Q&Aで簡単解説　高精度位置決め用ヘキサポッドステージのきほん

Q&A で簡単解説！ 高精度位置決め用 ヘキサポッドステージ のきほん ピーアイ・ジャパン株式会社

Q&A Q：ヘキサポッドステージってどういう意味？ A：ヘキサポッドは、6 本の脚をもつ生き物を意味します（昆虫など）。 ステージは、6 本の脚で天板を支え動作する、スチュワートプラットフォーム 機構になっています。 Q：動作できるストロークや軸は？ A：6 本の脚が 1 枚の天板を支え、伸び縮みすることで 6 軸の動作がで きます。ストロークは製品に寄りますが、±17mm や±6°などで、水平 の X、Y 軸。上下の Z 軸、そして各軸の回転θx 軸(Tip)、θy 軸 (Tilt)、θz 軸(Rot)です。 Q：天板を動かすアクチュエータは何を使っているの？ A：ブラシレス DC モータが多く、ボイスコイルモータやステッピングモータもあります。まれですが、 ピエゾアクチューエータも使われます。 Q：位置決めということは、位置決めセンサーが使われているの？ A：各足の中に、サブミクロンの高分解能を持つインクリメンタルやアブソリュートエンコーダが入っ ており、1 本の足の伸び量を高精度に制御・動作させています。 Q：6 本の脚で 1 枚の天板を動かしているけど、ぎくしゃくしないの？ A：底板と天板の接続には、カルダンジョイントが多く使われ、スムーズな 動作が可能です。また専用コントローラにより、ターゲット位置への移 動は、最短距離になるよう、全足は同時にスタートし、同時に止まる よう演算処理されるため、正確で滑らかです。

Q：1 軸ステージを積み重ねたタイプとは何が違うの？ A：いくつか違いはありますが、主に、動作する 1 枚の天板を 6 本脚で 支えているので剛性が強く、累積誤差が発生しません。 また最大のメリットは、回転中心を任意の位置に自由設定で き、PC にて簡単に変更することができます。 Ｑ：6 本脚を制御するのは、プログラムなど難しいのでは？ A：専用コントローラと GUI ソフトウェアがあり、PC からの指令値は、 動かしたい軸（単複軸問わず）と、各動作量を入力し送信する だけで、あとはコントローラが各足の制御を高速処理するので簡単 です。 Q：天板が 6 軸動くイメージができないのですが、いい方法はありますか？ A：シミュレーションソフトウェアがあります。事前にヘキサポッドの動き がわかるので、荷重調整やジグ設計などに役立ちます。回転中 心設定後の動作、動作範囲、重心位置や設置向きなど見るこ とができます。 Q：ヘキサポッドはどういうところに使われているの？ A：基礎研究だけではなく、光学系（光ファイバー、非球面レンズ等）、半導体関係、天体観 測や航空宇宙、手振れ補正向けの加振機、姿勢制御など、検査・計測・精密組立・スキャ ニングなど様々な分野に使われています。回転中心を任意の位置に変更する機能をフル活 用されています。

弊社のドイツ本社：Physik Instrumente 社（略称 PI 社）は、ヘキサポッド位置決めステージ を 40 年前から開発し、製造、販売をしております。 ＜お問い合わせ先＞ ピーアイ・ジャパン株式会社 044-280-7676 info@pi-japan.jp 212-0013 神奈川県川崎市幸区堀川町 580 番地 ソリッドスクエア西館 17F www.pi-japan.jp ドイツ本社：Physik Instrumente 社（略称 PI 社） 1970 年：ドイツ カールスルーへにて創業 50 年以上にわたり精密位置決め製品に特化したモノづくり 世界従業員：1,500 名以上、グループ子会社：16 社 ピエゾを用いた位置決め製品のマーケットリーダー 2023.10.1_BROJP_HEXA Q&A ￥￥￥￥￥