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小形流量センサ ラピフロー(R)FSM3シリーズ (樹脂ボディタイプ)

製品カタログ

多様に 高性能に 使いやすく IO-LINK対応

◆多様に
1台で5種類のガスを測定可能
ガス種切替機能(LCD表示タイプ、IO-Linkタイプ)(フルスケール流量200L/min以下のモデル)
空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(混合比Ar:CO(2 8:2)を1台の流量センサで対応可能。
◆高性能に
圧力損失の低減、高精度・高応答、双方向での流体計測が可能、クリーン仕様
◆使いやすい
IO-Linkは工場現場のセンサ・アクチュエータ用デジタル通信規格です。(IEC61131-9)

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このカタログについて

ドキュメント名 小形流量センサ ラピフロー(R)FSM3シリーズ (樹脂ボディタイプ)
ドキュメント種別 製品カタログ
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取り扱い企業 CKD株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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New Products 新商品 小形流量センサ ラピフロー® FSM3シリーズ (樹脂ボディタイプ) COMPACT FLOW SENSOR RAPIFLOW® FSM3 SERIES Dive多rs様ifiにed High  P高e性r能foにrmance User -f r使ieいndやlすyく 対応 CC-1235 1
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多様に Diversified 1台で5種類のガスを測定可能 ガス種切替機能( LCD表示タイプ、IO-Linkタイプ()フルスケール流量200L/min以下のモデル) 空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(混合比Ar:CO(2 8:2))を1台の流量センサで対応可能。 本体のボタン操作でガス種の切替ができます。 IO-Link仕様では、上位コントローラから遠隔でガス種変更が可能です。 ※混合比のご希望がありましたら、弊社営業担当者までお問い合わせください。 本体のボタン操作で ガス種 切替 空気 窒素 アルゴン 炭酸ガス 混合ガス (アルゴン+炭酸ガス) 高性能に High Performance 圧力損失の低減 流路再設計により最大50%低減 高精度・高応答 繰返精度:±1%F.S.以内 MEMS 表示精度:±3%F.S.以内 応答時間:50msec MEMSとはMicro Electro Mechanical Systemsの略で半導体集積回路の製造に用 いられる微細加工技術を応用した超小型デバイスの事です。 双方向での流体計測が可能 タクトタイムの短縮に貢献 クリーン仕様 流れ方向を任意に測定できます。 発塵防止包装(P70)、禁油仕様(P80)を標準でライン アップ 装置のグレードに合わせた使い分けが可能です。 順方向 双方向 逆方向
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多様に  IO-Linkモデル登場 IO-Linkは工場現場のセンサ・アクチュエータ用デジタル通信規格です。(IEC61131-9) アナログ通信では伝送できなかったパラメータやイベントデータを伝送することが可能です。 IO-Linkの特長 クラウド デジタル信号 デジタルデータによる常時監視が可能です。 パラメータ遠隔操作 工場 パラメータをネットワークから設定、 変更できるため、装置の遠隔操作が可能です。 Ethernet 筐体識別 形番、シリアルNo.などがネットワーク上で PLC 確認できます。 プラグ&プレイ マスターから設定コピーができるため、 筐体識別 常時監視 メンテナンス時の煩わしいパラメータ再設定が 生産 パラメータ変更 アラーム通知 不要です。 現場 異常通知 デバイスの故障、断線を確認できます。 I/O フィールドバスへの接続 イーサネット系ネットワークにも変換して 接続することができ、装置のIoT化が可能です。 使いやすく User-friendly 回転表示できる液晶ディスプレイ 豊富な継手バリエーション 表示の上下反転が可能 ワンタッチ式とねじ込み式をラインアップ ワンタッチ式 ワンタッチ式 ねじ込み式 ねじ込み式 エルボ ストレート エルボ ストレート かんたん取付け(オプション) 省スペース DINレール取付け パネルマウント 取付ブラケット 2ポート弁直結可能 片手で脱着可能です。 エルボ継手との併用で配管 EXAは別売りです。 作業が楽になります。
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ソリューション事例 漏れ検査 飲料水用容器に気体を充填し、漏れの有無 デジタル圧力センサ を検出します。 フィルタユニット デジタル圧力センサ フィルタユニット 2ポート電磁弁 小形流量センサ 小形流量センサ FSM3 2ポート電磁弁 エア消費量の管理 エア機器を使用する設備のエア消費量を モニタします。 デジタル圧力センサ フィルタユニット デジタル圧力センサ 小形流量センサ フィルタユニット 小形流量センサ FSM3 塗装エアの流量管理 塗装吹き付け時のエア圧力を電空レギュ レータにより可変し流量を制御します。 フィルタユニット 電空レギュレータ 小形流量センサ FSM3 小形流量センサ 電空レギュレータ フィルタユニット 3
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ソリューション事例 COMPACT FLOW SENSOR RAPIFLOW® FSM3 SERIES 電子部品の吸着確認 電子部品の吸着状態および未吸着状態 を流量により検出します。 インラインフィルタ 小形流量センサ FSM3 フィルタユニット 真空エジェクタユニット デジタル圧力センサ デジタル圧力センサ 小形流量センサ インラインフィルタ 真空エジェクタユニット フィルタユニット アーク溶接 アルゴン、混合ガス(アルゴン+炭酸ガス) などのシールドガスの流量管理をします。 小形流量センサ ロータリクランプシリンダ ガイド付シリンダ FSM3 コネクタ付シリンダスイッチ 小形流量センサ 電子部品の実装 電子部品を実装する金線のテンションを コントロールします。 デジタル圧力センサ インライン形クリーンフィルタ デジタル圧力センサ 小形流量センサ FSM3 インライン形クリーンフィルタ 小形流量センサ 4
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体系表 小形流量センサ ラピフロー FSM3シリーズ 流量 EXA クリーン仕様 最大流量(L/min)外 観 適応流体 接続口径 記載調整弁 連結継手 P70 P80 0.5 1 2 5 10 20 50 100 200 500 1000 ページ LCD表示タイプ ● ● ● φ4 ● ● ● ● ● ● ● ● ● φ6 ● ● ● ● ● ● ● ● ● φ8 ● ● ● ● ● φ10 ● ● ● ● φ1/4” ● ● ● ● ● ● ● ● ● φ3/8” ● ● ● ● ● Rc1/8 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● Rc1/4 ● ● ● 1 ● ● Rc1/2 ● ● ● ● ● NPT1/8 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● NPT1/4 ● ● ● ● ● NPT1/2 ● ● ● ● ● G1/8 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● G1/4 ● ● ● ● ● G1/2 ● ● バー表示タイプ ● ● φ4 ● ● ● ● ● ● ● ● φ6 ● ● ● ● ● ● ● ● φ8 ● ● ● ● φ10 ● ● ● φ1/4” ● ● ● ● ● ● ● ● φ3/8” ● ● ● ● Rc1/8 ● ● ● ● ● ● ● 空気 ● ● ● Rc1/4 ● ● ● 7 窒素 ● ● Rc1/2 ● ● ● ● NPT1/8 ● ● ● ● ● ● ● ● ● NPT1/4 ● ● ● ● ● NPT1/2 ● ● ● ● G1/8 ● ● ● ● ● ● ● ● ● G1/4 ● ● ● ● ● G1/2 ● ● IO-Linkタイプ ● ● φ4 ● ● ● ● ● ● ● ● φ6 ● ● ● ● ● ● ● ● φ8 ● ● ● ● φ10 ● ● ● φ1/4” ● ● ● ● ● ● ● ● φ3/8” ● ● ● ● Rc1/8 ● ● ● ● ● ● ● ● ● Rc1/4 ● ● ● 13 ● ● Rc1/2 ● ● ● ● NPT1/8 ● ● ● ● ● ● ● ● ● NPT1/4 ● ● ● ● ● NPT1/2 ● ● ● ● G1/8 ● ● ● ● ● ● ● ● ● G1/4 ● ● ● ● ● G1/2 ● ● 巻頭1
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流量 EXA クリーン仕様 最大流量(L/min)外 観 適応流体 記載 L調整弁 連結継手 接続口径P70 P80 0.5 1 2 5 10 20 50 100 200 500 1000 ページ C D LCD表示タイプ ● ● ● φ4 ● ● ● ● ● ● 表 ● ● ● φ6 ● ● ● ● ● ● ● 示 ● ● φ8 ● ● ● ● ● φ10 ● ● バー ● ● φ1/4” ● ● ● ● ● ● ● 表示 ● ● φ3/8” ● ● ● ● ● Rc1/8 ● ● ● ● ● ● ● I ● ● ● ● Rc1/4 ● ● ● 1 O― L ● ● Rc1/2 ● ● i n ● ● ● NPT1/8 ● ● ● ● ● ● ● k ● ● ● NPT1/4 ● ● ● 内 ● ● NPT1/2 ● ● 部 構 ● ● ● G1/8 ● ● ● ● ● ● ● 造 ● ● ● G1/4 ● ● ● 図 ● ● G1/2 ● ● 分 バー表示タイプ ● ● φ4 ● ● ● ● ● ● 離表 ● ● φ6 ● ● ● ● ● ● ● 示 ● φ8 ● ● ● 器 ● φ10 ● ● ● φ1/4” ● ● ● ● ● ● ● 技術 ● φ3/8” ● ● 資 料 ● ● Rc1/8 ● ● ● ● ● ● ● 空気 ● ● ● Rc1/4 ● ● ● 7 窒素 ● ● Rc1/2 ● ● 操作 ● ● NPT1/8 ● ● ● ● ● ● ● 方 法 ● ● NPT1/4 ● ● ● ● ● NPT1/2 ● ● オ ● ● G1/8 ● ● ● ● ● ● ● プシ ● ● G1/4 ● ● ● ョン ● ● G1/2 ● ● 品 IO-Linkタイプ ● ● φ4 ● ● ● ● ● ● ● ● φ6 ● ● ● ● ● ● ● 注使意用 ● φ8 ● ● ● 事上 項の ● φ10 ● ● ● φ1/4” ● ● ● ● ● ● ● ● φ3/8” ● ● 関連 ● ● Rc1/8 ● ● ● ● ● ● ● 商 品 ● ● Rc1/4 ● ● ● 13 ● ● Rc1/2 ● ● ● ● NPT1/8 ● ● ● ● ● ● ● ● ● NPT1/4 ● ● ● ● ● NPT1/2 ● ● ● ● G1/8 ● ● ● ● ● ● ● ● ● G1/4 ● ● ● ● ● G1/2 ● ● 巻頭2
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小形流量センサ ラピフロー FSM3 Series L LCD表示タイプ C D ●樹脂ボディタイプ(流量レンジ:500mL/min~1000L/min) 表 示 バ ー 表 示 LCD表示タイプ仕様 FSM3-[ イ ][ ロ ][ ハ ][ ニ ][ ホ ][ ヘ ][ ト ][ チ ][ リ ]-[  ] I O 項 目 [ロ] ― L 005 010 020 050 100 200 500 101 201 501 102 i n U 片方向 k 流れ方向 [ハ] B 双方向 内 測定流量 U 15 30 0.06 0.15 0.30 0.6 1.5 3.0 6 15 30 部 レンジ [ハ] 〜500mL 〜1000mL 〜2.00L 〜5.00L 〜10.00L 〜20.0L 〜50.0L 〜100.0L 〜200L 〜500L 〜1000L構 (□/min) B -500〜-15、 -1000〜-30、 -2.00〜-0.06、 -5.00〜-0.15、 -10.00〜-0.30、 -20.0〜-0.6、 -50.0〜-1.5、 -100.0〜-3.0、 -200〜-6、 -500〜-15、-1000〜-30、造 注1 図 15〜500mL 30〜1000mL 0.06〜2.00L 0.15〜5.00L 0.30〜10.00L 0.6〜20.0L 1.5〜50.0L 3.0〜100.0L 6〜200L 15〜500L 30〜1000L 表示の種類 4桁+4桁 2色LCD 分 流量表示範囲 U -49〜 -99〜 -0.19〜 -0.49〜 -0.99〜 -1.9〜 -4.9〜 -9.9〜 -19〜 -49〜 -99〜 離 (□/min) [ハ] 549mL 1099mL 2.19L 5.49L 10.99L 21.9L 54.9L 109.9L 219L 549L 1099L表 注2 B -549〜 -1099〜 -2.19〜 -5.49〜 -10.99〜 -21.9〜 -54.9〜 -109.9〜 -219〜 -549〜 -1099〜示 549mL 1099mL 2.19L 5.49L 10.99L 21.9L 54.9L 109.9L 219L 549L 1099L 器 表示範囲 0〜±9999999mL 0.00〜±99999.99L 0.0〜±999999.9L 0〜±9999999L 積算表示 注3 パルス出力 技 レート 5mL 10mL 0.02L 0.05L 0.1L 0.2L 0.5L 1L 2L 5L 10L 術 資 適応流体注4 清浄空気(JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜5.6.2)、圧縮空気(JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜1.6.2)、窒素ガス料 使用条件 温度範囲 0〜50℃(結露なきこと) 圧力範囲 -0.07〜0.75MPa 0〜0.75MPa 操 作 耐圧力 1MPa 方 法 使用周囲温度・湿度 0〜50℃、90%RH以下 保存温度 -10〜60℃ オ 精度 注6 ±3%F.S.以内(2次側大気開放)  (保証範囲は「測定流量レンジ」による) プ シ 精度 注5 繰り返し精度注7 ±1%F.S.以内(2次側大気開放)ョ ン (流体:乾燥空気 品 にて) 温度特性 ±0.2%F.S./℃以内  (15〜35℃、25℃基準) 圧力特性 ±5%F.S.以内 (-0.07〜0.75MPa、2次側大気開放基準) ±5%F.S.以内(0〜0.75MPa、0.35MPa基準) 注使 意用 応答時間 注8 50msec 以下(応答時間設定OFF時) 事上 項の A、B、E、F NPNオープンコレクタ出力(50mA以下、電圧降下2.4V以下)スイッチ出力 C、D、G、H PNPオープンコレクタ出力(50mA以下、電圧降下2.4V以下) アナログ出力 A、B、C、D 1-5V電圧出力(接続負荷インピーダンス50kΩ以上) 関 連 注9 [ト] E、F、G、H 4-20mA電流出力(接続負荷インピーダンス0〜300Ω) 商 品 電源電圧 A、B、C、D DC12〜24V(10.8〜26.4V) リップル率1%以下 注10 E、F、G、H DC24V(21.6〜26.4V) リップル率1%以下 消費電流 注11 45mA以下 リード線 φ3.7 AWG26相当×5芯(コネクタ接続)、絶縁体外径φ1.0 保有機能 注12 1 ガス種切り替え、2 設定内容コピー、3 流量積算、4 ピークホールド、他 保護構造 IP40相当(IEC規格) 保護回路 注13 電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護 耐振動 10〜150 Hz、最大100m/s2、XYZ方向、各2時間 EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8 取付姿勢 注14 縦・横自在 取付 直管導入部 注15 不要 1
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FSM3 Series 仕様 L C D 表 示 バ ー 表 示 注1:標準状態(20℃、1気圧(101kPa)、相対湿度65%RH)での体積流量に換算。 (空気以外のガス種では、20℃、1気圧(101kPa)、相対湿度0%RH) I 注2:各流量における表示は以下の様になります。 O ― L 「Lo」表示 「0」表示 測定流量範囲 「Hi」表示 in k 片方向タイプ −10 −1 0 1 3 100% 110% 内 部 構 「Lo」表示 測定流量範囲 「0」表示 測定流量範囲 「Hi」表示 造 図 双方向タイプ −110%−100% −3 −1 0 1 3 100% 110% 分 離 表 注3:積 算流量は計算(参考)値です。積算値保存機能を使用する場合は、保存回数が記憶素子のアクセス回数(限界は100万回)を超えな 示 い様にご注意ください(。各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。) 器 使用時間 保存回数 =     <100万回 5分 技 瞬時流量が1%以下の時は、積算流量としてカウントされません。 術 資 注4: 塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご 料 使用の場合は、JIS B 8392-1:2012 等級1.1.1〜1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレ ン(水、酸化オイル、異物等)が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側(上流)にフィルタ、エアドライヤ (最低圧力露点10℃以下)及びオイルミストフィルタ(最大油分濃度0.1mg/m3)を取り付けてご使用ください。(42ページの推奨 操 回路を参照してください。) 作方 注5:本製品の調整・検査には圧縮空気を使用しております。空気以外のガス種では精度は目安となります。 法 注6:精度は当社の基準流量計を基準としており、絶対精度を示すものではありません。 注7:短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。(詳細は製品仕様書をご確認ください。) オ 注8:実際の応答時間は配管条件によって変わります。応答時間の設定は目安として50msecから1.5secまで選択できます。 プシ 注9: アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくな ョ ります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。 ン品 注10:電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。 注11:DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。 注使 注12: ガス種切替え機能により、アルゴン、炭酸ガス、アルゴン80%+炭酸ガス20%に切替える事ができます。切替後のフルスケール流量、 意用 アナログ出力は以下の様になります。(500L/min、1000L/minモデルはガス種切替え機能がありませんのでご注意ください。) 事上項の ガス種 流れ方向 フルスケール流量 アナログ出力電圧 電流 空気 関 窒素 片方向 0〜100% 連 アルゴン 1〜5V 4〜20mA 商 アルゴン80%+ 品双方向 -100〜100% 炭酸ガス20% 片方向 0〜50% 1〜3V 4〜12mA 炭酸ガス 双方向 -50〜50% 2〜4V 8〜16mA 「コピー機能」の有無は「ト 出力仕様」で選択します。 「コピー機能」有の機種は、「外部入力」機能がありませんのでご注意ください。 注13:本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。 注14:本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。 縦方向に設置すると、対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。 注15: 配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。 500L/min、1000L/minモデルでは、内径9mm以上の配管をご使用ください。9mm以下の場合、精度が悪くなることがあります。 注16:質量については、32ページをご参照ください。 2
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FSM3 Series L 形番表示方法 C D FSM3 L 005 U 1 BH 1 A 1 N B M R P80 記号 内 容 表 イ 表示 示 L 液晶表示 ロ 流量レンジ(フルスケール流量) ロ バ 機種形番 流量レンジ 005 500mL/min 500 50L/min ー  ( フルスケール流量) 010 1L/min 101 100L/min 表 イ 表示 020 2L/min 201 200L/min 示 050 5L/min 501 500L/min 100 10L/min 102 1000L/min I 200 20L/min O ハ ― 流れ方向 L ハ 流れ方向 U 片方向 i n B 双方向 k ニ ボディ材質・適応流体 ニ ボディ材質・適応流体 ボディ材質 適応流体 内 部 1 樹脂 エア(ガス種切替可能) 構 ホ 接続口径 造 ホ 接続口径 BH ワンタッチ(φ4mmチューブ用) AB G1/8 注2 図 CH ワンタッチ(φ6mmチューブ用) BB G1/4 注2 DH ワンタッチ(φ8mmチューブ用) CB G1/2 注2 分 EH ワンタッチ(φ10mmチューブ用) AC NPT1/8 離 HH ワンタッチ(φ1/4インチチューブ用) BC NPT1/4 表 JH ワンタッチ(φ3/8インチチューブ用) CC NPT1/2 示 器 AA Rc1/8BA Rc1/4 CA Rc1/2 技 ヘ 配管方向 術 ヘ 配管方向 資 1 ストレート 料 2 エルボ 注3 ト 出力仕様 〈形番表示例〉 ト 出力仕様 アナログ出力 スイッチ出力 コピー機能 操 作 FSM3-L005U1BH1A1N-BMR-P80 A 1点 1点(NPN) ありB 2点(NPN) − 方 機種名:ラピフローFSM3シリーズ C (電圧出力) 1点(PNP) あり 法 イ 表示 L :液晶表示 D 1-5V 2点(PNP) − ロ 流量レンジ 005:500mL/min E 1点 1点(NPN) あり オ ハ 流れ方向 U :片方向 F 2点(NPN) − プ ニ ボディ材質・適応流体 1 :樹脂・エア G (電流出力)4-20mA 1点(PNP) ありシ ホ 接続口径 BH:ワンタッチョ H 2点(PNP) − ン (φ4mmチューブ用) 品 ヘ 配管方向 1 :ストレート チ 単位仕様 チ 単位仕様 ト 出力仕様 A :アナログ電圧出力X1、 1 SI単位系のみ NPNスイッチ出力X1、 2 単位切替機能付(海外向けのみ) 注4 注使 意用 コピー機能あり リ バルブオプション チ 単位仕様 1 :SI単位系のみ リ バルブ事上 N なし オプション 項の リ バルブオプション N :なし T ニードル弁付(200L以下のモデルのみ) ヌ ケーブル B :5芯3m E EXA接続継手(EXAは別売) 注5、注6 ル 取付アタッチメント M :DINレール取付 ヌ ケーブル 関 ヲ 添付書類 R :検査成績書 ヌ ケーブル 無記号 なし 連 ワ クリーン仕様 P80:禁油処理 A 5芯1m 商 B 5芯3m 品 形番選定にあたっての注意事項 ル 取付アタッチメント 注7、注8ル 取付アタッチ 無記号 なし 注1:選定時には必ず次ページ対応表をご確認ください。 メント H ブラケット1(200L以下モデル用) 注2:選定時にGネジの接続形状を外形寸法図(5ページ)でご確認 J ブラケット2(500L、1000Lモデル用) ください。 K パネル取付(200L以下モデルのセンサ単品用) 注3:エルボ継手を下向きに取付けると、DINレール取付と干渉しま L パネル取付(200L以下モデルのニードル弁付用) すのでご注意ください。 注4:単位切り替え付モデルは国内では販売できません。 M DINレール取付(200L以下モデル用) 注5:専用継手で電磁弁(EXAシリーズ)と連結できます。 ヲ 添付書類 41ページをご参照ください。 ヲ 添付書類 無記号 なし 注6:EXAは必ず本製品のOUT側に設置してください。 R 検査成績書 EXAのコイルオプションはリード線タイプをご使用ください。 S 検査成績書+トレーサビリティ証明書 DIN端子箱タイプは端子箱が干渉するため取付できません。 接続後に必ず抜け、外部漏れがないことをご確認ください。 ワ クリーン仕様 注7:ブラケットは取付位置によってエルボタイプの継手と干渉する ワ クリーン 無記号 なし おそれがありますのでご注意ください。 仕様 P70 発塵防止 注9 注8:オプション部品は製品に添付されます。組付られておりません。 P80 禁油処理 注10 注9:包装前に製品表面を脱脂し、クリーンベンチ(クラス1000以 上)内で、帯電防止袋にヒートシール包装します。 注10:P70仕様に加えて接ガス部を脱脂洗浄します。 3
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FSM3 Series 形番表示方法 流量レンジと接続口径、ニードル弁オプション、EXA連結継手の対応表 L ホ 接続口径  ヘ 配管方向 C BH1 CH1 DH1 EH1 HH1 JH1 BH2 CH2 DH2 EH2 HH2 JH2 AA1 BA1 D表 005 ● ● ● ● ● ● ● 示 010 ● ● ● ● ● ● ● 020 ● ● ● ● ● ● ● バ 050 ● ● ● ● ● ● ● ー表 100 ● ● ● ● ● ● ● 示 200 ● ● ● ● ● ● ● 500 ● ● ● ● ● ● ● ● ★ I O 101 ● ● ● ● ● ● ● ★ ―L 201 ● ● ● ● ● ● ● ★ i n ロ 501 k 流 102 量 レ CA1 AA2 BA2 AB1 BB1 CB1 AB2 BB2 AC1 BC1 CC1 AC2 BC2 内 部 ン 005 ● ● ● ● ● 構 ジ 010 ● ● ● ● ● 造図 020 ● ● ● ● ● 050 ● ● ● ● ● 分 100 ● ● ● ● ● 離表 200 ● ● ● ● ● 示 500 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 器 101 ● ● ● ● ● 201 ● ● ● ● ● 技 術 501 ● ● ● 資 102 ● ● ● 料 ●:接続口径対応    :ニードル弁オプション対応   ★:EXA連結接手対応 操 作 方 法 接続口径とクリーン仕様の対応表 ホ 接続口径  ヘ 配管方向 オプ BH1 CH1 DH1 EH1 HH1 JH1 BH2 CH2 DH2 EH2 HH2 JH2 AA1 BA1 シ 無記号 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ョン ワ P70 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 品 ク リ P80 ● ● ● ● ● ● ー CA1 AA2 BA2 AB1 BB1 CB1 AB2 BB2 AC1 BC1 CC1 AC2 BC2 注使 ン 意用無記号 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 仕 事上 様 P70 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 項 の P80 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 関 連 商 品 4
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FSM3 Series L 外形寸法図(LCD表示タイプ) C D 接続口径:ストレートタイプ φ4mm、φ6mm、φ1/4インチ、Rc1/8、G1/8、NPT1/8 表 ●FSM3−Lロハ1/BH1/CH1/HH1/AA1/AB1/AC1(フルスケール流量:500mL/min,1,2,5,10,20,50L/min) 示 Rc1/8,NPT1/8,G1/8 Gネジ形状 バ G1/8 (10) 2+0.4ー 0 表 示 17 15 55 I O 端面 ― L 14 i 15°の面がシール面となります。 n 端面シールではありませんのでご注意ください。また、 k 継手のネジ深さも合わせてご確認の上ご使用ください。 形 番 継手 (A)寸法 内 2-φ3.4貫通 27 部 FSM3-L□□1BH1 ワンタッチφ4mm (65)(A) 構 FSM3-L□□1CH1 ワンタッチφ6mm (67.2) 造 FSM3-L□□1HH1 ワンタッチ1/4インチ (70.4) 図 FSM3-L□□1AA1 Rc1/8 (75) FSM3-L□□1AB1 G1/8 (87) 分 2-M3深さ5 15.5 離 FSM3-L□□1AC1 NPT1/8 (75) 表 示 接続口径:ストレートタイプ φ8mm、φ10mm、φ3/8インチ、Rc1/4、G1/4、NPT1/4 器 ●FSM3−Lロハ1/DH1/EH1/JH1/BA1/BB1/BC1(フルスケール流量:50,100,200L/min)  ※EXA接続タイプは、2次側(下図右側)が専用アダプタとなります。 技 Rc1/4,NPT1/4,G1/4 Gネジ形状 術 55 (14) 資 17 G1/4 2.5+0.4料 0 操 作 方 法 端面 17 15°の面がシール面となります。 オ 27 端面シールではありませんのでご注意ください。また、プ 2-φ3.4貫通 継手のネジ深さも合わせてご確認の上ご使用ください。 シ (A) ョ 形 番 継手 (A)寸法 ン FSM3-L□□1DH1 ワンタッチφ8mm (70.6) 品 FSM3-L□□1EH1 ワンタッチφ10mm (82.1) FSM3-L□□1JH1 ワンタッチ3/8インチ (83.4) 注使 FSM3-L□□1BA1 Rc1/4 (75) 意用 2-M3深さ5 15.5 事上 FSM3-L□□1BB1 G1/4 (89) 項の FSM3-L□□1BC1 NPT1/4 (75) 接続口径:ストレートタイプ Rc1/2、G1/2、NPT1/2 関 ●FSM3−Lロハ1/CA1/CB1/CC1(フルスケール流量:500、1000L/min) 連 商 17 15 55 品 30 (A) 形 番 継手 (A)寸法 FSM3-L□□1CA1 Rc1/2 (80) FSM3-L□□1CB1 G1/2 (95.4) 2-M3深さ3 30 FSM3-L□□1CC1 NPTG1/2 (80) 5 (30.2) (37.2) (24.2) 15 13 8.5 9.5 3.6 9.5 3.6 37 43 1.5 13 30 1.5 50 1.5 φ15.6+0.10 φ11.6+0.1φ11.7 0 φ8.7 15˚ ˚ 15˚45 45˚
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FSM3 Series 外形寸法図 外形寸法図(LCD表示タイプ) L 接続口径:エルボタイプφ4mm、φ6mm、φ1/4インチ、Rc1/8、G1/8、NPT1/8 CD ●FSM3−Lロハ1/BH2/CH2/HH2/AA2/AB2/AC2(フルスケール流量:500mL/min,1,2,5,10,20,50L/min) 表 示 17 15 55 バ ー 表 形 番 継手 (A)寸法 示 FSM3-L□□1BH2 ワンタッチφ4mm (9.5) FSM3-L□□1CH2 ワンタッチφ6mm (10.6) IO FSM3-L□□1HH2 ワンタッチ1/4インチ (12.2) ― L 27 FSM3-L□□1AA2 Rc1/8 (14.5) i FSM3-L□□1AB2 G1/8 (20.5) n 2-φ3.4貫通 87.3 kFSM3-L□□1AC2 NPT1/8 (14.5) 内 部 接続口径:エルボタイプφ8mm、φ10mm、φ3/8インチ、Rc1/4、G1/4、NPT1/4 構 ●FSM3−Lロハ1/DH2/EH2/JH2/BA2/BB2/BC2(フルスケール流量:50,100,200L/min) 造図 17 15 55 分 離 表 示 器 形 番 継手 (A)寸法 FSM3-L□□1DH2 ワンタッチφ8mm (13.6) FSM3-L□□1EH2 ワンタッチφ10mm (19.3) 技術 FSM3-L□□1JH2 ワンタッチ3/8インチ (20.0) 資 27 FSM3-L□□1BA2 Rc1/4 (15.8) 料 FSM3-L□□1BB2 G1/4 (22.8) 95.3 FSM3-L□□1BC2 NPT1/4 (15.8) 2-φ3.4貫通 操 作 ニードル弁付外形寸法図 方 法 接続口径:φ4mm、φ6mm、φ1/4インチ、Rc1/8、G1/8、NPT1/8 ●FSM3−Lロハ1/BH1/CH1/HH1/AA1/AB1/AC1/トチT(フルスケール流量:500mL/min,1,2,5,10,20,50L/min) オ プ シ 17 ョ 55 ン品 形 番 継手 (A)寸法 注使 FSM3-L□□1BH1 ワンタッチφ4mm (90) 意用事上 FSM3-L□□1CH1 ワンタッチφ6mm (92.2) 項の FSM3-L□□1HH1 ワンタッチ1/4インチ (95.4) FSM3-L□□1AA1 Rc1/8 (100) FSM3-L□□1AB1 G1/8 (112) 関 27 2-φ3.4貫通 FSM3-L□□1AC1 NPT1/8 (100) 連 (A) 商品 接続口径:φ8mm、φ10mm、φ3/8インチ、Rc1/4、G1/4、NPT1/4 ●FSM3−Lロハ1/DH1/EH1/JH1/BA1/BB1/BC1/トチT(フルスケール流量:50,100,200L/min) 17 55 形 番 継手 (A)寸法 FSM3-L□□1DH1 ワンタッチφ8mm (101.6) FSM3-L□□1EH1 ワンタッチφ10mm (113.1) FSM3-L□□1JH1 ワンタッチ3/8インチ (114.4) FSM3-L□□1BA1 Rc1/4 (106) 27 FSM3-L□□1BB1 G1/4 (120) 2-φ3.4貫通 (A) FSM3-L□□1BC1 NPT1/4 (106) 6 (24.2) 30.2 (A) (24.2) (A) (30.2) 1.5 1.5 37 (10.5〜19) 1.5 8.5 43 (10.5〜19) 37 1.5 13 43
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小形流量センサ ラピフロー FSM3 Series L バー表示タイプ C D ●樹脂ボディタイプ(流量レンジ:500mL/min~1000L/min) 表 示 バ ー 表 示 バー表示タイプ仕様 FSM3-[ イ ][ ロ ][ ハ ][ ニ ][ ホ ][ ヘ ][ ト ][ チ ][ リ ]-[  ] I O 項 目 [ロ] ― L 005 010 020 050 100 200 500 101 201 501 102 i n U 片方向 k 流れ方向 [ハ] B 双方向 内 測定流量 U 15 30 0.06 0.15 0.30 0.6 1.5 3.0 6 15 30 部 レンジ [ロ] 〜500mL 〜1000mL 〜2.00L 〜5.00L 〜10.00L 〜20.0L 〜50.0L 〜100.0L 〜200L 〜500L 〜1000L構 (□/min) B -500〜-15、 -1000〜-30、 -2.00〜-0.06、 -5.00〜-0.15、 -10.00〜-0.30、 -20.0〜-0.6、 -50.0〜-1.5、 -100.0〜-3.0、 -200〜-6、 -500〜-15、-1000〜-30、造 注1 15〜500mL 30〜1000mL 0.06〜2.00L 0.15〜5.00L 0.30〜10.00L 0.6〜20.0L 1.5〜50.0L 3.0〜100.0L 6〜200L 15〜500L 30〜1000L 図 表示の種類 LEDバー表示 分 適応流体 注2 清浄空気(JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜5.6.2)、圧縮空気(JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜1.6.2)、窒素ガス離 表 使用流体 温度範囲 0〜50℃(結露なきこと)示 器 圧力範囲 -0.07〜0.75MPa 0〜0.75MPa 耐圧力 1MPa 技 使用周囲温度・湿度 0〜50℃、90%RH以下 術 資 保存温度 -10〜60℃ 料 精度 注3 ±3%F.S.以内(2次側大気開放)   (保証範囲は「測定流量レンジ」による) 繰り返し精度 精度 注4 ±1%F.S.以内(2次側大気開放) 操 作 温度特性 ±0.2%F.S./℃以内  (15〜35℃、25℃基準) 方 圧力特性 ±5%F.S.以内 (-0.07〜0.75MPa、2次側大気開放基準) ±5%F.S.以内法 (0〜0.75MPa、0.35MPa基準) 応答時間 注5 50msec 以下 オ プ アナログ出力 J 1-5V電圧出力(接続負荷インピーダンス=50kΩ以上) シ ョ 注6 K 4-20mA電流出力(接続負荷インピーダンス0〜300Ω) ン [ト] 品 電源電圧 J DC12〜24V(10.8〜26.4V) リップル率1%以下 注7 K DC24V(21.6〜26.4V) リップル率1%以下 注使 消費電流 注8 45mA以下 意用 事上 リード線 φ3.7 AWG26相当×4芯(コネクタ接続)、絶縁体外径φ1.0 項の 保護構造 IP40相当(IEC規格) 保護回路 注9 電源逆接続保護 関 耐振動 10〜150 Hz、最大100m/s2、XYZ方向、各2時間 連 商 EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8 品 取付姿勢 注10 縦・横自在 取付 直管導入部 注11 不要 7
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FSM3 Series 仕様 L C D 表 示 バ ー 表 示 注1:標準状態(20℃ 1気圧(101kPa)相対湿度65%)での体積流量に換算 注2:塩 素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご I 使用の場合は、JIS B 8392-1:2012 等級1.1.1〜1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレ O ― ン(水、酸化オイル、異物等)が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側(上流)にフィルタ、エアドライヤ L (最低圧力露点10℃以下)及びオイルミストフィルタ(最大油分濃度0.1mg/m3)を取り付けてご使用ください。(42ページの推奨 in 回路を参照してください。) k 注3:精度は当社の基準流量計を基準としており、絶対精度を示すものではありません。 内 注4:短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。(詳細は製品仕様書をご確認ください。) 部 注5:実際の応答時間は配管条件によって変わります。 構造 注6: アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きく 図 なります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。 注7:電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。 分 注8:DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。 離 表 注9:本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。 示 注10:本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。 器 縦方向に設置すると、対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。 注11: 配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。 技 500L/min、1000L/minモデルでは、内径9mm以上の配管をご使用ください。9mm以下の場合、精度が悪くなることがあります。 術 注12:質量については、32ページをご参照ください。 資料 操 作 方 法 オ プ シ ョ ン 品 注使 意用 事上 項の 関 連 商 品 8
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FSM3 Series L 形番表示方法 C D FSM3 B 005 U 1 BH 1 J 1 N D H S P70 記号 内 容 表 イ 表示 示 B バー表示 ロ 流量レンジ(フルスケール流量) バ 機種形番 ロ 流量レンジ 005 500mL/min 500 50L/min ー  ( フルスケール流量) 表 イ 表示 010 1L/min 101 100L/min 示 020 2L/min 201 200L/min 050 5L/min 501 500L/min I 100 10L/min 102 1000L/min O 200 20L/min ― L i ハ 流れ方向 n ハ 流れ方向 k U 片方向 B 双方向 内 ニ ボディ材質・適応流体 部 ニ ボディ材質・適応流体 構 ボディ材質 適応流体 造 1 樹脂 エア 図 ホ 接続口径 ホ 接続口径 分 BH ワンタッチ(φ4mmチューブ用) AB G1/8 注3 離 CH ワンタッチ(φ6mmチューブ用) BB G1/4 注3 表 DH ワンタッチ(φ8mmチューブ用) CB G1/2 注3 示 器 EH ワンタッチ(φ10mmチューブ用) AC NPT1/8 HH ワンタッチ(φ1/4インチチューブ用) BC NPT1/4 JH ワンタッチ(φ3/8インチチューブ用) CC NPT1/2 技 AA Rc1/8 術 資 BA Rc1/4 料 CA Rc1/2 ヘ 配管方向 〈形番表示例〉 ヘ 配管方向操 1 ストレート 作 FSM3-B005U1BH1J1N-DHS-P70 2 エルボ 注4 方 法 機種名:ラピフローFSM3シリーズ ト 出力仕様イ 表示 B :バー表示 ト 出力仕様 J アナログ電圧出力x1点 ロ 流量レンジ 005:500mL/min K アナログ電流出力x1点 オ ハ 流れ方向 U :片方向 プ シ ニ ボディ材質・適応流体 1 :樹脂・エア チ 単位仕様 チ 単位仕様 ョ ホ 接続口径 BH:ワンタッチ 1 SI単位系のみ ン (φ4mmチューブ用) 品 リ バルブオプションヘ 配管方向 1 :ストレート リ バルブ ト 出力仕様 J :アナログ電圧出力X1 オプション N なし 注 E EXA接続継手(EXAは別売) 注5、注6使 チ 単位仕様 1 :SI単位系のみ 意用 リ 事 バルブオプション N :なし ヌ ケーブル 上 ヌ 項の ヌ ケーブル D :4芯3m ケーブル 無記号 なし ル 取付アタッチメント H :ブラケット C 4芯1m ヲ 添付書類 S :検査成績書+トレーサビリティ証明書 D 4芯3m 関 ワ クリーン仕様 P70:発塵防止 ル 取付アタッチメント 注7、注8 連 ル 取付アタッチ 商 形番選定にあたっての注意事項 メント 無記号 なし 品 H ブラケット1(200L以下モデル用) 注1:選定時には必ず次ページ対応表をご確認ください。 J ブラケット2(500L、1000Lモデル用) 注2:分離表示器(FSM2-D)と組合せて使用する場合は、 M DINレール取付(200L以下モデル用) 「”J”:アナログ電圧出力x1点」を選択してください。 注3:選定時にGネジの接続形状を外形寸法図(11ページ)でご確認 ヲ 添付書類 ください。 ヲ 添付書類 無記号 なし 注4:エルボ継手を下向きに取付けると、DINレール取付と干渉しま すのでご注意ください。 R 検査成績書 注5:専用継手で電磁弁(EXAシリーズ)と連結できます。 S 検査成績書+トレーサビリティ証明書 41ページ参照ください。 注6:EXAは必ず本製品のOUT側に設置してください。 ワ クリーン仕様ワ EXAのコイルオプションはリード線タイプをご使用ください。 クリーン 仕様 無記号 なし DIN端子箱タイプは端子箱が干渉するため取付できません。 P70 発塵防止 注9 接続後に必ず抜け、外部漏れがないことをご確認ください。 P80 禁油処理 注10 注7:「パネル取付」のオプションは選択できません。 ブラケットは取付位置によってエルボ継手と干渉するおそれが ありますのでご注意ください。 注8:オプション部品は製品に添付されます。組付られておりません。 注9:包装前に製品表面を脱脂し、クリーンベンチ(クラス1000以 上)内で、帯電防止袋にヒートシールを包装します。 注10:P70仕様に加えて接ガス部を脱脂洗浄します。 9
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FSM3 Series 形番表示方法 流量レンジと接続口径、EXA連結継手の対応表 L ホ 接続口径  ヘ 配管方向 C BH1 CH1 DH1 EH1 HH1 JH1 BH2 CH2 DH2 EH2 HH2 JH2 AA1 BA1 D表 005 ● ● ● ● ● ● ● 示 010 ● ● ● ● ● ● ● 020 ● ● ● ● ● ● ● バ 050 ● ● ● ● ● ● ● ー表 100 ● ● ● ● ● ● ● 示 200 ● ● ● ● ● ● ● 500 ● ● ● ● ● ● ● ●★ I O 101 ● ● ● ● ● ● ●★ ―L 201 ● ● ● ● ● ● ●★ i n ロ 501 k 流 102 量 レ CA1 AA2 BA2 AB1 BB1 CB1 AB2 BB2 AC1 BC1 CC1 AC2 BC2 内 部 ン 005 ● ● ● ● ● 構 ジ 010 ● ● ● ● ● 造図 020 ● ● ● ● ● 050 ● ● ● ● ● 分 100 ● ● ● ● ● 離表 200 ● ● ● ● ● 示 500 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 器 101 ● ● ● ● ● 201 ● ● ● ● ● 技 術 501 ● ● ● 資 102 ● ● ● 料 ●:接続口径対応   ★:EXA連結接手対応 操 作 方 法 接続口径とクリーン仕様の対応表 ホ 接続口径  ヘ 配管方向 オプ BH1 CH1 DH1 EH1 HH1 JH1 BH2 CH2 DH2 EH2 HH2 JH2 AA1 BA1 シ 無記号 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ョン ワ P70 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 品 ク リ P80 ● ● ● ● ● ● ー CA1 AA2 BA2 AB1 BB1 CB1 AB2 BB2 AC1 BC1 CC1 AC2 BC2 注使 ン 意用無記号 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 仕 事上の 様 P70 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 項 P80 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 関 連 商 品 10
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FSM3 Series L 外形寸法図(バー表示タイプ) C D 接続口径:ストレートタイプ φ4mm、φ6mm、φ1/4インチ、Rc1/8、G1/8、NPT1/8 表 ●FSM3-Bロハ1/BH1/CH1/HH1/AA1/AB1/AC1(フルスケール流量:500mL/min,1,2,5,10,20,50L/min) 示 Rc1/8,NPT1/8,G1/8 Gネジ形状 バ G1/8 (10) 2+0.4ー 0 表 示 17 15 55 I O 端面 ― L 14 i 15°の面がシール面となります。 n 端面シールではありませんのでご注意ください。また、 k 継手のネジ深さも合わせてご確認の上ご使用ください。 内 2-φ3.4貫通 27 形 番 継手 (A)寸法 部 (A) FSM3-B□□1BH1 ワンタッチφ4mm (65) 構 FSM3-B□□1CH1 ワンタッチφ6mm (67.2) 造 FSM3-B□□1HH1 ワンタッチ1/4インチ (70.4) 図 FSM3-B□□1AA1 Rc1/8 (75) FSM3-B□□1AB1 G1/8 (87) 分 離 2-M3深さ5 15.5 FSM3-B□□1AC1 NPT1/8 (75) 表 示 器 接続口径:ストレートタイプ φ8mm、φ10mm、φ3/8インチ、Rc1/4、G1/4、NPT1/4 ●FSM3-Bロハ1/DH1/EH1/JH1/BA1/BB1/BC1(フルスケール流量:50,100,200L/min)  ※EXA接続タイプは、2次側(下図右側)が専用アダプタとなります。 技 Rc1/4,NPT1/4,G1/4 Gネジ形状 術 資 (14)17 G1/4料 2.5 +0.4 0 操 作 方 法 端面 17 2-φ3.4貫通 オ 27 15°の面がシール面となります。 (A) 端面シールではありませんのでご注意ください。また、プ 継手のネジ深さも合わせてご確認の上ご使用ください。 シ ョ 形 番 継手 (A)寸法 ン FSM3-B□□1DH1 ワンタッチφ8mm (70.6) 品 FSM3-B□□1EH1 ワンタッチφ10mm (82.1) FSM3-B□□1JH1 ワンタッチ3/8インチ (83.4) 注使 2-M3深さ5 15.5 意用 FSM3-B□□1BA1 Rc1/4 (75) 事上 FSM3-B□□1BB1 G1/4 (89) 項の FSM3-B□□1BC1 NPT1/4 (75) 関 接続口径:ストレートタイプ Rc1/2、G1/2、NPT1/2 連 ●FSM3-Bロハ1/CA1/CB1/CC1(フルスケール流量:500、1000L/min) 商 品 17 15 55 30 (A) 形 番 継手 (A)寸法 FSM3-B□□1CA1 Rc1/2 (80) FSM3-B□□1CB1 G1/2 (95.4) 2-M3深さ3 30 FSM3-B□□1CC1 NPT1/2 (80) 11 (30.2) (24.2) (37.2) 8.5 15 13 9.5 3.6 9.5 3.6 29 35 13 30 42 φ15.6+0.10 +0.1 φ11.7 φ11.6 0 φ8.7 15˚ 5˚ 45˚ 1 45˚
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FSM3 Series 外形寸法図 外形寸法図(バー表示タイプ) L 接続口径:エルボタイプφ4mm、φ6mm、φ1/4インチ、Rc1/8、G1/8、NPT1/8 CD ●FSM3-Bロハ1/BH2/CH2/HH2/AA2/AB2/AC2(フルスケール流量:500mL/min,1,2,5,10,20,50L/min) 表 示 17 15 55 バ ー 表 示 I O ― L i 27 n k 87.3 内 2-φ3.4貫通 部 構 造 形 番 継手 (A)寸法 図 FSM3-B□□1BH2 ワンタッチφ4mm (9.5) FSM3-B□□1CH2 ワンタッチφ6mm (10.6) 分 FSM3-B□□1HH2 ワンタッチ1/4インチ (12.2) 離 FSM3-B□□1AA2 Rc1/8 (14.5) 表示 FSM3-B□□1AB2 G1/8 (20.5) 器 FSM3-B□□1AC2 NPT1/8 (14.5) 技 術 資 料 接続口径:エルボタイプφ8mm、φ10mm、φ3/8インチ、Rc1/4、G1/4、NPT1/4 操 ●FSM3-Bロハ1/DH2/EH2/JH2/BA2/BB2/BC2(フルスケール流量:50,100,200L/min) 作 方 法 17 15 55 オ プ シ ョ ン 品 注使 意用 事上 27 項の 95.3 2-φ3.4貫通 関 連 商 形 番 継手 (A)寸法 品 FSM3-B□□1DH2 ワンタッチφ8mm (13.6) FSM3-B□□1EH2 ワンタッチφ10mm (19.3) FSM3-B□□1JH2 ワンタッチ3/8インチ (20.0) FSM3-B□□1BA2 Rc1/4 (15.8) FSM3-B□□1BB2 G1/4 (22.8) FSM3-B□□1BC2 NPT1/4 (15.8) 12 (A) (30.2) (A) (24.2) 3.6 13 29 35
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小形流量センサ ラピフロー FSM3 Series L IO-Link C D ●樹脂ボディタイプ(流量レンジ:500mL/min~1000L/min) 表 示 バ ー 表 示 IO-Linkタイプ仕様 FSM3-[ イ ][ ロ ][ ハ ][ ニ ][ ホ ][ ヘ ][ ト ][ チ ][ リ ]-[  ] I O 項 目 [ロ] ― L 005 010 020 050 100 200 500 101 201 501 102 i n U 片方向 k 流れ方向 [ハ] B 双方向 内 測定流量 U 15 30 0.06 0.15 0.30 0.6 1.5 3.0 6 15 30 部 レンジ [ハ] 〜500mL 〜1000mL 〜2.00L 〜5.00L 〜10.00L 〜20.0L 〜50.0L 〜100.0L 〜200L 〜500L 〜1000L構 (□/min) B -500〜-15、 -1000〜-30、 -2.00〜-0.06、 -5.00〜-0.15、 -10.00〜-0.30、 -20.0〜-0.6、 -50.0〜-1.5、 -100.0〜-3.0、 -200〜-6、 -500〜-15、-1000〜-30、造 注1 図 15〜500mL 30〜1000mL 0.06〜2.00L 0.15〜5.00L 0.30〜10.00L 0.6〜20.0L 1.5〜50.0L 3.0〜100.0L 6〜200L 15〜500L 30〜1000L 表示の種類 LED表示(powerランプ、statusランプ) 分 適応流体 注2 清浄空気(JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜5.6.2)、圧縮空気(JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜1.6.2)、窒素ガス離 表 示 使用流体 温度範囲 0〜50℃(結露なきこと) 器 圧力範囲 -0.07〜0.75MPa 0〜0.75MPa 耐圧力 1MPa 技 使用周囲温度・湿度 0〜50℃、90%RH以下 術 資 保存温度 -10〜60℃ 料 精度 注4 ±3%F.S.以内(2次側大気開放)   (保証範囲は「測定流量レンジ」による) 精度 注3 繰り返し精度注5 ±1%F.S.以内(2次側大気開放)操 (流体:乾燥空気 作 にて) 温度特性 ±0.2%F.S./℃以内  (15〜35℃、25℃基準) 方 法 圧力特性 ±5%F.S.以内 (-0.07〜0.75MPa、2次側大気開放基準) ±5%F.S.以内(0〜0.75MPa、0.35MPa基準) 応答時間 注6 50msec 以下 オ プ 電源電圧 DC18〜30V リップル率1%以下 シ ョ 消費電流 注7 45mA以下 ン 品 リード線 注8 M12両側コネクタケーブル(3m) AWG#23相当4芯 保有機能 注9 1 ガス種切り替え、2 流量積算、3 ピークホールド、他 注使 保護構造 IP40相当(IEC規格) 意用 事上 保護回路 注10 電源逆接続保護 項の 耐振動 注11 10〜150 Hz、最大100m/s2、XYZ方向、各2時間 EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8 関 取付姿勢 注12 縦・横自在 連 取付 商 直管導入部 注13 不要 品 ※通信仕様については、37ページをご参照ください。 13