高性能リニアモータ位置決めステージ V-817

高負荷対応リニアステージ 高性能 - リニアモータ - コストパフォーマンス - 高速性 V-817 n 薄型 (63 mm)、幅 166 mm、ロングトラベルレンジ (最大 813 mm) n 高動作性、メンテナンスフリーのリニアモータと高精度イ ンクリメンタルリニアエンコーダを搭載 n 堅牢な工業デザインによる長寿命化 n 最大600Nの負荷容量 n リファレンスエッジによる高速統合、簡単にXY軸に搭載 n テストレポートの作成と配信を標準装備 高性能・高負荷に対応したインダストリアルデザイン V-817により、PIは産業用ソリューションのポートフォリオに、高負荷容量と高ダイナミクスを持つリニアステージ を追加しました。その設計は一貫して厳しい産業環境に対応し、高剛性と高信頼性コンポーネントの使用を特徴と しています。循環ボールベアリングガイド、3相リニアモーター、インクリメンタルリニアエンコーダ。高分解能エ ンコーダにより、優れたトラッキング性能、小さなトラッキングエラー、短いセトリングタイムを実現していま す。業界互換性のあるコネクターにより、高速で安全な接続を実現します。オプションのモーションプラット フォームは、3つのM6ホールパターンを備え、多様なアセンブリオプションを提供します。このプラットフォーム を使用しない場合、全高が特に低くなり、特にXY結合の際に有利です。 ダイレクトドライブ駆動のリニアモーター 3相磁石式ダイレクトドライブは、駆動系に機械部品を使用せず、駆動力を直接、摩擦なしにモーションプラット フォームへ伝達します。駆動力は、摩擦なしに直接モーションプラットフォームへ伝達されます。アイアンレス モーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、特に高精度が要求される位置決めタスクに適してい ます。このため、最低速度でもスムーズな走行が可能であり、同時に高速度での振動もありません。制御動作の非 線形性が回避され、任意の位置を容易に制御することができる。駆動力は自由に設定することができます。 完全統合型多軸システム V-817リニアステージは、複雑なシステムに組み込むのに最適な製品です。そのため、PIでは、適切なコントローラ に加え、グラナイトベース、マシンフレーム、マウントアダプタ、ケーブルセット、適切なソフトウェアサポート などのアクセサリを備えたXYまたはXYZ多軸の統合システムを提供しています。多軸システムに関するご要望は、 弊社営業部までご連絡ください。 オプション オプションアクセサリー：V-817.TT1モーションプラットフォーム アプリケーション分野 電子機器組立 センサー、カメラ組立 非接触検査、X線検査、AOI(自動光学検査) センサー検査、超音波検査 半導体製 造 ウェハー加工・検査 レーザー加工 レーザー溶接 精密自動化、スムーズなスキャン動作、最小限のトラッキングエ ラー、短いセトリング時間など、高度にダイナミックなアプリケーション。 Motion Unit Toleran- ce V-817.096211E0 V-817.176211E0 V-817.256211E0 V-817.336211E0 Active axes X X X X Travel range in X mm 204 407 610 813 Maximum velocity in X, unloaded mm/s 3000 3000 3000 3000 Straightness (Linear cros- stalk in Y with motion in X) µm Max. ± 6 ± 10 ± 14 ± 18 Flatness (Linear crosstalk in Z with motion in X) µm Max. ± 6 ± 10 ± 14 ± 18 Pitch (Rotational crosstalk in θY with motion in X) µrad Max. ± 50 ± 60 ± 90 ± 100 Yaw (Rotational crosstalk in θZ with motion in X) µrad Max. ± 50 ± 60 ± 90 ± 100 ___ Page 1 02.03.2022 WWW.PI.WS

Positioning Unit Toleran- ce V-817.096211E0 V-817.176211E0 V-817.256211E0 V-817.336211E0 Integrated sensor Incremental linear enco- Incremental linear enco- Incremental linear enco- Incremental linear enco- der der der der System resolution in X nm 0.3 0.3 0.3 0.3 Bidirectional repeatability in X µm Max. ± 1 ± 1 ± 1.5 ± 1.5 Positioning accuracy in X, calibrated µm Max. ± 2.5 ± 3 ± 4 ± 6 Positioning accuracy in X, uncalibrated µm Max. ± 12 ± 18 ± 22 ± 27 Minimum incremental motion in X µm toleranz_lee0r.01 0.01 0.01 0.01 Sensor signal Sin/cos, 1 V peak-peak Sin/cos, 1 V peak-peak Sin/cos, 1 V peak-peak Sin/cos, 1 V peak-peak Sensor signal period µm 20 20 20 20 Reference switch Optical Optical Optical Optical Limit switches Hall effect, N/C contact, 5 Hall effect, N/C contact, 5 Hall effect, N/C contact, 5 Hall effect, N/C contact, 5 V, NPN V, NPN V, NPN V, NPN ___ Drive Properties Unit Toleran- ce V-817.096211E0 V-817.176211E0 V-817.256211E0 V-817.336211E0 Drive type Ironless 3-phase linear Ironless 3-phase linear Ironless 3-phase linear Ironless 3-phase linear motor motor motor motor Nominal voltage V 325 325 325 325 Nominal current, RMS A toleranz_lee3r.54 3.54 3.54 3.54 Peak current, RMS A toleranz_lee1r5 15 15 15 Drive force in negative di- rection of motion in X N toleranz_lee7r0 70 70 70 Drive force in positive di- rection of motion in X N toleranz_lee7r0 70 70 70 Peak force in negative di- rection of motion in X N 300 300 300 300 Peak force in positive di- rection of motion in X N 300 300 300 300 Force constant N/A 19.9 19.9 19.9 19.9 Motor constant N/√W toleranz_lee8r.4 8.4 8.4 8.4 Time constant ms 0.35 0.35 0.35 0.35 Resistance phase-phase Ω toleranz_lee3r.6 3.6 3.6 3.6 Inductance phase-phase mH 1.2 1.2 1.2 1.2 Back EMF phase-phase V·s/m toleranz_lee1r6 16 16 16 Pole pitch N-N mm 30 30 30 30 ___ Mechanical Properties Unit Toleran- ce V-817.096211E0 V-817.176211E0 V-817.256211E0 V-817.336211E0 Guide Recirculating ball bearing Recirculating ball bearing Recirculating ball bearing Recirculating ball bearing guide guide guide guide Moved mass in X, unloa- ded g 1400 1400 1400 1400 Permissible push force in Z N Max. 600 600 600 600 Overall mass g 11200 14800 18400 21100 Material Aluminum, black anodi- Aluminum, black anodi- Aluminum, black anodi- Aluminum, black anodi- zed, stainless steel zed, stainless steel zed, stainless steel zed, stainless steel ___ Page 2 02.03.2022 WWW.PI.WS

Miscellaneous Unit V-817.096211E0 V-817.176211E0 V-817.256211E0 V-817.336211E0 Connector M15 9-pin (m) M15 9-pin (m) M15 9-pin (m) M15 9-pin (m) Sensor connector M15 15-pole (m) M15 15-pole (m) M15 15-pole (m) M15 15-pole (m) Ready for use, with fully Ready for use, with fully Ready for use, with fully Ready for use, with fully integrated controller of integrated controller of integrated controller of integrated controller of the G-901 series: G-901. the G-901 series: G-901. the G-901 series: G-901. the G-901 series: G-901. R519. R519. R519. R519. Recommended controllers Flexible integration with Flexible integration with Flexible integration with Flexible integration with / drivers compact modules: ACS compact modules: ACS compact modules: ACS compact modules: ACS SPiiPlusEC and UDMpm. SPiiPlusEC and UDMpm. SPiiPlusEC and UDMpm. SPiiPlusEC and UDMpm. Also compatible with Also compatible with Also compatible with Also compatible with other third-party control- other third-party control- other third-party control- other third-party control- lers and servo drivers. lers and servo drivers. lers and servo drivers. lers and servo drivers. Operating temperature range °C 5 to 40 5 to 40 5 to 40 5 to 40 ___ Drawings / Images Lifetime and load limit of the V-817.xx6211E0 depending on the load mass and the distance of the center of gravity of the load from the center of the slider Page 3 02.03.2022 WWW.PI.WS

Drawings / Images V-817, dimensions in mm Order Information V-817.096211E0 High-load linear stage; ironless 3-phase linear motor; 204 mm travel range; 600 N load capacity; 3000 mm/s maximum velocity; incremental linear encoder, 20 µm sensor signal period, sin/cos, 1 V peak-peak V-817.176211E0 High-load linear stage; ironless 3-phase linear motor; 407 mm travel range; 600 N load capacity; 3000 mm/s maximum velocity; incremental linear encoder, 20 µm sensor signal period, sin/cos, 1 V peak-peak Page 4 02.03.2022 WWW.PI.WS

Order Information V-817.256211E0 High-load linear stage; ironless 3-phase linear motor; 610 mm travel range; 600 N load capacity; 3000 mm/s maximum velocity; incremental linear encoder, 20 µm sensor signal period, sin/cos, 1 V peak-peak V-817.336211E0 High-load linear stage; ironless 3-phase linear motor; 813 mm travel range; 600 N load capacity; 3000 mm/s maximum velocity; incremental linear encoder, 20 µm sensor signal period, sin/cos, 1 V peak-peak Page 5 02.03.2022 WWW.PI.WS