振子式バルブコントロールシステム　SERIES 65.0

SERIES 65.0 振子式バルブコントロールシステム SEMI、FPDプロセスのダウンストリーム圧力制御 および真空封止用バルブ。 特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適。 特長 サイズ DN 100 – 400 mm (4“ – 16“) アクチュエータ 搭載型コントローラ ボディ材質 アルミニウム：表面処理なしまたは 硬質アルマイト加工 軸シール 回転軸シール 標準フランジ ISO-F, JIS 技術データ リーク量1)　バルブボディ： アルミニウム < 1 × 10-9 mbar ls-1 – 高 速、 パーティクルフリー、 アルミニウム、 < 1 × 10-5 mbar ls-1 ショックフリーな動作 硬質アルマイト加工 – 極 めて短い制御応答時間 リーク量1)　バルブシート： アルミニウム < 1 × 10-9 mbar ls-1アルミニウム、 < 1 × 10-4 mbar ls-1 – サ ービスポート装備 硬質アルマイト加工 （PC 接続用またはサービス 使用圧力範囲1) アルミニウム < 1 × 10-8 mbar BOX2 接続用） ～1.2 bar (abs)アルミニウム、 < 1 × 10-6 mbar 硬質アルマイト加工 ～1.2 bar (abs) 第1回サービスまでのサイク 圧力制御 百万回 ル数2) 閉/開 200 000 軸シール アクチュエータ 回転軸シール シーリングリング Oリング軸シール 許容温度 2) バルブボディ ≤ 120 °C 周囲温度 ≤ 50 °C 材質 バルブボディ、 プレート EN AW-6082 (3.2315) シーリングリング EN AW-6082 (3.2315), AISI 305 (1.4303), AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568) その他の部材 AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122), 1) バルブの加熱なしの条件下で。 AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), 2) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により AISI 304 (1.4301) 変わる。 SERIES 65.0 振子式バルブコントロールシステム

SERIES 65.0 振子式バルブコントロールシステム オプション オプションによっては適用できないバル シール ブ口径があります。また、組み合わせて ボンネット、プレート、ボディ、 FKM (Viton®) の適用が出来ないものがあります。更に、 軸シール オプション適用により技術データの数値 に変更を生じることがあります。 アクチュエータ 取付け方向 －ア クチュエータ取付け位置 B2 DN 100 – 250 自由3) － PID パラメータ設定可能な コントローラ DN 320 – 400 水平取付けのみ3) ( 適応型制御、アップストリーム制御、 ダウンストリーム制御、ソフト排気 3) バルブシートをチャンバー側に取付けを推奨。 制御） － 2 つのアナログ出力を持つ RS232 インターフェイス バルブ － 標準外のバルブサイズ 　例：DN 80 Functional principle －他 のフランジ型式　例：ASA-LP － お客様指定のフランジ 　例 ：チャンバー直付け用の 角型フランジ －表 面処理　例：ニッケルメッキ 10 2 1 3 a 3 b 8 5 4 6 － 標準以外のシール材料 － K F ポート付きのボディ －ヒ ーター（断熱カバー付き）、 バルブ加熱温度 120°C まで。 ( ご要望により 200°C までの加熱） －圧 力コントローラ別置き 9 1 Plate 2 Sealing ring 7 3 a Plate seal 3 b Body seal 4 Bonnet seal 5 Actuator shaft 6 Actuator 7 Controller 8 Shaft feedthrough seal 9 Rotary feedthrough seal 10 Piston ring seal バルブ側シート 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com