PIFOC 高荷重対物レンズスキャナー P-726

PIFOC重量物用対物スキャナー ロングトラベルレンジの重量物用ハイダイナミクススキャニングシステム P-726  大きな対象物用のハイダイナミクスポ ジショニングおよびスキャニング  共振周波数 1120 Hz、210 gの対象物は560 Hz  ステップ＆整定は約6 ms (設計値)  移動範囲 100μm  静電容量センサーによる最高の直線性 、安定性、制御ダイナミクス  分解能 0.3nm  ゼロ点調整、高精度フレクシャガイド システム優れた焦点の安定性 応用分野  高分解能顕微鏡  ライトディスク顕微鏡  走査型顕微鏡  3Dイメージング  スクリーニング  干渉計  計測技術  オートフォーカスシステム  バイオテクノロジー  半導体検査 ピエゾアクチュエータによる優れた寿命 特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による 湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を 提供。1000億回のサイクルが実証されています。 静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。 優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅（kHz）を保証します ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、 衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します 24.10.2018

自動構成と高速コンポーネント交換 メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。 すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub- DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る 度このデータを使用します。 ダイレクト計測による最大精度 モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定され ます。 これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。 仕様 P-726.1CD 単位 公差 駆動軸 Z 動作および位置決め 内蔵センサー 静電容量/直接測定 トラベルレンジ（クローズドループ時） 100 µm 分解能（クローズドループ時） 0.4 nm 標準 分解能（オープンループ時） 0.3 nm 標準 リニアリティエラー(クローズドループ時 0.02 % 標準 ） 再現性 ±3 nm 標準 チルトθX,θY ±5 µrad 標準 クロストークX、Y 50 nm 標準 機械特性 動作方向の剛性 3.4 N/µm ±20 % 無負荷時共振周波数 1120 Hz ±20 % 共振周波数@210g時 560 Hz ±20 % 共振周波数@310g時 480 Hz ±20 % 動作方向でのプッシュ/プルフォース 100 / 50 N 最大 負荷容量 20 N 最大 駆動特性 ピエゾセラミックタイプ PICMA P-885 静電容量 6 µF ±20 % その他 動作温度範囲 -20～80 °C 材料 アルミニウム、鉄 対物スレッド M32 最大 質量 575 g ±5 % ケーブル長さ 1.5 m ±10 mm センサー/ボルト接続 D-sub7W2(m) 推奨コントローラ E-505, E-621, E-625, E-665, E-709, E-754 PI社圧電ナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。 すべての仕様は室内温度22℃から±3℃に基づいています。 カスタマイズはお問合せください。 24.10.2018

図面/画像 QuickLockスレッドアダプター搭載のP-726、寸法: mm 荷重時のP-726の整定挙動 24.10.2018

P-726 PIFOC®のP-726 QuickLockアダプターの立体分解図(納入品目に含まれる取り付け部材) 注文情報 P-726.1CD ハイダイナミクス PIFOC ピエゾナノフォーカスシステム、100 µm、静電容量センサー 24.10.2018