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簡易型DCスパッタ装置 VSE-150DR 製品案内

製品カタログ

ロータリーポンプを主排気系とし、ターゲット材及びサンプルをセットするだけで、容易にスパッタリングを行えます。真空チャンバーにはガラスを採用しており、チャンバー内の状態を容易に観察することができます。本装置は、DCスパッタリング、DCエッチング及びACエッチング機能を有しています。また、タイマー機能を使うことにより行程を自動で行うことができるため、作業者の負担がありません。操作部は、手動により容易に行えるよう設計されているため、操作ミスが軽減されています。卓上型のコンパクト設計により取り扱いが簡単で、持ち運びが容易にできます。

このカタログについて

ドキュメント名 簡易型DCスパッタ装置 VSE-150DR 製品案内
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 176.8Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 有限会社バックフィールド (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログ(簡易型DCスパッタ装置 VSE-150DR 製品案内)の内容


Page 1:VSE-150DR 簡易型DCスパッタ装置当社製の簡易型DCスパッタ装置(VSE-150DR)は、ロータリーポンプを主排気系とし、ターゲット材及びサンプルをセットするだけで、容易にスパッタリングを行えます。真空チャンバーにはガラスを採用しており、チャンバー内の状態を容易に観察することができます。本装置は、DCスパッタリング、DCエッチング及びACエッチング機能を有しています。また、タイマー機能を使うことにより行程を自動で行うことができるため、作業者の負担がありません。操作部は、手動により容易に行えるよう設計されているため、操作ミスが軽減されています。卓上型のコンパクト設計により取り扱いが簡単で、持ち運びが容易にできます。<性能>1)真空チャンバー φ 140×H110mm2)ターゲットサイズ φ 50mm3)サンプルホルダー φ 60mm(水冷機能付き)4)電極間距離 40mm5)到達真空度 5×10-1Pa6)DC/AC電圧 0~2000V(連続可変)7)電流 20mA(電流計表示)8)真空計 ピラニー真空計9)サイズ W400×D250×H350mm10)ターマー 手動設定11)ガス導入 ニードルバルブ及びガス導入ポート(Rc1/8)付き12)サンプル台 水冷機能付き13)信号線導入 真空導入コネクター(オプション)14)サンプル劈開 サンプル劈開用ロッド(オプション)営業品目・極低温装置及び関連製品・超高真空装置及び関連部品・薄膜作成装置各種及び部品・真空用各種ユニット及び部品VAC FIELD 有限会社バックフィールド〒187-0013東京都小平市回田町42番地TEL 042-328-6770 FAX 042-328-6785URL:http://www.vacf.jpe-mail :infom@vacf.jp