PIglide 高精度 Z Tip/Tilt エアベアリングステージ A-523

PIglide 高精度 Z Tip/Tilt エアベアリングステージ High Performance • Cleanroom-Compatible • Low Profile A-523 n Z軸トラベルレンジ ±2.5 mm n θX, θY軸 ±1° n 耐荷重 8 kg n プラットフォーム直径 250 mm n 高さ 60 mm Product overview A-523は、ダイレクトドライブ のエアベアリングZチップ/チルトステージです。パラレルキネマティック方式の多 軸システムとして設計されたこのプラットフォームは、Zおよびチップ／チルト動作で使用できます。このステー ジは、小型で超高精度を実現しています。非接触部品の組み合わせにより、摩擦のないモーションプラットフォー ムを実現し、最高の性能、品質、寿命を提供します。A-523をA-81x/A-82xシリーズのコントローラと一緒にご注文 いただくと、PI社はサーボチューニングの最適化と負荷をかけた状態でZステージの構成と配線を行います。これに より、すぐ使用可能なジショニングシステムを受け取ります。 アクセサリー&オプション n エアフィルターセット n 内蔵バキュームクランプ機構 アプリケーション分野 このZ tip/tilt ステージは、ウェーハ検査、ファイバー位置決め、光学系位置決め、フラットスクリーン検査、マ スクレスリソグラフィー、超小型LED製造などの高精度アプリケーションに最適です。また、非接触式のため、ク リーンルームでの使用にも適しています。 Motion Unit Toleran- ce A-523.25005B3 Active axes Z θX θY Travel range in Z mm 5 Rotation range in θX ° 2 Rotation range in θY ° 1.6 Acceleration in Z m/s² Max. 10 Maximum velocity in Z mm/s 200 Rotational crosstalk in θX with motion in Z µrad Typ. ± 25 Rotational crosstalk in θY with motion in Z µrad Typ. ± 25 ___ Page 1 12.03.2021 WWW.PI.WS

Positioning Unit Toleran- ce A-523.25005B3 Bidirectional repeatability in Z µm Typ. ± 0.25 Bidirectional repeatability in θX µrad Typ. ± 8 Bidirectional repeatability in θY µrad Typ. ± 8 Positioning accuracy in Z, calibrated µm Typ. ± 0.5 Positioning accuracy in θX, uncalibrated µrad Typ. ± 15 Positioning accuracy in θY, uncalibrated µrad Typ. ± 15 Minimum incremental motion in Z µm Typ. 0.01 Minimum incremental motion in θX µrad Typ. 0.06 Minimum incremental motion in θY µrad Typ. 0.06 Integrated sensor Absolute linear encoder Sensor signal BiSS-C Sensor resolution nm 1 ___ Drive Properties Unit Toleran- ce A-523.25005B3 Drive type Electric motor/Magnetic direct drive/Ironless 3-phase linear motor Nominal voltage V 48 Peak voltage V 80 Nominal current, RMS a Typ. 0.8 Peak current, RMS a Typ. 1.5 Force constant N/A 10 Resistance phase-phase Ω Typ. 23.5 Inductance phase-phase mH 5.2 Back EMF phase-phase V·s/m Max. 10 ___ Mechanical Properties Unit Toleran- ce A-523.25005B3 Guide Air bearing guide/Air bearing guide with air preload Permissible push force in Z N Max. 80 Overall mass g 8.2 Material Hardcoat aluminum, stainless steel mounting hardware ___ Miscellaneous Unit Toleran- ce A-523.25005B3 Connector HD D-sub 26 (m) Air bearing connection Plug connection for hose with 6 mm outer diameter Operating pressure kPa 515 to 585 (75 to 85 psi) Air consumption L/min Max. 84 Air quality Clean (filtered up to 1.0 µm or better) - ISO 8573–1 class 1 Oil free - ISO 8573–1 class 1 Dry (-15 °C dew point) - ISO 8573–1 class 3 Recommended controllers / drivers A-814 (four axes), A-82x (4 / 6 axes) Operating temperature range °C +15 to +25 ___ Page 2 12.03.2021 WWW.PI.WS

・移動範囲と回転範囲についての注意事項：Z方向の移動範囲とθX、θY方向の回転範囲は相互に依存します。表中の値は、他の軸がすべて基準位置にある場合の、各軸の 最大移動範囲を示しています。 ・加速度、速度についての注意事項：数値は無負荷状態での値です。 ・位置決め精度に関する注意事項：校正された精度は、コントローラによる誤差補正が行われることで達成されます。ステージがこの値を達成するには、PI社のコントロー ラとオーダーする必要があります。精度値は短時間を想定しており、ステージの熱ドリフトによる長期的な影響は考慮していません。 ・最小インクリメンタルモーションに関する注意事項：システムの安定性（サーボジッター）に直接関係します。 これは使用するサーボドライブに依存します。ACS SPiiPlusコントローラにServoBoost™ PLUSを使用することで、位置安定性を向上させることができます。 ・Push forceの許容についての注意事項：エアベアリングの作動圧力を480kPaと仮定しています。ステージは水平方向のみの動作です。 ・使用圧力についての注意事項：ステージの破損を防ぐために、コントローラのE-Stop入力に空気圧センサーを接続することを推奨します。 Page 3 12.03.2021 WWW.PI.WS

Drawings / Images A-523.25005B3, dimensions in mm Page 4 12.03.2021 WWW.PI.WS

Order information A-523.25005B3 PIglide high-precision Z tip/tilt stage with air bearings; ironless 3-phase linear motor; 5 mm travel range; 2 ° × 1.6 ° rotational an- gle (θX × θY); 80 N load capacity; 200 mm/s maximum velocity; absolute linear encoder, 1 nm sensor resolution, BiSS-C Page 5 12.03.2021 WWW.PI.WS