小形流量コントローラ　ラピフロー(R)FCMシリーズ

小形流量コントローラ ラピフローⓇFCMシリーズ SMALL SIZE FLOW CONTROLLER RAPIFLOW ® FCM SERIES CC-793 8

用途例 　　 多様な分野で活躍 ラピフローは機械、自動車、精密機器等の分野、半導体、バイオ等の先端分野、 医療、食品分野など多様な用途で利用が可能です。 適応流体・流量制御範囲 適 流量(　/min) 0.1 1 10 100 流量制御範囲（　／min） 形　番 適応流体 ボディ材質 接続口径 応 0.01 0.1 1 10 100 流 FCM-9500 AI 0.015～0.5 樹脂 樹脂 体 半導体 ワイヤーボンディング FCM-0001 AI 0.03～1 φ6ワンタッチ 高い精度が要求される、 FCM-0002 AI 0.06～2 φ8ワンタッチ ワイヤーボンディングの エア FCM-0005 AI AIR空気 0.15～5テンションコントロールに最適です。 タ イ FCM-0010 AI N2 0.3～10 SUS SUS プ FCM-0020 AI 窒素 0.6～20 Rc1/4 Dry FCM-0050 AI 1.5～50 9/16-18 UNF air FCM-0100 AI(樹脂タイプのみ） 3～100 FCM-9500 AR 0.015～0.5 SUS FCM-0001 AR 0.03～1 ガ FCM-0002 AR ス Ar 0.06～2 タ FCM-0005 AR アルゴン Rc1/4 液　晶 ガラス浮上搬送 0.15～5イ FCM-0010 AR 9/16-18 UNFプ 0.3～10 大型FPDガラス等の浮上 (非接触)搬送に最適です。 FCM-0020 AR 0.6～20 FCM-0050 AR N 1.5～502 FCM-9500 O2/LN/C1/C3 O2 0.015～0.5 SUS 液　晶 イオナイザのパージガス の流量管理 ガ 酸素 ス FCM-0001 O2/LN/C1/C3 13A 0.03～1 豊富な流量レンジで対応。 タ FCM-0002 O2/LN/C1/C3 都市ガス Rc1/40.06～2 エアの流量コントロールができます。 イ CH4プ 9/16-18 UNFFCM-0005 O2/LN/C1/C3 メタン 0.15～5 C3H8 FCM-0010 O2/LN/C1/C3 プロパン 0.3～10 ガ FCM-0002 H2/HE 0.06～2 SUS Rc1/4 ス FCM-0005 H2/HE 9/16-18 UNF水素 0.15～5タ 1/4インチ イ プ FCM-0010 H2/HE 0.3～10 2重くい込み継手 ヘリウム 1/4インチ FCM-0020 H2/HE 0.6～20 JXRオス継手 入出力仕様 食　品 充填包装 レーザー発振器、半導体製造装置でのN2ガス管理 入　力 出　力 形　番 食品包装等の不活性ガス充填に最適です。 半導体 パージガスの流量管理 入力信号：仕　　様 出力方式 仕　様 エラー出力 豊富な流量レンジで対応。 FCM-□-□0AN NPNアナログ 1-5V パージガス等の流量コントロールができます。 アナログ： 0-10V FCM-□-□0AP PNP NPN NPN Ar bit プリセット： 4点（2bit）（注） FCM-□-□0SN NPN スイッチ FCM-□-□0SP PNP PNP PNP FCM-□-□1AN NPN アナログ： 0-5V アナログ 1-5V 自動車,他 溶接用アルゴンガスの流量管理 FCM-□-□1AP PNP 豊富な流量レンジで対応。溶接用アルゴンガスの bit プリセット： 4点（2bit）（注） FCM-□-□1SN NPN NPN NPNスイッチ 流量コントロールができます。 FCM-□-□1SP PNP PNP PNP O2 FCM-□-□2AN NPNアナログ： 4-20mA アナログ 1-5VFCM-□-□2AP PNP NPN bit プリセット： 4点（2bit）（注） FCM-□-□2SN NPN NPN燃焼 スイッチ ガス ガラス加工 バーナー火力制御管理 FCM-□-□2SP PNP PNP PNP 低圧ガス供給を可能にし、 FCM-□-□PAN NPN バーナー等の火力制御に最適です。 アナログ 1-5VFCM-□-□PAP PNP H bit パラレル：10bit2 FCM-□-□PSN NPN NPN NPNスイッチ FCM-□-□PSP PNP PNP PNP （注） 特注でプリセット8点（3bit）入力に対応します。（この場合、外部積算リセット信号入力機能は使用できなくなります。）詳細は弊社営業にお問い合せください。

ラピフローⓇFCMシリーズ体系 　　 多様な分野で活躍 ラピフローは機械、自動車、精密機器等の分野、半導体、バイオ等の先端分野、 医療、食品分野など多様な用途で利用が可能です。 適応流体・流量制御範囲 流量(　/min) 0.1 1 10 100 流量制御範囲（　／min）適 形　番 適応流体 ボディ材質 接続口径 応 0.01 0.1 1 10 100 流 FCM-9500 AI 0.015～0.5 樹脂 樹脂 体 半導体 ワイヤーボンディング FCM-0001 AI 0.03～1 φ6ワンタッチ 高い精度が要求される、 FCM-0002 AI 0.06～2 φ8ワンタッチ ワイヤーボンディングの エア FCM-0005 AI AIR 0.15～5 テンションコントロールに最適です。 タ 空気 イ FCM-0010 AI N2 0.3～10 SUS SUS プ FCM-0020 AI 窒素 0.6～20 Rc1/4 Dry FCM-0050 AI 1.5～50 9/16-18 UNF air FCM-0100 AI(樹脂タイプのみ） 3～100 FCM-9500 AR 0.015～0.5 SUS FCM-0001 AR 0.03～1 ガ FCM-0002 AR ス Ar 0.06～2 タ FCM-0005 AR アルゴン Rc1/4 液　晶 ガラス浮上搬送 0.15～5イ FCM-0010 AR 9/16-18 UNFプ 0.3～10 大型FPDガラス等の浮上 (非接触)搬送に最適です。 FCM-0020 AR 0.6～20 FCM-0050 AR N 1.5～502 FCM-9500 O2/LN/C1/C3 O2 0.015～0.5 SUS 液　晶 イオナイザのパージガス の流量管理 ガ 酸素 ス FCM-0001 O2/LN/C1/C3 13A 0.03～1 豊富な流量レンジで対応。 タイ FCM-0002 O2/LN/C1/C3 都市ガス Rc1/4 CH 0.06～2エアの流量コントロールができます。 4プ / / / メタン 9/16-18 UNFFCM-0005 O2 LN C1 C3 0.15～5 C3H8 FCM-0010 O2/LN/C1/C3 プロパン 0.3～10 FCM-0002 H2/HE 0.06～2 SUSガ Rc1/4 ス FCM-0005 H2/HE 水素 0.15～5 9/16-18 UNFタ 1/4インチ イ プ FCM-0010 H2/HE 0.3～10 2重くい込み継手 ヘリウム 1/4インチ FCM-0020 H2/HE 0.6～20 JXRオス継手 入出力仕様 食　品 充填包装 レーザー発振器、半導体製造装置でのN2ガス管理 入　力 出　力 形　番 食品包装等の不活性ガス充填に最適です。 半導体 パージガスの流量管理 入力信号：仕　　様 出力方式 仕　様 エラー出力 NPN 豊富な流量レンジで対応。 FCM-□-□0AN パージガス等の流量コントロールができます。 アナログ： 0-10V アナログ 1-5V FCM-□-□0AP PNP NPN NPN Ar bit プリセット： 4点（2bit）（注） FCM-□-□0SN NPN スイッチ FCM-□-□0SP PNP PNP PNP FCM-□-□1AN NPN アナログ： 0-5V アナログ 1-5V 自動車,他 溶接用アルゴンガスの流量管理 FCM-□-□1AP PNP 豊富な流量レンジで対応。溶接用アルゴンガスの NPN NPNbit プリセット： 4点（2bit）（注） FCM-□-□1SN NPN スイッチ 流量コントロールができます。 FCM-□-□1SP PNP PNP PNP O2 FCM-□-□2AN NPNアナログ： 4-20mA アナログ 1-5VFCM-□-□2AP PNP NPN 燃焼 bit プリセット： 4点（2bit）（注） FCM-□-□2SN NPN NPN PNP スイッチ ガス ガラス加工 バーナー火力制御管理 FCM-□-□2SP PNP PNP 低圧ガス供給を可能にし、 FCM-□-□PAN NPN バーナー等の火力制御に最適です。 アナログ 1-5VFCM-□-□PAP PNP H bit パラレル：10bit2 FCM-□-□PSN NPN NPN NPN FCM-□-□PSP PNP スイッチ PNP PNP （注） 特注でプリセット8点（3bit）入力に対応します。（この場合、外部積算リセット信号入力機能は使用できなくなります。）詳細は弊社営業にお問い合せください。

小形流量コントローラ ラピフロー FCM Series ● 空気、窒素、アルゴン、酸素、都市ガス、メタン、プロパン用（流量範囲：0.5〜100ℓ/min） ● 水素、ヘリウム用（流量範囲：0〜20ℓ/min） ■ 空気、窒素、アルゴン、酸素、都市ガス、メタン、プロパン用 FCMシリーズ 仕様 項 目 FCM-[＊1][＊2]-[＊3][＊4][＊5] バルブ駆動方式 比例ソレノイドバルブ 非通電時：閉 流量レンジ AI（空気,窒素） AR（アルゴン） 02（酸素） LN（都市ガス） C1（メタン） C3（プロパン） 9500 0〜500ｍℓ/min ● ● ● ● ● ● 0001 0〜1ℓ/min ● ● ● ● ● ● 標 0002 0〜2ℓ/min ● ● ● ● ● ● 準 モ 0005 0〜5ℓ/min ● ● ● ● ● ● デ 0010 0〜10ℓ/min ● ● ● ● ● ● フルスケール流量 ル 0020 0〜20ℓ/min ● ● ＊1 0050 0〜50ℓ/min ● ● 注１ 0100 0〜100ℓ/min（樹脂タイプのみ） ● 低（スL9500 0〜500ｍℓ/min ● ● ● ● ● 差テ ンL0001 0〜1ℓ/min ● ● ● ● ●圧 モレL0002 0〜2ℓ/min ● ● ● ● ●ス デのL0005 0〜5ℓ/min ● ● ● ● ● ルみ）L0010 0〜10ℓ/min ● ● ● ● ● AI 圧縮空気、窒素 ● AR アルゴン ● 適応流体 ＊2 O2 酸素（禁油仕様） ● 注2 LN 都市ガス（13A） 注3 ● C1 メタン（CH4 100%） ● C3 プロパン（C3H8 100%） ● H6 φ6ワンタッチ、樹脂(50,100ℓ/minは除く) ● 接続口径、 ＊3 H8 φ8ワンタッチ、樹脂 ● ボディ材質 8A Rc1/4、ステンレス ● ● ● ● ● ● UF 9/16-18UNF、ステンレス ● ● ● ● ● ● 精度保証範囲 3〜100%F.S. 応答時間 ＊1 9500〜0020、L9500〜L0010 設定±5%F.S.に0.5sec以内（TYP.）0050〜0100 設定±5%F.S.に1sec以内（TYP.） 制御 精度 ±3%F.S.以内 再現性 ±1%F.S.以内 温度特性 ±0.1%F.S./℃以内（25℃基準） 圧力特性 98kPaあたり±1%F.S.以内（標準差圧基準） 標準差圧 注4 別表参照 圧力 動作差圧範囲 注5 別表参照 耐圧力 ＊3 H6/H8（樹脂ボディ） 490kPa8A/UF（SUSボディ） 980kPa 使用周囲温度、湿度 0〜50℃、90%RH以下（結露なきこと） 0 0−10VDC(6.7kΩ) / 4点（2bit） 入力信号/ ＊4 1 0−5VDC(10kΩ) / 4点（2bit） プリセット入力 2 4−20mADC(250Ω) / 4点（2bit） P パラレル10bit / なし AN アナログ出力：1−5V（接続負荷インピーダンス500kΩ以上) 入出力 エラー出力：NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 AP アナログ出力：1−5V（接続負荷インピーダンス500kΩ以上) 出力信号 ＊5 エラー出力：PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 SN スイッチ出力：NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下エラー出力：NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 SP スイッチ出力：PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下エラー出力：PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 流量表示 表示方法 7セグメントLED 3桁、表示精度：制御精度±1digit表示範囲、表示分解能 別表参照 積算機能 別表参照 電源 電源電圧 DC24V±10%（リップル率2%以下の安定化電源）消費電流 注11 250mA以下 取付姿勢 縦・横自在 接ガス部材 ＊3 H6/H8（樹脂ボディ） ポリアミド樹脂、フッ素ゴム、ステンレス、アルミナ、半導体シリコン、半田8A/UF（SUSボディ） ステンレス、フッ素ゴム、アルミナ、半導体シリコン、半田 質量 ＊3 H6/H8（樹脂ボディ） 約200g8A/UF（SUSボディ） 約480g 保護構造 IEC規格 IP40相当 保護回路 注6 電源逆接保護、スイッチ出力逆接保護、スイッチ出力負荷短絡保護 EMC指令 EN55011、EN61000−6−2、EN61000−4−2/3/4/6/8 1

FCM Series 仕様 圧力 標準差圧、動作差圧 注4、5 （標準モデル） 流量範囲 ＊1 9500 0001 0002 0005 0010 0020 0050 0100 標準差圧(kPa) 50 100 100 100 100 150 200 300 AI 動作差圧(kPa) 20〜150 50〜200 50〜250 50〜250 50〜250 100〜300 150〜300 250〜350 標準差圧(kPa) 50 100 100 100 100 150 200 適AR 動作差圧(kPa) 20〜150 50〜200 50〜250 50〜250 50〜250 100〜300 150〜300 応 流 標準差圧(kPa) 50 100 100 100 100 体O2 動作差圧(kPa) 20〜150 50〜200 50〜250 50〜250 50〜250 ＊2 標準差圧(kPa) 50 50 50 50 50 LN/C1 動作差圧(kPa) 20〜150 20〜150 20〜150 20〜150 30〜150 標準差圧(kPa) 50 50 50 50 50 C3 動作差圧(kPa) 20〜150 20〜150 20〜150 20〜150 30〜150 （低差圧モデル） 流量範囲 ＊1 L9500 L0001 L0002 L0005 L0010 適 応AI/O2 標準差圧(kPa) 20 20 20 20 20 流 体 LN/C1 C3 動作差圧(kPa) 5〜50 5〜50 5〜50 5〜50 10〜50 ＊2 注7 表示、積算機能 流量範囲 ＊1 9500 0001 0002 0005 0010 0020 0050 0100 L9500 L0001 L0002 L0005 L0010 表示範囲 0〜500mℓ/min 0.00〜1.00ℓ/min 0.00〜2.00ℓ/min 0.00〜5.00ℓ/min 0.0〜10.0ℓ/min 0.0〜20.0ℓ/min 0.0〜50.0ℓ/min 0〜100ℓ/min 流量表示 表示分解能 1mℓ/min 0.01ℓ/min 0.01ℓ/min 0.01ℓ/min 0.1ℓ/min 0.1ℓ/min 0.1ℓ/min 1ℓ/min 表示範囲 999999mℓ 9999.99ℓ 9999.99ℓ 9999.99ℓ 99999.9ℓ 99999.9ℓ 99999.9ℓ 999999ℓ 積算機能 注10 表示分解能 1mℓ 0.01ℓ 0.01ℓ 0.01ℓ 0.1ℓ 0.1ℓ 0.1ℓ 1ℓ パルス出力レート 5mℓ 0.01ℓ 0.02ℓ 0.05ℓ 0.1ℓ 0.2ℓ 0.5ℓ 1ℓ 注1：20℃ 1気圧（101kPa）での体積流量に換算。又、フルスケールとは流量レンジの最大流量を指します。 注2：塩 素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、かつダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。 圧縮空気をご使用の場合は、JIS B8392-1：2012（ISO 8573-1：2010）［1.1.1〜1.6.2］の清浄空気をご使用ください。コンプレッサからの圧縮 空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ（最低 圧力露点10°C以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取付けてご使用ください。 ＜推奨回路＞ オイルミストフィルタ フィルタ （マイクロエレッサ） 空気圧源 エアドライヤ レギュレータ FCMシリーズ ＜推奨機器＞ エアフィルタ：Fシリーズ オイルミストフィルタ：Mシリーズ 注3：都市ガス13AはLNGから生成されたメタン（CH4）88％ガスに対しての値です。 注4：標準差圧は、本製品校正時の差圧です。（2次側大気開放） 注5： 動作差圧は、本製品が正常に動作するために必要な差圧です。流量レンジ、適応流体によって異なりますのでご注意ください。 又、動作差圧の最小値は、2次側大気開放においてフルスケール流量を流すのに必要な差圧です。 注6：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。 注7：都市ガスの低圧ライン（1〜2.5kPa）では動作差圧範囲外となります。 注8：本製品内部の弁は漏れがゼロを必要とするストップ弁としては使用できません。仕様上ある程度の漏れを許容しています。 注9： アナログ出力電圧の出力インピーダンスは約1KΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくなります。 接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。 注10： 積算流量は参考値です。また、電源を切るとリセットされます。 注11：DC24V時、負荷未接続、フルスケール流量時の電流です。負荷の状態によっては消費電流が変わりますのでご注意ください。 2

FCM Series ■ 水素、ヘリウム用 FCMシリーズ 仕様 項 目 FCM-[＊1][＊2]-[＊3][＊4][＊5] バルブ駆動方式 比例ソレノイドバルブ 非通電時：閉 流量レンジ H2（水素） HE（ヘリウム） 0002 0〜2ℓ/min ● ● フルスケール流量 0005 0〜5ℓ/min ● ● ＊1 注１ 0010 0〜10ℓ/min ● ● 0020 0〜20ℓ/min ● ● H2 水素 ● 適応流体 注2 ＊2 HE ヘリウム ● 8A Rc1/4 ● ● UF 9/16-18UNF ● ● 接続口径 ＊3 4S 1/4インチ 2重くい込み継ぎ手 ● ● 4RM 1/4インチ JXRオス継手 ● ● 精度保証範囲 3〜100%F.S. 応答時間 ＊1 設定±5%F.S.に0.5sec以内（TYP.） 精度 ±3%F.S.以内 制御 再現性 ±1%F.S.以内 温度特性 ±0.2%F.S./℃以内（25℃基準） 圧力特性 98kPaあたり±1%F.S.以内（標準差圧基準） 標準差圧 注3 別表参照 圧力 動作差圧範囲 注4 別表参照 耐圧力 980kPa 使用周囲温度、湿度 0〜50℃、90%RH以下（結露無きこと） 外部漏れ 1×10-6 Pa・m3/s　以下（ヘリウムリークレート） 0 0ー10 VDC（6.7kΩ） ／ 4点(2bit) 入力信号/ 1 0ー5 VDC（10kΩ） ／ 4点(2bit) ＊4 プリセット入力 2 4ー20 mADC（250Ω） ／ 4点(2bit) P パラレル10bit ／ なし アナログ出力：1-5V（接続負荷インピーダンス500kΩ以上） AN エラー出力：NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 入出力 アナログ出力：1-5V（接続負荷インピーダンス500kΩ以上） AP エラー出力：PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 出力信号 ＊5 スイッチ出力：NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 SN エラー出力：NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 スイッチ出力：PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 SP エラー出力：PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下 表示方法 7セグメントLED 3桁、表示制度：制御精度±1digit 流量表示 表示範囲、表示分可能 別表参照 積算機能 別表参照 電源電圧 DC24V±10%（リップル率1%以下の安定化電源） 電源 消費電流 注9 270mA以下 取付姿勢 縦・横自在 接ガス部材 ステンレス、フッ素ゴム、アルミナ、半導体シリコン、半田 8A/UF 約480g 質量 ＊3 4S/4RM 約560g 保護構造 IEC規格 IP40相当 保護回路 注5 電源逆接保護、スイッチ出力逆接保護、スイッチ出力負荷短絡保護 EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8 3

FCM Series 仕様 圧力 標準差圧、動作差圧 流量範囲 ＊1 0002 0005 0010 0020 適 標準差圧(kPa) 20 50 50 50 応H2 流 動作差圧(kPa) 10〜50 30〜80 30〜80 30〜80 体 標準差圧(kPa) 50 100 100 100 HE ＊2 動作差圧(kPa) 20〜100 50〜150 50〜150 50〜150 表示、積算機能 流量範囲 ＊1 0002 0005 0010 0020 表示範囲 0.00〜2.00ℓ/min 0.00〜5.00ℓ/min 0.0〜10.0ℓ/min 0.0〜20.0ℓ/min 流量表示 表示分解能 0.01ℓ/min 0.01ℓ/min 0.1ℓ/min 0.1ℓ/min 表示範囲 9999.99ℓ 9999.99ℓ 99999.9ℓ 99999.9ℓ 積算機能 注8 表示分解能 0.01ℓ 0.01ℓ 0.1ℓ 0.1ℓ パルス出力レート 0.02ℓ 0.05ℓ 0.1ℓ 0.2ℓ 注1：20℃ 1気圧（101kPa）での体積流量に換算。又、フルスケールとは流量レンジの最大流量を示します。 注2：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、かつダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。 注3：標準差圧は、本製品校正時の差圧です。（2次側大気開放） 注4：動 作差圧は、本製品が正常に動作するために必要な差圧です。流量レンジ、 適応流体によって異なりますのでご注意ください。 又、動作差圧の最小値は、2次側大気開放において、フルスケール流量を流すのに必要な差圧です。 注5：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。 注6：本製品内部の弁は漏れがゼロを必要とするストップ弁としては使用できません。仕様上ある程度の漏れを許容しています。 注7： アナログ出力電圧の出力インピーダンスは約1KΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくなります。 接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。 注8： 積算流量は参考値です。また、電源を切るとリセットされます。 注9：DC24V時、負荷未接続、フルスケール流量時の流量です。負荷の状態によっては、消費電流が変わりますのでご注意ください。 4

FCM Series ■ 空気、窒素、アルゴン、酸素、都市ガス、メタン、プロパン用 形番表示方法 FCM 9500 AI H6 0 AN R 1 B T 機種形番 リ トレーサビリティ チ ブラケット 記号 内 容 イ 流量範囲 イ 流量範囲 適用流体 AI AR O2 LN C1 C3 9500 0〜0.5 ℓ/min ● ● ● ● ● ● 0001 0〜1 ℓ/min ● ● ● ● ● ● 0002 0〜2 ℓ/min ● ● ● ● ● ● 0005 標準 0〜5 ℓ/min ● ● ● ● ● ● 0010 モ 0〜10 ℓ/min ● ● ● ● ● ● 0020 デル 0〜20 ℓ/min ● ● 0050 0〜50 ℓ/min ● ● 0〜100 ℓ/min 0100 ● （樹脂ボディのみ） L9500 （低ス0〜0.5 ℓ/min ● ● ● ● ● L0001 差テ0〜1 ℓ/min ● ● ● ● ●ン L0002 圧モレ0〜2 ℓ/min ● ● ● ● ●ス L0005 デの0〜5 ℓ/min ● ● ● ● ● L0010 ルみ）0〜10 ℓ/min ● ● ● ● ● ロ 適用流体 ロ 適用流体 AI 圧縮空気、窒素ガス AR アルゴン O2 酸素（禁油仕様） LN 都市ガス（13A） C1 メタン（CH4） C3 プロパン（C3H8) ハ 接続口経、ボディ材質 ハ 接続口経、ボディ材質 適用流体 AI AR O2 LN C1 C3 ワンタッチ(φ6）、樹脂ボディ H6 ● （流量範囲;0050,0100は除く） H8 ワンタッチ(φ8）、樹脂ボディ ● 8A Ｒc1/4、ステンレスボディ ● ● ● ● ● ● 〈形番表示例〉 UF 注1 9/16-18 UNF、ステンレスボディ ● ● ● ● ● ● FCM-0001AI-H81ANR1BK ニ 入力信号ニ 入力信号 0 アナログ 0−10VDC 機種名：小形流量コントローラ ラピフロー®FCM ● 1 アナログ 0−5VDCイ 流量範囲 ：0〜1ℓ/min ●ロ 適用流体 ：圧縮空気、窒素 2 アナログ 4−20mADC ●ハ 接続口経、ボディ材質：ワンタッチ（φ8）、樹脂ボディ P パラレル 10bit ●ニ 入力信号 ：アナログ 0−5VDC ホ 出力仕様 ●ホ 出力仕様 ：1−5Vアナログ、エラー（NPN） ホ 出力仕様 AN 1−5Vアナログ エラー（NPN） ●ヘ 表示方向 ：逆方向 AP 1−5Vアナログ エラー（PNP） ●ト ケーブル ：1m SN スイッチ(NPN）、エラー(NPN) ●チ ブラケット ：ブラケット付 SP スイッチ(PNP）、エラー(PNP) ●リ トレーサビリティ：検査成績書付 ヘ 表示方向 ヘ 表示方向 形番選定にあたっての注意事項 無記号 正方向 R 逆方向 注1： 9/16-18UNFねじの形状については、7ページ の外形寸法図をご覧ください。 ト ケーブルト ケーブル 無記号 なし オプション単品形番 1 1m 3 3m FCM AC1 チ ブラケット 記 号 内容 無記号 なし AC1 アナログ9芯、ケーブル1m B ブラケット付 AC3 アナログ9芯、ケーブル3m リ トレーサビリティ PC1 パラレル15芯、ケーブル1m 無記号 なし PC3 パラレル15芯、ケーブル3m T トレーサビリティ証明書、体系図、検査成績書付 LB1 ブラケット K 検査成績書付 5

FCM Series 形番表示方法 ■ 水素、ヘリウム用 形番表示方法 FCM 0002 H2 8A 0 AN R 1 B T 機種形番 リ トレーサビリティ チ ブラケット 記号 内 容 イ 流量範囲 イ 流量範囲 適用流体 H2 HE 0002 0〜2 ℓ/min ● ● 0005 0〜5 ℓ/min ● ● 0010 0〜10 ℓ/min ● ● 0020 0〜20 ℓ/min ● ● ロ 適用流体 ロ 適用流体 H2 水素 HE ヘリウム ハ 接続口経 ハ 接続口経 適用流体 H2 HE 8A Rc1/4 ● ● UF 9/16-18UNF ● ● 4S 1/4インチ 2重くい込み継手 ● ● 4RM 1/4インチ JXRオス継手 ● ● ニ 入力信号 ニ 入力信号 0 アナログ 0−10VDC 1 アナログ 0−5VDC 2 アナログ 4−20mADC P パラレル 10bit ホ 出力仕様 ホ 出力仕様 AN 1−5Vアナログ エラー（NPN） AP 1−5Vアナログ エラー（PNP） SN スイッチ(NPN）、エラー(NPN) SP スイッチ(PNP）、エラー(PNP) ヘ 表示方向 ヘ 表示方向 無記号 正方向 R 逆方向 〈形番表示例〉 ト ケーブル ト ケーブル FCM-0002H2-8A1ANR1BK 無記号 なし ●イ 流量範囲 ：0〜2ℓ/min 1 1m ●ロ 適用流体 ：水素 3 3m ●ハ 接続口経 ：Rc1/4 チ ブラケット ●ニ 入力信号 ：アナログ 0−5VDC ●ホ 出力仕様 ：1−5Vアナログ、エラー（NPN） 無記号 なし ●ヘ 表示方向 ：逆方向 B ブラケット付 ●ト ケーブル ：1m リ トレーサビリティ ●チ ブラケット ：ブラケット付 ● 無記号 なしリ トレーサビリティ：検査成績書付 T トレーサビリティ証明書、体系図、検査成績書付 K 検査成績書付 オプション単品形番 FCM AC1 記 号 内容 AC1 アナログ9芯、ケーブル1m AC3 アナログ9芯、ケーブル3m PC1 パラレル15芯、ケーブル1m PC3 パラレル15芯、ケーブル3m LB1 ブラケット 6

FCM Series 外形寸法図 ボディ材質：樹脂、接続口径：φ6、φ8 ● FCM-□-H8/H6□ FCM-□-□R□は、表示方向が逆になります。 2-＃4-40UNC 16 Dサブコネクタ15ピン・プラグ 30 70 接続口径 φ6ワンタッチ継手または φ8ワンタッチ継手 2-M3 深さ5 30 ボディ材質：ステンレス、接続口径：Rc1/4、9/16-18UNF ● FCM-□-8A/UF FCM-□-□R□は、表示方向が逆になります。 2-＃4-40UNC 16 Dサブコネクタ15ピン・プラグ 30 70 接続口径 Rc1/4または 9/16-18UNF 9/16-18UNF 2.5 シール面 2-M3 深さ5 30 メッシュフィルタ 11.5 9/16-18UNF 15.25 有効ネジ深さ11.5 7 45° φ15.6 12° 58.5 58.5 46 46 15 33.5 15 33.5 70 70 12 12

FCM Series 外形寸法図 外形寸法図 接続口径：1/4インチ 2重くい込み継手 ● FCM-□-4S 2-#4-40UNC FCM-□-□R□は、表示方向が逆になります。 16 Dサブコネクタ15ピン・プラグ 30 70 接続口径 （121.4） 1/4インチ 2重くい込み継手 30 2-M3 深さ5 接続口径：1/4インチ JXRオス継手 ● FCM-□-4RM 2-#4-40UNC FCM-□-□R□は、表示方向が逆になります。 16 Dサブコネクタ15ピン・プラグ 30 70 接続口径 （117.8） 1/4インチ JXRオス継手 30 2-M3 深さ5 8 58.5 58.5 46 46 33.5 33.5 15 15 70 70 12 12

FCM Series 専用ブラケット（床面据付タイプ） 単品形番：FCM-LB1 65 4-R 30 53 .5 4-6 83 -R1 1 4-φ .75 質量：28g ケーブルオプション外形寸法図 ● アナログ入力タイプ用9芯ケーブル オプション単品形番：FCM-AC1、AC3 28.5 シールド線 11 ※シールド線は“電源−”（0V）に 接続してください。 9-AWG26 ケーブル 質量 g FCM-AC1 68 18.9 1000 FCM-AC3 166 3000 100 Dサブ ソケット 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 ピンNo. 絶縁体の色 茶 橙 黄 − 赤 − − − − 灰 白 − 緑 青 黒 名称 プリセット入力信号 電源+ 入力信号 未使用 アナログ スイッチ エラー 出力 出力 出力 積算 リセット 未使用 未使用 未使用 未使用 未使用 コモン NPN NPN 電源−（0V） 入力の種別 ビット1 ビット2 信号 +24VDC 0-10 0-5 4-20 または またはVDC VDC mADC 未使用 1-5VDC PNP PNP 出力 出力 注：10番ピンのコモンはプリセット入力、積算リセット信号（1〜3番ピン）のコモンです。 ● パラレル入力タイプ用15芯ケーブル オプション単品形番：FCM-PC1、PC3 28.5 シールド線 11 ※シールド線は“電源−”（0V）に 接続してください。 15-AWG26 ケーブル 質量 g FCM-PC1 82 18.9 1000 FCM-PC3 205 3000 100 Dサブ ソケット 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 ピンNo. 白 赤 緑 絶縁体の色 茶 橙 黄 紫 赤 うす青 桃 （黒ライン （黒ライン 灰 白 （黒ライン 緑 青 黒 入り） 入り） 入り） 名称 パラレル入力信号 電源+ パラレル入力信号 パラレル入力信号 アナログ スイッチ エラー出力 出力 出力 コモン NPN NPN 電源− 入力の種別 ビット ビット ビット ビット +24VDC ビット ビット ビット ビット ビット ビット （0V） 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 1-5VDC または または PNP PNP 出力 出力 注：10番ピンのコモンはパラレル入力信号（1〜4、6〜9、11、12番ピン）のコモンです。 9 33.4 33.4 （φ10） （φ10） （φ6.5） （φ6） 50 40 15 4-3.5 13 30

FCM Series 配線方法 配線方法 内部回路および負荷接続例 パラレル入力タイプ 注意 誤配線にご注意ください。 FCM−□−□0/1/2 AN□ FCM−□−□0/1/2 AP□ （アナログ入力、アナログ出力+エラー出力タイプ NPN出力） （アナログ入力、アナログ出力+エラー出力タイプ PNP出力） 5ピン（電源+） 5ピン（電源+） 11ピン（アナログ入力） 13ピン（モニタ出力） 信号発生器 1ピン（プリセット ビット1） 出力 短絡 2ピン（プリセット ビット2） 保護 max50mA 回路 14ピン（エラー出力 ） 主 3ピン（積算リセット） 主 11ピン（アナログ入力） 信号発生器 回 回 10ピン（コモン） 路 路 1ピン（プリセット ビット1） 13ピン（モニタ出力） 負荷 2ピン（プリセット ビット2） 負荷 負荷 負荷 出力 14ピン（エラー出力） 3ピン（積算リセット） 短絡 保護 10ピン（コモン） 回路 15ピン（電源−） max50mA 15ピン（電源−） FCM−□−□0/1/2 SN□ FCM−□−□0/1/2 SP□ （アナログ入力、スイッチ出力+エラー出力タイプ NPN出力） （アナログ入力、スイッチ出力+エラー出力タイプ PNP出力） 5ピン（電源+） 5ピン（電源+） 11ピン（アナログ入力） 信号発生器 出 力 max50mA 短 13ピン（スイッチ出力） 絡 1ピン（プリセット ビット1） 保 護 回 2ピン（プリセット ビット2） 路 max50mA 14ピン（エラー出力 ） 主 11ピン（アナログ入力）3ピン（積算リセット） 主 信号発生器 回 回 10ピン（コモン） 路 路 1ピン（プリセット ビット1） 負荷 13ピン（スイッチ出力） 出 2ピン（プリセット ビット2） 負荷 負荷 力 短 負荷 絡 14ピン（エラー出力） max50mA 3ピン（積算リセット） 保 護 回 10ピン（コモン） 路 max50mA15ピン（電源−） 15ピン（電源−） ■ コネクタピン配置（製品本体側） ［アナログ入力タイプ］ ① ② ③ ④ ⑤ アナログ入力タイプには、 ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ④、⑥、⑦、⑧、⑨、⑫はピンがありません。 ⑪ ⑫ ⑬ ⑭ ⑮ 10 − ＋ − ＋ − ＋ − ＋

FCM Series 内部回路および負荷接続例 パラレル入力タイプ 注意 誤配線にご注意ください。 FCM−□−□ PAN□ FCM−□−□ PAP□ （パラレル入力、アナログ出力+エラー出力タイプ NPN出力） （パラレル入力、アナログ出力+エラー出力タイプ PNP出力） 5ピン（電源+） 5ピン（電源+） 12ピン（MSB ビット10） 11ピン（ビット9） 13ピン（モニタ出力） 9ピン（ビット8） 8ピン（ビット7） 7ピン（ビット6） 6ピン（ビット5） 4ピン（ビット4） 出力 3ピン（ビット3） 2ピン（ビット2） 短絡保護 max50mA 1ピン（LSB ビット1） 回路 14ピン（エラー出力） 12ピン（MSB ビット10） 主 主 11ピン（ビット9） 9ピン（ビット8） 回 回 10ピン（コモン） 8ピン（ビット7） 7ピン（ビット6） 路 路 6ピン（ビット5） 4ピン（ビット4） 3ピン（ビット3） 13ピン（モニタ出力） 2ピン（ビット2） 負荷 負荷 1ピン（LSB ビット1） 負荷 負荷 出力 14ピン（エラー出力） 短絡 保護 max50mA 10ピン（コモン）回路 15ピン（電源−） 15ピン（電源−） FCM−□−□ PSN□ FCM−□−□ PSP□ （パラレル入力、スイッチ出力+エラー出力タイプ NPN出力） （パラレル入力、スイッチ出力+エラー出力タイプ PNP出力） 5ピン（電源+） 5ピン（電源+） 12ピン（MSB ビット10） 11ピン（ビット9） 9ピン（ビット8） 出 8ピン（ビット7） 力 max50mA 7ピン（ビット6） 短 6ピン（ビット5） 絡 13ピン（スイッチ出力） 4ピン（ビット4） 保 3ピン（ビット3） 護 2ピン（ビット2） 回 max50mA 1ピン（LSB ビット1） 路 14ピン（エラー出力） 主 12ピン（MSB ビット10）主 11ピン（ビット9） 回 9ピン（ビット8）回 8ピン（ビット7） 10ピン（コモン） 路 路 7ピン（ビット6） 6ピン（ビット5） 4ピン（ビット4） 負荷 3ピン（ビット3） 13ピン（スイッチ出力） 2ピン（ビット2） 負荷 負荷 出 1ピン（LSB ビット1） 力 短 負荷 絡 max50mA14ピン（エラー出力） 保 護 回 路 max50mA 10ピン（コモン） 15ピン（電源−） 15ピン（電源−） ■ コネクタピン配置（製品本体側） ［パラレル入力タイプ］ ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ⑫ ⑬ ⑭ ⑮ 11 − ＋ − ＋ − ＋ − ＋

FCM Series 機能説明 小形流量コントローラ FCMシリーズの機能について 機能説明 機能対応機種 機能 内容 アナログ入力 パラレル入力 操作方法 アナログ出力 スイッチ出力 アナログ出力 スイッチ出力 ダイレクト 目標値をキー入力できます。外部からの入力信号がなくても製品の操作 メモリ機能 キーで制御流量を自由に調整可能です。 ○ ○ ○ ○ P14、15 Ｐ25 プリセット 任意の流量を4点指定し、外部からの2bit信号入力（PLC等からの信 P16 入力機能 号）で流量制御できます。 ○ ○ P25 アナログ 入力機能 アナログ入力信号で流量を制御できます。 ○ ○ P18 P25 パラレル パラレル10bit（PLC等からの信号）で流量制御できます。Ｄ／Ａコン P19 入力機能 バータ等の高価な入出力機器が不要です。 ○ ○ P24 流量を積算します。積算流量表示の他に、下記の機能があります。 ・設定積算流量で電磁弁を閉止する P20 ・積算パルス機能（スイッチ出力タイプのみ）注1 P21 積算機能 ・設定積算流量でスイッチON（スイッチ出力タイプのみ）注1 ○ ○ ○ ○ P24 積算値のリセット方法 （注1） （注1） P26 ・アナログ入力タイプ：外部入力、ボタン操作 P27 ・パラレル入力タイプ：ボタン操作のみ 下記のスイッチ機能を選択できます ・ 1 許容差モード：制御目標値に対して、許容値以内（任意設定）でスイッチON ・ 2 範囲指定モード：指定流量範囲外で、スイッチをON ・ 3 積算パルス：積算時、積算パルスを出力 ・ 4 設定積算以上ON：設定積算流量でスイッチON 〈モード1：許容差モード〉 〈モード2：範囲指定モード〉 H（＋許容側） H（上限側） 入力信号設定値 L（−許容側） L（下限側） P21 スイッチ 出力機能 ON ON ○ ○ P22 出力 出力 P23 OFF OFF P26 〈モード3：積算パルス〉 〈モード4：設定積算値以上ON〉 約50msec ON ON OFF OFF パルス出力レートに 設定積算値 ついては20、21ページを 参照ください。 入力信号の、ゼロ点、スパン点を変えることができます 〈無効の場合〉 〈有効の場合〉 入力信号 ゼロ・ 100％ 100％ スパン 制御 スパン点（H）設定範囲 ○ ○ P26 調整機能 流 ゼロ点（L）設定範囲 10〜100％量 0〜50％ 0％ 100％ 0％ 100％ 入力信号 入力信号 ゼロ点調整 流量出力のゼロ点を調整します ○ ○ ○ ○ P27 オート 約１分間操作しない場合、流量表示を消灯します（オートパワーオフ機能で パワーオフ は、制御は停止しません）。無駄な表示を消すため省エネ運転が可能です。 ○ ○ ○ ○ P26 エラー表示 エラーの状態を表示できます。エラー表示の他に、下記の機能があります 機能 ・エラー時はエラー出力をON（E01、E02、E05のみ適用） ○ ○ ○ ○ P13 ・エラー時に自動的に制御停止 P27 エラー エラー時に制御を停止し、バルブを全開又は全閉し、エラー出力をONし 自動遮断 ます ○ ○ ○ ○ P27 キーロック 誤操作を防止するため、設定変更をできなくします ○ ○ ○ ○ P24 設定 リセット 設定を工場出荷時に戻します（入力信号選択、スイッチ出力、入力信号ゼロ・スパン調整、オートパワーオフのみ ） ○ ○ ○ ○ P24 12

FCM Series 表示・操作部の名称と機能 出力表示（赤色） 3桁数字LED表示（緑色） ● 機能設定確認時、“Ｆ”が表示されます。 ● RUNモード（瞬時流量表示）時、瞬時流量表示・機能設定内容を表示します。 ※機能設定内容表示時は、設定モード番号と設定内容を表示します。 ● スイッチ出力ON時、“−”が点灯します。 ● 各データ設定時、数値等を表示します。 （スイッチ出力タイプのみ） ● エラー表示時、エラーコードNo.を表示します。 ※過電流検出時、点滅します。 ※積算パルス出力では、点滅しません。 〈瞬時流量表示時〉 〈設定内容表示時〉 〈エラー出力時〉 〈無効表示〉 ● エラー出力ON時、“E”が点灯します。 ※過電流検出時、点滅します。 ※ 機能設定において上下限がある場合、また積算流量表示 設定内容 コードNo. 設定内容 の上位桁、下位桁を示すときに 設定モード番号 設定モード番号 や を表示します。 UPキー（MODEキー） ● 数値等のカウントアップに使用します。 ● 設定モードの変更に使用します。 ● 設定項目の変更に使用します。 キー Shiftキー（OFFキー） ● 設定モードの確定に使用します。 ● 数値等の桁選択に使用します。 ● 設定項目の確定に使用します。 ● 強制OFF（制御停止）するとき、強制OFFから ● 積算表示に切り替えるときに使用します。 復帰するときに使用します。 ＋ キー（ENTキー） ＋ キー（DOWNキー） ＋ キー ● 数値の確定に使用します。 ● 数値等のカウントダウンに使用します。 ● 初期化するときに使用します。 ● キーロック解除時に使用します。 ● キーロック時に使用します。 ● 積算リセット時に使用します。 エラーコード表 エラー表示 原 因 対 策 エラー自動遮断適用エラー（注1） 電源電圧が定格外で供給されている。 ● 本機の電源仕様をご確認の上、電源電圧を定格範囲内にし、 （DC19.5V以下にて検出、検出精度±10％F.S.） 電源を再投入してください。 ○ 入力信号が定格の範囲を超えて入力されている。 ● 本機の入力信号タイプをご確認の上、入力信号を定格範囲 （入力110％F.S.以上にて検出、検出精度±1％F.S.） 内にし、電源を再投入してください。 ○ EEPROMの読込み、書込みにエラーが発生。 ● 最寄の弊社営業所・代理店にご連絡ください。 メモリの読込み、書込みにエラーが発生。 ● 最寄の弊社営業所・代理店にご連絡ください。 ● 一次側の圧力をご確認の上、定格動作差圧範囲内の圧力を 流量が約5秒以上連続して設定値に到達していない。 供給し、電源を再投入してください。 （設定値と制御値の差が±20％以上の場合、検出 ● 配管・継手・他の機器から漏れがないかご確認の上、正し ○ 精度±6％F.S.） く接続し、電源を再投入してください。 ● 最寄の弊社営業所・代理店にご連絡ください。 ● 本機への流体の供給を止め、流量設定をゼロに設定し、本 センサに出力異常が発生しています。 機の電源を入れなおしてください。再度このエラーが出る場合には最寄の弊社営業所・代理店 ○（注2） にご連絡ください。 スイッチ出力の過電流保護回路が作動しています。 ● 負荷電流が定格を超えていないかどうかをご確認の上、正しく接続し、電源を再投入してください。 エラーは基本的に自動復帰しますが、自動復帰しない場合は、一度電源を落とし、エラーの原因を確認・修正後、電源を再投入してください。 注1：出荷時はエラー自動遮断がOFF（エラー時：バルブ全閉）に設定されています。詳細は、27ページを参照ください。 注2：エラー自動遮断の設定にかかわらず、OFF（エラー時；バルブ全閉）になります。 13

FCM Series 操作方法 流量を制御する 1 ダイレクトメモリ機能で流量を制御する場合 目標値をキー入力できます。外部からの入力信号がなくても製品の操作キーで制御流量を自由に調整可能です。 ダイレクトメモリ機能には、2つの動作モードがあります。 ・ダイレクトメモリ 1 ：数値変更で設定が反映されます（数値を確定しなくても、数値の変更で流量を可変できます。 流量の微調整を行いたいときに便利です。流量が決定したら設定値を確定してください。） ・ダイレクトメモリ 2 ：数値を確定させると反映されます（数値を確定しないと、流量は変化しません。） ＜ダイレクトメモリ1の操作方法＞ ＜瞬時流量表示＞ 1 電源投入 瞬時流量を表示します。 約3秒後、瞬時流量表示に戻ります。 2 キーを押すと＜F1：入力信号確認＞画面に入 り、現在の入力信号設定状態を表示します。 ＜F1：入力信号確認＞ ＜入力値表示＞ 現在の入力信号タイプと入力値を交互に表示します。 交互表示 （ボタンを押さずに3秒経過すると、瞬時流量表示に 戻ります。） 2秒長押し ＜入力信号タイプ＞ ダイレクトメモリ入力 ：dr 3 キーを約2秒長押しすると、“F1.dr”が点滅 アナログ入力 0-10V ：A0アナログ入力 0-5V ：A1 します。 アナログ入力 4-20mA ：A2 パラレル入力 ：PA 2秒長押し プリセット入力 ：P1 4 キーを約2秒長押しして＜ダイレクトメモリ 1 設定＞画面に入ります。 ＜目標値設定方法＞ キー：桁移動 5 数値を変更すると、流量が変わります。数値を確定 キー：数値カウントアップ しなくても、数値の変更で流量を可変できます。 キー：数値カウントダウン ＜流量設定範囲＞ フルスケール流量 2秒長押し 流量ゼロ バルブ全開 設定流量 ＜F1：入力信号確認＞ ＜入力値表示＞ 6 キーを同時に約2秒長押しして数値を確 交互表示 定します。＜F1：入力信号確認＞画面に戻ります。 ＜瞬時流量表示＞ 7 約3秒後、自動的に瞬時流量表示に戻ります。 強制OFF（流量ゼロ）方法 ＜瞬時流量表示＞ ＜強制OFF表示＞ 流量制御状態 流量制御停止状態 流量制御状態（瞬時流量表示）で、 キーを約2 秒長押しすることにより、制御を強制的に停止（流 2秒長押し 量ゼロ）することができます。 電磁弁強制OFF状態を表示 し ま す 。 入 力 信 号 が また、流量制御停止状態（強制OFF）で、 キー 入っている状態でも、強 制的に制御を停止できま を約2秒長押しすることにより、流量制御状態に戻す す。 ことができます。 14

FCM Series 流量を制御する ＜ダイレクトメモリ2の操作方法＞ 1 電源投入 瞬時流量を表示します。 ＜瞬時流量表示＞ 約3秒後、瞬時流量表示に戻ります。 2 キーを1回押すと＜F1：入力信号確認＞画面 に入り、現在の入力信号設定状態を表示します。 ＜F1：入力信号確認＞ ＜入力値表示＞ 現在の入力信号タイプと入力値を交互に表示します。 交互表示 （ボタンを押さずに3秒経過すると、瞬時流量表示に 戻ります。） 2秒長押し ＜入力信号タイプ＞ ダイレクトメモリ入力 ：dr アナログ入力 0-10V ：A0 3 キーを約2秒長押しすると、“F1.dr”が点滅 アナログ入力 0-5V ：A1 します。 アナログ入力 4-20mA ：A2パラレル入力 ：PA プリセット入力 ：P1 2秒長押し 4 キーを約2秒長押しして＜ダイレクトメ モリ 2 設定＞画面に入ります。 ＜目標値設定方法＞ キー：桁移動 キー：数値カウントアップ 5 数値を変更する。 キー：数値カウントダウン （数値を確定しないと、流量は変化しません） 2秒長押し ＜F1：入力信号確認＞ ＜入力値表示＞ 6 キーを同時に約2秒長押しして数値を確 交互表示 定します。＜F1：入力信号確認＞画面に戻ります。 ＜瞬時流量表示＞ 7 約3秒後、自動的に瞬時流量表示に戻ります。 強制OFF（流量ゼロ）方法 ＜瞬時流量表示＞ ＜強制OFF表示＞ 流量制御状態（瞬時流量表示）で、 キーを約2 流量制御状態 流量制御停止状態 秒長押しすることにより、制御を強制的に停止（流量 ゼロ）することができます。 2秒長押し 電磁弁強制OFF状態を表 また、流量制御停止状態（強制OFF）で、 キー 示 し ま す 。 入 力 信 号 が 入っている状態でも、強 を約2秒長押しすることにより、流量制御状態に戻す 制的に制御を停止できま ことができます。 す。 注意： ・ ダイレクトメモリ設定時は、制御を停止しません。安全を考慮して、場合によっては制御を停止 （強制OFF）させてから行ってください。 ・流量制御／強制OFF状態（設定値）は電源を切っても保持されます。 15