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高出力の低圧水銀ランプを使用、O2供給なく、高密度の照度を実現したコンパクトなUVオゾンクリーナー
エレクトロニクス製品の高精細化に適合した、UVエネルギーによる精密でクリーンな乾式洗浄法です。
オゾン分解ユニット付き（オプション）もご選択可能で、
実験室など排気設備の無い場所でも、100Vの電源のみで気軽にご使用できます。
【主な用途】
◆高精細部品接着前処理
◆ワーク表面の有機汚染物質を高効率に分解除去
◆各種エレクトロニクス部品の歩止まり向上
◆強い光エネルギーによる表面改質（接着前処理による難接着材料を易接着性に改質）
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このカタログについて
| ドキュメント名 | UVオゾン洗浄表面改質装置 ASM401n |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.3Mb |
| 関連製品 | |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社あすみ技研 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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uv_ASM401N_3.01_omote_ol
エレクトロニクス製品の高精細化に適合した､
∪∨エネルギーによる精密でクリ.一ンな乾式洗浄法です｡
低圧水銀ランプより発する短波長の光エネルギー184.9nm､253.7nmはポテンシャルが高く､
高精細基板製造過程で生じた有機汚染物質の結合を分解する強いエネルギーを持っています｡
同時に基盤表面上で紫外線ランプとエアーから生じたオゾンにより酸化反応がおこり､
有機汚染物質は揮発性の二酸化炭素や水分となり飛散することで､基盤表面がクリ.一ンになります｡
◆コンパクトな箱型設計
◆高出力長寿命型低圧水銀ランプを採用 ステンレス(SUS304)､SS
◆スピーディな処理が可能 本体W200×L210×H265(mm)
◆熱処理と違いワークへの熟弊害も軽減 (取手､排気口寸法含まず)
◆取扱いと設置も簡単 10mW/cri以上(照射距離10mm)
40W
◆紫外線安全対策機能付き
10-50(mm)
*10mm単位の調整が可能です｡
50×50(mm)
100×100(mm)
･ランプ点滅による電極消耗防止
･照射時間表示
<主な用途> ･タイマーによる照射時間の制御
･安全機能 ※扉開時のランプ消灯
◇高精細部品接着前処理 ･ランプ切れ検知
◇ワーク表面の有機汚染物質を高効率に分解除去 ･オゾン排気ファン付き
◇各種エレクトロニクス部品の歩止まり向上
◇強い光エネルギーによる表面改質
(接着前処理により難接着材料を易接着性に改質)
ノ
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uv_ASM401N_3.01_ura_ol
<低圧水銀ランプ 分光エネルギー分布>
160 200 240 280 320 360 400 440 480
紫くU外V線洗に浄よのっ仕て組発み生ラしンたプオw)aゾveleンngかth(らnm) くUV表面改質の仕組み)
染物と化学的に結合し､二酸化炭素分離した活性酸素(0)は有機汚 紫外線によって形成された活性酸素は.基板表面に衝突して表面層
反応させて除去します｡ や水などの揮発性物質に分解 の能分塞子(O鎖H(.ぶCんHOし.さC)OをO切H断なしど､)切を断生さ成れしたま分す子｡ことれ反ら応のし官て能新基たなは親宮
水性が高く､塗料･接着剤･コーティング材等との相性が良い為､密着
力を飛躍的に改善･向上させる結果を生み出
○特高殊照形度状､高の均低一圧水紫銀外ラ線ン照プ射を採用することで､高い照度を実現｡ します｡
○正確なデータ取りが可能 照度均一度は±10%を確保しました｡
ランプから試料ステージまでの照射距離を10mm刻みで設定出来､
○紫安外全線なが環外境部をに確保 最適な照度で実験が行えます｡