LISA高速ピエゾステージ P-753

LISAリニアアクチュエータとステージ ダイナミックで安定した位置決め P-753  同時にガイドされたアクチュエータと ステージ  移動範囲～38 μm  分解能0.1 nm  非磁性バージョンも可能  直接駆動による速応答  静電容量センサーによる高リニアリテ ィ 応用分野  顕微鏡のスキャニング  計測技術  検査と品質保証  フォトニクス  ファイバー調整 ピエゾアクチュエータによる優れた寿命 特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による 湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を 提供。1000億回のサイクルが実証されています。 静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。 優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅（kHz）を保証します ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、 衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します ダイレクト計測による最大精度 モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定され ます。 これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。 01.04.2019

高度な真空アプリケーションに適しています ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。 動作に潤滑油やグリースは不要 ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率 PICMA直接駆動による高剛性とダイナミクス PICMA直接駆動のピエゾナノポジショナーは、機械的な並進を伴わない。これによりピエゾ駆動範囲での最高剛性 とダイナミクスと同様に、応答速度が速くなります。 仕様 P-753.1CD P-753.2CD P-753.3CD 単位 公差 駆動軸 X X X 動作および位置決め 内蔵センサー 静電容量 静電容量 静電容量 トラベルレンジ（クローズドループ時） 15 30 38 µm 分解能（クローズドループ時） 0.1 0.2 0.25 nm 標準 リニアリティエラー(クローズドループ時 0.03 0.03 0.03 % 標準 ） 再現性 ±1 ±2 ±3 nm 標準 ピッチング/ヨーイング ±5 ±7 ±10 µrad 標準 機械特性 動作方向の剛性 45 24 16 N/µm ±20 % 共振周波数(無負荷時) 5.6 3.7 2.9 kHz ±20 % 200 g負荷時の共振周波数 2.5 1.7 1.4 kHz ±20 % 動作方向のプッシュプルフォース容量 100 / 20 100 / 20 100 / 20 N 最大 駆動特性 セラミックタイプ PICMA P-885 PICMA P-885 PICMA P-885 静電容量 1.5 3.1 4.6 µF ±20 % その他 動作温度範囲 -20～80 -20～80 -20～80 °C ステンレススチー ステンレススチー ステンレススチー 材料 ル ル ル 44 mm x 30mm x 62 mmx30 mmx15 m 80 mmx30 mmx15 m 寸法 15mm m m 質量 0.16 0.215 0.26 kg ±5 % ケーブル長さ 1.5 1.5 1.5 m ±10mm センサー/電圧接続 D-sub 7W2(m) D-sub 7W2(m) D-sub 7W2(m) 推奨コントローラ E-625、E-754 E-625、E-754 E-625、E-754 PI社圧電ナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。 LEMOコネクターバージョン対応可能P-753.x1C. -9 真空バージョン 10 hPa ありP-753.xUD. 非磁性バージョン対応可能P-753.xND. すべての仕様は室内温度22℃から±3℃に基づいています。 カスタマイズはお問合せください。 01.04.2019

図面/画像 P-753.1、寸法(mm) M2.5スレット時最大トルク0.3 Nm 01.04.2019

P-753.2、寸法(mm) M2.5スレット時最大トルク0.3 Nm 01.04.2019

P-753.3、寸法(mm)。M2.5スレット時最大トルク0.3 Nm 01.04.2019

注文情報 D-subコネクターバージョン（m） P-753.1CD LISAハイダイナミクスピエゾナノポジショニングシステム、15 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、D- Subコネクター P-753.2CD LISAハイダイナミクスピエゾナノポジショニングシステム、30 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、D- Subコネクター P-753.3CD LISAハイダイナミクスピエゾナノポジショニングシステム、38 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、D- Subコネクター LEMOコネクタ搭載バージョン P-753.11C LISAハイダイナミクスピエゾナノポジショニングシステム、15 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、LEMOコネクター P-753.21C LISAハイダイナミクスピエゾナノポジショニングシステム、30 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、LEMOコネクター P-753.31C LISAハイダイナミクスピエゾナノポジショニングシステム、38 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、LEMOコネクター リニアポジショナー 真空対応（10-9hPa） P-753.1UD LISAハイダイナミクスピエゾナノポジショニングシステム、15 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、D- -9 Subコネクター, 真空対応 10 hPa P-753.2UD LISAハイダイナミクスピエゾナノポジショニングシステム、30 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、D- -9 Subコネクター, 真空対応 10 hPa P-753.3UD LISAハイダイナミクスピエゾナノポジショニングシステム、38 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、D- -9 Subコネクター, 真空対応 10 hPa 01.04.2019