多軸開口付ピエゾステージ P-517~P-527

多軸ピエゾスキャナー ダイレクト計測によるハイダイナミクスナノポジショナー/スキャナー P-517 • P-527  ２軸および３軸バージョン（XY,XYθZ）  トラベルレンジ～200 μm  サブナノメートルの分解能 応用分野  計測  干渉計  フォトニクス/内蔵型光学装置  リソグラフィ  ナノポジショニング  顕微鏡のスキャニング  サンプルアライメント  マイクロ機械加工 ピエゾアクチュエータによる優れた寿命 特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による 湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を 提供。1000億回のサイクルが実証されています。 静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。 優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅（kHz）を保証します ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、 衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します 02.07.2018

自動構成と高速コンポーネント交換 メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。 すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub- DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る 度このデータを使用します。 平行位置測定によるナノメートル範囲の高いトラッキング精度 すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。他軸への望ましくない動作のクロストークは、リアル タイムで（帯域幅に応じて）積極的に補正することができます（アクティブガイド）。ダイナミック操作でも、ナ ノメートルの範囲で高いトラッキング精度が達成可能。 仕様 P-517.2CL P-527.2CL P-517.3CL P-527.3CL P-517.RCD P-527.RCD 単位 公差 P-517.2CD P-527.2CD P-517.3CD P-527.3CD 駆動軸 X、Y X、Y X、Y、Z X、Y、Z X Y θZ X Y θZ 動作および位置決め 内蔵センサー 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 トラベルレンジ(- X,Y:130 μm X,Y:250 μm X,Y:130 μm X,Y:250 μm +20 % / - 20~120 V)オープンル 130 μm 250 μm Z:25 μｍ Z:25 μｍ θZ:±1.3 mrad θZ:±2.5 mrad 0 % ープ時 トラベルレンジ（ク X,Y:100 μm X,Y:200 μm X,Y:100 μm X,Y:200 μm 100 μｍ 200 μｍ ローズドループ時） Z: 20 Z: 20 θZ:±1 mrad θZ:±2 mrad 分解能（オープンル X, Y: 0.3 nm X, Y: 0.5 nm X, Y: 0.3 nm X, Y: 0.5 nm 0.3 nm 0.5 nm 標準 ープ時） Z: 0.1 nm Z: 0.1 nm θZ:0.1 µrad θZ:0.1 µrad 分解能（クローズド X, Y: 1 nm X, Y: 2 nm X, Y: 1 nm X, Y: 2 nm 1 nm 2 nm 標準 ループ時） Z: 0.1 nm Z: 0.1 nm θZ:0.3µrad θZ:0.3µrad リニアリティエラー 0.03 0.03 0.03 0.03 0.03 0.03 % 標準 X, Y: ±5 nm X, Y: ±10 nm X, Y: ±5 nm X, Y: ±10 nm 再現性 ±5 nm ±10 nm 標準 Z: ±1 nm Z: ±1 nm θZ ±0.5 µrad θZ ±1 µrad 機械特性 X、Y:2 X、Y:1 剛性 2 1 2 1 N/µm ±20 % Z: 15 Z: 15 X、Y:450 X、Y:350 X、Y:450 X、Y:350 無負荷時共振周波数 450 350 Hz ±20 % Z: 1100 Z: 1100 θZ:400 θZ:300 共振周波数@500 g(X, 250 190 250 190 250 190 Hz ±20 % Y) 共振周波数@2500 g( 140 110 140 110 140 110 Hz ±20 % X,Y) 負荷容量 5 5 5 5 5 5 kg 最大 駆動特性 PICMAPICMA PICMAPICMA PICMAPICMA PICMAPICMA PICMAPICMA ピエゾセラミック PICMAP-885 P-885 P-885 P-885 P-885 P-885 X,Y:9 X,Y:9 静電容量 9.2 9.2 9 9 µF ±20 % Z: 6 Z: 6 その他 動作温度範囲 -20～80 -20～80 -20～80 -20～80 -20～80 -20～80 °C アルミニウ アルミニウ アルミニウ アルミニウ アルミニウ アルミニウ 材料 ム ム ム ム ム ム 質量 1.4 1.4 1.45 1.45 1.4 1.4 kg ±5 % 02.07.2018

P-517.2CL P-527.2CL P-517.3CL P-527.3CL P-517.RCD P-527.RCD 単位 公差 P-517.2CD P-527.2CD P-517.3CD P-527.3CD CLバージョ CLバージョ CLバージョ CLバージョ ン: LEMO ン: LEMO ン: LEMO ン: LEMO センサー/ボルト接 D- D- CDバージョ CDバージョ CDバージョ CDバージョ 続 sub25W3(m) sub25W3(m) ン：D-sub ン：D-sub ン：D-sub ン：D-sub 25W3(m) 25W3(m) 25W3(m) 25W3(m) E-503, E-505, E-503, E-505, E-503, E-505, E-503, E-505, E-503, E-505, E-503, E-505, 推奨コントローラ E-621,E-712 , E-621,E-712 , E-621,E-712 , E-621,E-712 , E-621,E-712 , E-621,E-712 , E-727 E-727 E-727 E-727 E-727 E-727 * 水平設置時（固定時）. PI社圧電ナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。 すべての仕様は室内温度22℃から±3℃に基づいています。 カスタマイズはお問合せください。 02.07.2018

図面/画像 P-517 • P-527寸法: mm 02.07.2018

注文情報 P-517.2CL 精密XYナノポジショニングシステム,100 μmx100μm,capacitive sensors,並列計測,LEMOコネクター P-517.2CD 精密XYナノポジショニングシステム,100 μmx100μm,capacitive sensors,並列計測,D-Subコネクタ P-527.2CL 精密XYナノポジショニングシステム 200 μmx200 μm,capacitive sensors,並列計測,LEMOコネクター P-527.2CD 精密XYナノポジショニングシステム 200 μmx200 μm,capacitive sensors,並列計測,D-Subコネクタ P-517.3CL 精密XYZナノポジショニングシステム 100 μmx100 μmx20 μm capacitive sensors 並列計測 LEMOコネクター P-517.3CD 精密XYZナノポジショニングシステム 100 μmx100 μmx20 μm capacitive sensors 並列計測 D-Subコネクタ P-527.3CL 精密XYZナノポジショニングシステム 200 μmx200 μmx20 μm capacitive sensors 並列計測 LEMOコネクター P-527.3CD 精密XYZナノポジショニングシステム 200 μmx200 μmx20 μm capacitive sensors 並列計測 D-Subコネクタ P-517.RCD 精密XY/回転ナノポジショニングシステム,100 μmx100 μm,2 mrad capacitive sensors 並列計測 D-Subコネクタ P-527.RCD 精密XY/回転ナノポジショニングシステム,200 μmx200 μm,4 mrad capacitive sensors 並列計測 D-Subコネクタ 02.07.2018