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独自に開発したRAS方式がさらなる進化
独自に開発したRAS方式はさらに進化し、高規格の光学薄膜から機能性装飾膜まで広範囲の成膜が可能になりました。
・波長シフトの無い高密度な光学薄膜形成が可能
・中間屈折率（膜高屈折率材料と低屈折率材料の混合膜）を利用し光学薄膜設計が容易に
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このカタログについて
| ドキュメント名 | ロードロック式スパッタ成膜装置 RAS-1100C |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 953Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社シンクロン (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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