ タゾ ーコ ーコ コン コン ント の一員となりました。 ント トロ トロ ロー ロー ーラ ーラ ラ／ ラ／ シＰ シＰ リｉ 多彩な要求に応える高精度仕様 リｉ ーｅ ーｅ ズｚｏ 高速サンプリング機能を最大限に生かしたガルバノスキャナ指令に ズｚｏ Ｗ よる広域加工を可能としております。あらゆる CAD データをその Ｗ ａ ａ ｌ ｌ ｋ まま取り込み加工プロセスへシームレスに移行するソフトウェアを ｋ ® ® 完備、カメラとの接続も可能としております。レーザ加工をより身近 ピ に使いこなせる IO。ドライバーはすべてあらゆるモータにつながる ピ エ ユニバーサル仕様です。 エ ゾ ゾ モ モ ー ー タ タ 電 モーションプロセスの同期 コントローラアプリケーション開発 電 動 動 モ モ ー High-Speed Position High-Speed Position Multi-Axis Position- ー タ タ Event Generation Capture Based Triggering G-Code Programming Duplicate Machine PLC/PAC Integration 静 静 電 電 容 容 量 量 セ セ ン ン サ サ ー ー パヘ 　　高解像度の検査、計測、パターニ 　　プローブ計測、半導体パッケージ 　　レーザー加工、工業用デジタル 　　SPiiPlus モーションコントローラ 　　この内蔵機能により、生産現場や 　　ACS コントローラを EtherCAT、 パヘ ラキ ング、印刷などのアプリケーションで ラキ レサ ング、座標測定機（CMM）などの測 印刷、積層造形などのアプリケーショ は、ネイティブ G コードプログラミン フィールドサービスでのコントロー Ethernet/IP、Modbus のマシンアー レサ ルポ は、エンコーダの位置に基づいてカメ ルポ 制ッ 定アプリケーションは、測定が行われ ンでは、モーションシステムがレー グによってハイエンドな CNC 機能を ラ設定プロセスが自動化されます。 キテクチャに統合し、PLC/PAC の 制ッ 御ド ラ、検査ヘッド、レーザーなどのデバ 御ド ６ る正確な瞬間に軸の位置を捕捉する ザーやプリントヘッドを多軸で作動さ 実行することができます。要求の厳しい モーションコントロールシステム全体 包括的なリソースを使用して、強力 ６ 軸 軸 シ モーションコントロールシステムに依 せ、同期させる必要があります。当社 レーザー加工アプリケーションのニー のコンフィギュレーションファイルと なモーションコントロール機能を活 シ ス イスを高速で正確にトリガーするモー ス テ ションコントロールシステムに依存し 存しています。ACS 製品は、登録マー のレーザーコントロールインターフェー ズを満たすために開発された当社の パラメータを 1 つのディレクトリに 用することができます。 テ ム ム ・ ています。ACS 製 品 は、Position ク位置捕捉（MARK）機能をサブマ スを搭載したシステムは、サブマイク G コードプログラミングサポートは、 統合し、ハードウェアの不整合も検出 ・ モA EventGeneration (PEG) によってこ イクロ秒の遅延で提供し、最高のス ロ秒の同期でパルス信号やゲート信号 豊富なモーションプロファイル生成 します。 モA ー ー シC の機能を提供します。柔軟な動作モー ループットを可能にします。 を提供し、高速であってもミクロンレ オプションを備えます。 シC ョS ョS ン ン コ ドには、インクリメンタルな固定距離 ベルの加工精度を実現します。 コ ン パルスとアレイベースのランダム距離 ン ト ト ロ パルスがあります。 ロ ー ー ル ル 170 171

コピ ンエ ■ モーションコントロールアプリケーションに最適 ットなのにローコスト コピ ンエ ポゾ ポゾ ーア ネク カスケード制御ループ構造 ン なぜ AC S ？業界 ■ ハイスループ PEG 高精度レーザーパルシング / ゲーティング機能 ーア ネク チ ンチ トュ トュ エ エ ー タ・ 高ピ トップレベル の多彩な機能 ー タ・ 高ピ 速エ 速エ スゾ スゾ キフ ル ランダム キフ ャレ インクリメンタ ャレ ニク PEG PEG ニク ンシ ンシ グャ グャ シス シス ステ ステ テー POSITION LOOP ポジション テー ムジ ムジ ／ ／ ■ ACS 独自の制御アルゴリズム 高 高 速 速 ス ス テ 機能 テ ア ア リ リ ン ン グ グ ミ ミ ラ ラ ー ■ 劇的な精度向上の鍵となる ■ 劇的な精度向上の鍵となる ー モピ エ ダイナミックエラー インバースキネマティクス モピ ー ーエ タゾ タゾ ーコ マッピング機能（位置補正） 目的位置を指定することでその間の各 ーコ コン コン ント トロ 関節角度は自由計算。ACS コマンドで ント トロ ロー アクチェータは、ユーザーが命令した ロー ーラ ーラ ラ／ 動作を取る。 ラ／ シＰ シＰ リｉ リｉ ーｅ ｚ ノイズ低減機能 整定時間の低減機能 ーｅ ズｏ ズｚ 赤グラフ = ServoBoost アルゴリズムによるノイズリダクション 赤グラフ = ServoBoost アルゴリズムによる適応制振グラフ　 ｏ Ｗ Ｗ ａ 　　　（ ±0.25µm） 　　　　 ±10nm レベルならリアルタイム制振 ±1nm ａ ｌ 　 ｌ ｋ 　　　　 レベルでも 30ms で制振 ｋ ® ® ピ ピ エ エ ゾ ゾ モ モ ー ー タ タ 　 電 電 動 動 モ モ ー ー タ ■ 劇的な精度向上の鍵となる ■ 動作にかかる時間を最小限に抑える タ モーションブレンディング機能 アドバンストルックアヘッド機能 共振補正機能 コギング補正機能 赤グラフ = ServoBoost アルゴリズムを活用した応答周波数 赤グラフ = ServoBoost アルゴリズムによるフィードバック速度 　　　　　の振幅・低周波における共振が自動制振されている 静 静 電 電 容 容 量 一般的なルックアヘッド 量 セ アルゴリズム セ ン ン サ サ ー ー ■ 業界レベルの正確性とフレキシビリティを併せ持つ ■ スキャンラボ社とACS社が共同開発した革新的なソリューション パヘ スループット最大化のためのパスの経路を最適化 ファイル（Vs. 時間） 耀度プロファイル ガントリ制御機能 ACS 多軸ドライブガントリーコントロール。 XL SCAN パヘ ラキ することで速度を向上いたします。 速度プロ マンス ラキ レサ 緑 =X 軸速度コマンド 振幅がぶれており精度が悪い 最適化されてたパフォー レサ ルポ ッ 青線 =X-Y 平面での本来の位置指令値 青 =Y 軸速度コマンド 結果 ・広域に特化したデジタルガルバノスキャナ制御 ルポ 制 赤線 = 最適化された位置指令（コーナー） SPiiPlusCM ・大量のレーザー加工用途に抜群の精度を発揮 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 ・比類なき技術で 140％のスループット向上 軸 シ 参考例 )XY 連動のモーションパス ドライブ内蔵型の シ ス モーションコントローラ ス テ 赤 =XY 平面の位置指令 テ ム ホスト PC RTC6 スキャナコントローラ ム ・ ACS 先進の ・ モA ルックアヘッド アルゴリズム SPiiPlusモーションコントローラ SLEC* レーザ モA ー ー シC シC ョS lャiSCンAヘN ッド ョS ン / 3 ドライブモジュール excelliSCANe xスceキl ン コ コ ン 速度プロファイル（Vs. 時間） 耀度プロファイル ン ト ワークピース ト ロ 緑 =X 軸速度コマンド 振幅の振れが抑えられ精度が ロ ー 青 =Y 軸速度コマンド 向上 モーションステージ(XY, XX Y, R-Theta…) ー ル ル 172 173

コピ ACS 製品ラインナップ コピ ンエ ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ チ トュ パワフルでユニバーサルなモーションコントローラ ン トュ エ エ ー ー タ・ SPiiPlusEC LCI タ・ 高ピ 高ピ 速エ 速エ スゾ スゾ キフ キフ ャレ つながるコントローラ ・固定ビームレーザの制御とモーションを緊密に同期 ャレ ニク ニク ンシ ンシ グャ ・EtherCAT であらゆる IO と通信 ・サブマイクロ秒のレイテンシ グャ シス シス ステ ・最大 5 軸のレーザ制御とモーション制御を同期 高性能 ステ テー テー ムジ レーザー制御モード ムジ ／ ・軸数にかかわらずサンプリングタイム 20KHz で対応 ／ 高 ・最大 64 軸まで完全同期 ・位置ベースのトリガーや各モードの組み合わせ 高 速 速 ス ・速度ベースの電力制御 ス テ テ ア ・トリガとパワー制御を内蔵 ア リ リ ン 仕様 ン グ グ ミ ミ ラ ・デジタル I/O：8/8 LCI レーザコントロール インターフェース ラ ー ー つながらないものはない、抜群の接続性 ・制御信号インターフェース：RS422、5/24V シングルエンド ・最大パルス周波数：16 MHz モピ モピ ーエ ーエ タゾ タゾ ーコ ーコ コン UDMpm ・達成可能なレーザーパルス精度：サブミクロン コン ント ント トロ トロ ロー ロー ーラ ローコストでも高性能 ーラ ラ／ 【システム構成例】 ラ／ ・卓越したステージ駆動 シＰ ・レーザーアプリケーションに特化した PI ステージと最高の ローコストでもリーズナブルに制御を シＰ リｉ リｉ ーｅ 　相性のよさ バリュー・モーションステージソリューション ーｅ ズｚｏ ズｚｏ Ｗ Ｗ ａ つながるドライブ ａ ｌ ・EtherCAT で ACS コントローラと瞬間接続 ｌ ｋ ｋ ® ® ピ ピ エ エ ゾ ゾ モ モ ー ACS フラッグシップモデル LCI ー タ レーザコントロール タ インターフェイス NPApm UDM SPiiPlusEC ユニバーサルドライバ / 4 電 電 動 モーションコントローラ 動 モ モ ー フラッグシップモデル ー タ タ ・世界最高レベル 16 ビット変換機能 ・ナノの領域を求められるアプリケーションへ ・リニアアンプを凌駕する基本性能 高精度・ハイパワーを狙う すぐれたコストパフォーマンス ハイパフォーマンスモーションステージソリューション 静 静 電 電 容 ・一台で 2 軸まで対応 容 量 量 セ セ ン ン サ サ ー ー パヘ XYZ ユニバーサルドライバとコントローラがひとつに パヘ ラキ ラキ レサ レサ ルポ SPiiPlusCM LCI ルポ 制ッ HP/BA 制ッ 御ド レーザコントロール 御ド ６ インターフェイス ６ 軸 軸 シ シ ス ス テ SPiiPlusCM UDM PM / 2 テ ム ム ・ 3 in 1 ドライブ内蔵型 ユニバーサルドライバ ・ ・ピーアイのレーザ特化ステージなら簡単に XYZ が完成する モーションコントローラ モA モA ー ー シC つながるコントローラ シC ョS ョS ン ・リニアアンプを凌駕する基本性能 ン コ 高性能 コ ン ン ト ト ロ ・軸数にかかわらずサンプリングタイム 20KHz で対応 ロ ー ー ル ・最大 64 軸まで完全同期 ル 174 175

コピ Drive コピ ンエ ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ 形　式 UDM UDM UDM UDM UDM UDM UDM LC SD PC NT MC PM HP/BA MC4Unt ンチ トュ トュ エ エ ー ー タ・ タ・ 高ピ 高ピ 速エ 速エ スゾ スゾ キフ キフ ャレ ャレ ニク ニク ンシ 外　観 ンシ グャ グャ シス シス ステ ステ テー テー ムジ ムジ ／ ／ 高 高 速 速 ス ス テ テ ア ア リ ドライブ〔軸数〕 2, 4 2, 4 1, 2 1, 2 2, 4 1, 2 2, 3 8 リ ン ン グ 電源〔Vin〕 12-48 12-48 5-48 12-80 12-80 85-230 85-230 85-400 グ ミ ミ ラ 定格電流 / ピーク電流〔A〕 5/10 2.5/5A 10/20 10/20 20/40 7.5/15 15/30 45/90 ラ ー ー インクリメンタルデジタルエンコーダ 2, 4 up to 4 up to 4 1, 2 up to 4 up to 4 up to 4 1 / 軸 モピ モピ ーエ タゾ インクリメンタルアナログエンコーダ N/A N/A N/A 500KHz/10MHz - 0, 1, 2 0, 1, 2, 3 option ーエ タゾ ーコ ーコ コン ント アブソリュートエンコーダ 0, 1, 2 0, 1, 2 0, 1, 2 0, 1, 2 up to 4 0, 1, 2 0, 1, 2 option コン ント トロ ロー ホールセンサ入力 OK OK 0, 1, 2 OK OK OK OK 3 / 軸 トロ ロー ーラ ーラ ラ／ PEG(Position Event Generator) - 1 OK 2 1 2 3 7 ラ／ STO(Safe Torque Off) - - 2 - OK OK E-stop STO, E-Stop シＰ シＰ リｉ リｉ ーｅ ブレーキ 4 2 OK - 4 2 3 8 ーｅ ズｚｏ ズｚｏ Ｗ 定格出力 ～ 200W ～ 100W ～ 400W ～ 700W ～ 1.4KW ～ 1.6KW 単 2.8KW　3 相 5KW - Ｗ ａ ａ ｌ ｌ ｋ ｋ ® ® ピ ピ エ エ ゾ ゾ モ ー Master モ ー タ タ 形　式 SPiiPlusEC SPiiPlusES SPiiPlusCM HP/BA 電 電 動 動 モ モ ー ー タ タ 外　観 静 静 電 電 容 容 量 量 セ セ ン ン サ サ ー ー ドライブ〔軸数〕 2-64 2-64 2-64 パヘ ラキ 電源〔Vin〕 24V 24V 24V パヘ ラキ レサ レサ ルポ ルポ 制ッ MPU サイクルレート 1-5Hz 1-5Hz 1-5Hz 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 MPU RAM 1GB 1GB 1GB 軸 シ EtherCAT®︎ベースの ACS モーションコント ス MPU フラッシュ 512MB 512MB 512MB 【 制御ソリューションの主な特長】 シ ス テ ローラ、ドライブモジュールインターフェイスは テ ム ・ リアルタイムプログラミング ACSPL+ ACSPL+ ACSPL+ ■ モジュール式ハードウェア設計 ム 多軸同期に理想的です。レーザ制御に同期させ ・ モA G-code G-code G-code ■ EtherCAT®︎ベ ースの通信 モ Servo Boost Servo Boost Servo Boost る G コードサポートや「PEG」機能が必要に A ー ー シC シC ョS ン 特殊機能 ■ サードパーティのEtherCAT®︎ドライバ用のオープンアーキテクチャ なることもあり、高度な技術を持つ ACS の ョS ン コ ■ 複数のモータおよびフィードバックタイプのユニバーサルサポート コ ン XL Scan XL Scan XL Scan 基盤供給 ○ CAN 対応 ドライブ内蔵 モジュール化されたシステムアーキテクチャにより、 ン ト ト ロ ■ CNC ユーザー操作のための HM ロ ー ※ 基盤時 5V±5％ 複雑なアプリケーションも制御可能となります。 ー ル ル 176 177

コピ A S 製品専用ソフトウェアのご紹介 コピ ンエ C ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ ンチ トュ トュ エ エ ー ー タ・ The SPiiPlus ADK Suite タ・ 高ピ SPiiPlus ADK Suite は、モーションコントロールアプリケーションの設計、導入、保守に必要なすべての開発ツール、 高ピ 速エ 速エ スゾ ソフトウェアライブラリ、製品リソースを統合したもので、3 つの製品ファミリーはすべてサポートされています。 スゾ キフ キフ ャレ ャレ ニク このパッケージには MMI Application Studio が含まれており、モーション性能の設定、チューニング、プログラ ニク ンシ ンシ グャ グャ シス ミング、測定のためのパワフルで使いやすいツールを提供します。 シス ステ ステ テー テー ムジ ムジ ／ ／ 高 高 速 速 ス ス テ テ ア ア リ リ ン MMI Application Studio ツールには、以下が含まれます : Servo Control & Drive Technology ン グ グ ミ • Frequency Response Function (FRF) Analyzer：サーボの安定性と帯域幅を最大化するために必要な、 ServoBoost ミ ラ ラ ー ー 高度な周波数領域の測定・解析・設計機能を提供 ServoBoost アルゴリズムは、強力なサーボプロセッサ技術と最新の制御理論を活用し、PID ベースの モピ • Smarter Autotuning： 初心者にも熟練者にも役立つこの柔軟なツールは、モータのチューニング手順を加速 モピ ーエ アルゴリズムよりも優れた性能を発揮します。ー 動作や静定への高い要求、静止時ジッター、等速性 ーエ タゾ タゾ ーコ • 3D Scope： 動きを視覚化し、データを 3 次元で分析することで、ピックアンドプレース、3D 検査、計測などのアプ ーコ コン が要求されるアプリケーションには必需品です。 コン ント ント トロ リケーションの開発を効率化 LearningBoost トロ ロー ロー ーラ ーラ ラ／ • System Setup Tools ：ワンクリックで EtherCAT ネットワークを構築 この最先端の制御アルゴリズムは、システムの外乱を学習し、先制的に補償することにより、モーション ラ／ • Adjuster Wizard： 軸の設定やチューニングをステップバイステップで実行 システムの精度とスループットを向上させます。LearningBoost を他の ACS Motion Control サーボ シＰ シＰ リｉ リｉ ーｅ アルゴリズムと組み合わせることで、モーションシステムの性能を最大限に引き出すことができます。 ーｅ ズｚ ズｚｏ ｏ Ｗ NanoPWM Ｗ ａ ａ ｌ リニアアンプとPWMアンプの長所を組み合わせた当社独自のNanoPWM技術は、大型で高精度なモー ｌ ｋ ｋ ® ® SPiiPlus Simulator ションシステムのアプリケーションにおいて、サブナノメートルの静止ジッタとナノメートルレベルの位置 ピ SPiiPlus シミュレータは、ハードウェアに接続することなく、コントローラやホストレベルでのアプリケーション開 決めを実現します。 ピ エ エ ゾ 発を加速させます。機械とモーションコントロールシステムのロバストなシミュレーションを使用することで、プロ ゾ モ Smarter Gantry Control モ ー ー タ セスレシピの開発とデバッグ、入力と故障状態に対する応答のエミュレーションなどをより迅速に行うことができます。 独自の多軸サーボプロセッサ技術により、MIMO（マルチインプット・マルチアウトプット）ガントリ制 タ • 開発・プログラミングの労力を大幅に削減 御アルゴリズムを提供し、ガントリ・ステージの構成と調整プロセスを簡素化し、精度、スループット、 • C, C++, C#, .NET, Linux, LabView などでホストアプリケーションを開発し、テストが可能 安定性を向上させることができます。 電 • ACSPL+ または G-code でコントローラアプリケーションを開発し、テストが可能 Non-Linear Control 電 動 動 モ モ ー • 機械の入力や故障の状態をシミュレートし、より堅牢なエラー処理を実現 ー タ 従来のリニア PID や PIV 制御を凌駕し、非線形現象に対応するために、ノンリニア制御を使用します。 タ 非線形制御則を使用して、移動時間と整定時間を短縮し、高精度な位置決めアプリケーションにおける モーションシステム全体の性能を向上させます。 Universal Servo Drive Technology 静 静 電 電 容 さまざまなモーター技術を組み合わせたシステムに対して、当社のユニバーサルサーボドライブ技術は、 SPC: Smart Processing Commander 容 量 機械内のすべてのモーターとステージ技術を制御するための共通のプラットフォームを提供します。この 量 セ セ ン この高度なユーザーインターフェースソフトウェアは、モーション軸、レーザー、 ン サ サ ー 機能により、お客様のアプリケーションに最適な機械的ソリューションを柔軟に選択することができます。 ー ガルボスキャナー、カメラ、その他の自動化コンポーネントを含む完全な機械制御 Servo Algorithm Customization を提供し、すぐに使えるソリューションを求めるレーザー加工および積層造形機 パヘ パヘ ラキ ラキ レサ メーカー向けに設計されています。SPC は、2D および 3D 処理、柔軟な CAD 特にユニークで要求の厳しいアプリケーションについて、ACS のサーボ制御アルゴリズムの能力を活用し、 レサ ルポ からモーションのインポートと設計をサポートし、C# プラグインを使用して簡単に お客様のモーションシステムの性能要件を上回ることができるかは ACS 担当者にお問い合わせください。 ルポ 制ッ 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 カスタマイズすることが可能です。SPC を使用して XLSCAN を制御します。 軸 シ シ ス ス テ テ ム ム ・ ・ モA モA ー シC ー シC ョS ョS ン ン コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ル ル 178 179

コピ ンエ ポゾ Motion Profile Generation ーア ネク ンチ トュ エ ー タ・ MotionBoost 高ピ 半導体やフラットパネルディスプレイの装置では、ウェハ 速エ スゾ キフ やパネル上の数千のポイントで静的測定を行う必要があ ャレ ニク ンシ ります。このようなアプリケーションでは、ミリ秒単位が グャ シス ステ 重要です。MotionBoost は、ステージに入れるエネル テー ムジ ／ ギーを最小限に抑え、振動と整定時間を削減する高度な 高 モーションプロファイルを生成します。 速 ス テ ア リ ン グ ServoBoost ミ ラ ー Segmented Motion 独自のサーボアルゴリズムにより、モーション レーザー加工やアディティブ・マニュファクチャリングの システムのパフォーマンスを向上 モピ ーエ タゾ アプリケーションの多くは、多軸パスに沿った協調的な ーコ コン ント 動きを必要とします。Segmented Motion は、最大 6 トロ ロー 軸のシステムにおいて 、高度な先読み速度調整、コーナー ーラ ラ／ ラウンド、モーションセグメントへのデジタル出力の同期 化も可能です。 シＰ リｉ ーｅ ズｚｏ Ｗ ａ ｌ ｋ ® SmoothPath LearningBoost SmoothPath は、レーザー加工やアディティブ・マニュ システムの外乱を事前に補正することでスルー ピ エ ファクチャリングのアプリケーションにおいて、CAD/ ゾ プットを向上 モ ー CAM で生成された複雑なポリラインのモーションパスが タ 引き起こすスループットの向上とジャークなどの外乱の低 +/-0.4nm 減を実現します。また、プロセスタスクとモーションを同 jitter 期させながら、等速制御を向上させます。 1nm steps 電 動 モ ー タ SmoothPTP SmoothPTP は、ジャークとスナップフィードフォワード 静 を備えた4次モーションプロファイルを活用し、精密ボール NanoPWM 電 容 量 スクリューやデュアルモーターガントリーステージなど、 ナノメータ分解能のアプリケーションに最適な セ ン 非同時動作システムのアプリケーションにおける性能を モーションシステム性能 サ ー 向上させます。デュアルモーターガントリーステージなどの 非配置モーションシステムのパフォーマンスを向上させます。 パヘ ラキ レサ ルポ 制ッ 御ド６ 軸 シ ス Jerk-Limited Motion テ ム 2 次加速度制限プロフィールは、加速度の変化によりス ・ モA ループットと精度を制限する外乱が発生するため、多くの ー シC ョS モーションコントロールアプリケーションに適していませ ン MotionBoost コ ん。ACS コントローラは、プロフィールのパラメータとエ ン 高度なモーションプロファイルにより、ステージ ト ロ ンドポイントを動的に調整する機能を持つ、標準の 3 次 の整定時間を改善し振動を低減 ー ル jerk-limited motion プロフィールを提供します。 180