マイクロオプティカルセンサ MICROmote ®

モジュラー式システムが可能にする類まれな柔軟性 超小型でハイレベルな光学性能 マイクロオプティカルセンサ MICROMOTE アプリケーション事例 - エンドエフェクタに センサを内蔵したウェハマッピング 2.3 1.5 極めて薄いエンドエフェクタにセンサを取付 また、私たちのMICROmoteは、FOUPやカセッ けることは、その機械的特性上、極めて困難 トの各スロットごとに、ウェハ有無や重なり、斜 です。このような場合、個々のお客様の要求を め挿入を常に高い精度で検出できます。 満たしながら、可能な限り小さなスペースへ の設置と高い検出精度も達成しなければな 極めて精度高く均一な光で、厚さわずか数μm りません。 のウェハのエッジを正確に検出することがで 原寸大 1:1 きます。 バルーフのマイクロオプティカルセンサ MICROmoteは、モジュラー式システムにより、 特許を取得している光学レンズ技術により、照 このような厳しい機械的設置条件でも、セン 射角と集光度をお客様のご要望に合わせてカ サヘッドを完璧に適合させることができます。 スタマイズすることも可能です。 ウェハマッピング 6.5

超小型サイズ – 様々な用途で使用可能 MICROmote バルーフのMICROmoteは、その極めて小さな 形状であらゆる用途で使用でき、特にファイバ 光電センサヘッド ーセンサでは困難なアプリケーションを実現 させる理想的な選択肢となります。このセン センサアンプ サは、別体のセンサアンプと超小型の光電セ ンサヘッドで構成されます。アンプとヘッドは 極めて柔軟ながらとても頑丈なケーブルで接 続します。 モジュラー式システム - 柔軟な組合せ 革新的なセンサ素子を搭載したモジュラー式 システムのMICROmoteは、様々な要件に対 応します。それぞれのセンサヘッドはすべての センサアンプと組み合わせて使用できます。ス ペースに限りがある場合でも、豊富なハウジ ング形状のセンサヘッドで、設計の自由度が 標準タイプ 真空アプリ 液体検出用 高くなります。 ケーション用 MICROspot – 卓越した精度 距離25 mmでの スポット径 精密で微小な光学素子は、どのようなアプリ ø スポット径 ケーションにおいても、高いプロセス精度を確 [mm] 保します。 35 このシリーズでは、照射角 3°の円形スポット 30 光で製造されたLEDが採用されています。そし 標準的な赤色LED 25 て特筆すべき点は、このLEDの製造公差が非 常に小さいことです。 20 標準的な 15 赤色LED 10 MICROspot 5 センサヘッドからの MICROspot 5 10 15 20 25 30 35 40 45 距離 [mm] 個別の要求に応える独自のパッケージ・ 特徴 ソリューション ■ 高度な小型化と高別の仕様で ■ 包括的なモジュラー式システムで最高 MICROmoteの光学的特性と機械的特性の相 機械設計に最高の自由度 の柔軟性 乗効果で、特に装置への内蔵や小型化が重要 ■ ドラッグチェーンに対応する極めて ■ 広いエリアを検出するエリアセンサ なアプリケーションへ、お客様の特定の要件 柔軟なセンサケーブル ■ 最大耐荷重 90 kgのセンサケーブル を満たす独自のパッケージ・ソリューションを ■ 豊富な光源タイプと波長であらゆる 提供することができます。 アプリケーションでの使用に対応 www.balluff.com バルーフ株式会社 東京都中央区日本橋茅場2-9-8 茅場町第2平和ビル 3F · www.balluff.com/go/contact 958125_AA · JA · D18 · 内容は予告なく変更される場合があります。