コントロールアングルバルブ　SERIES 62.0

VAT GROUP AG SERIES 62.0 コントロールアングル バルブ PASSION. PRECISION. PURITY. 縦型炉を使用するLPCVD、ALD等の高温、高圧での 圧力制御および真空封止用バルブ。 ‒ 自動学習機能 ‒ 簡易メンテナンス ‒ 閉時間1秒 ‒ 200° Cまでベーク可能（任意） ‒ 短い制御応答時間 ‒ EtherCAT 技術データ 20°Cでのリーク率 < 1 x 10E-9 mbar l/s 20°Cでの圧力範囲 最小: 1 x 10E-8 mbar 最大: 1.2 bar (abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 最大: 1.1 bar サイズ 第1回サービスまでのサイクル数 DN 50 DN 100 DN 50 mm (2”) 圧力制御 2 百万 百万 DN 100 mm (4”) 閉/開 百万 200,000 アクチュエーター ステッピングモーター クローズドループ制御 温度 バルブボディ, プレート, ベローズ 150°C フィードスルー ベローズ 周囲温度 ≤ 50°C 標準フランジ DN 50 ISO-KF 材料 DN 100 ISO-K バルブボディ (ニッケルも可), プレート AISI 316L (1.4404 or 1.4435) その他フランジ径 ベローズ AISI 316Ti (1.4571)DN 40, DN 80

SERIES 62.0 コントロールアングルバルブ VAT GROUP AG 技術データ (続き) シール: ボンネット、プレート Viton 軸シール ベローズ 取付け方向 自由 インターフェイス RS232, RS485, DN 50 DN 100 Logic, DeviceNet, EtherCAT コントローラー 搭載型 別置き型 制御可能な最小コンダクタンス 0.1 ls-1 0.2 ls-1ヒーター DN 100, 200°C 最大ストローク 14.5 mm 30 mm a) 断熱カバー 最少閉時間 ≤ 1.2 s ≤ 1 s ベローズヒーター付き b) 断熱カバー 圧力制御時の閉時間 ≤ 1.8 s ≤ 2.5 s ベローズヒーターなし 開時間 ≤ 1.8 s ≤ 2.5 s DN 50 (2") DN 100 (4") A P D O Q A P D O Q mm 70 91 50 280 30 mm 120 148 102 285 110 inch 2.76 3.58 2 11 1.18 inch 4.72 5.83 4.02 11.2 4.3 N D1 B1 S N mm 141 52.2 74.9 91 mm 95 inch 5.55 2.06 2.95 3.58 inch 3.75 WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 VAT Vakuumventile AG 〒221-0056 (Headquarter) 神奈川県横浜市神奈川区 Seelistraße 1 金港町2番地6 横浜プラザビル7F 9469 Haag Switzerland Tel: +81 45 440 03 40 Tel.: + 41 81 771 61 61