低濃度から高純度まで幅広くプロセス・ガスをモニター　ガス分析計

ガス分析計 お問い合わせ 低濃度から高純度まで幅広く 工業事業本部 ■ 分析機器部 プロセス・ガスをモニター 〒108-8509 東京都港区芝浦3-4-1 グランパークタワー TEL : 03-6414-6751 FAX : 03-5232-4310 ■ 筑波テクノロジーセンター 〒300-2635 茨城県つくば市東光台5-9-8 TEL : 029-847-9803 FAX : 029-847-9804 ■ IM東日本地域本部 〒108-8509 東京都港区芝浦3-4-1 グランパークタワー TEL : 03-6414-6761 FAX : 03-5232-4315 ■ IM中部地域本部 〒457-0801 愛知県名古屋市南区丹後通5-1-12 TEL : 052-612-3260 FAX : 052-612-3231 ■ IM関西地域本部 〒661-8558 兵庫県尼崎市南塚口町4-3-23 TEL : 06-6429-3321 FAX : 06-6427-9289 ■ IM西日本地域本部 〒812-0892 福岡県福岡市博多区東那珂1-14-20 TEL : 092-411-1931 FAX : 092-415-1334 AAK00011 201306/1,000/ALJIM/M www.jp.airliquide.com ※分析機器部はISO9001の認証を取得しています。 www.jp.airliquide.com ※本分析計の保証範囲は、納入品に限定し、納入品の故障に起因する損害、事故の補償は致しかねます。予めご了承下さい。

産業ガス供給のエキスパートによる各種ガス分析計 ガス分析計は、プロセスガスの純度・不純物を監視し、お客様の 日本エア・リキードは、産業・医療ガスメーカーの立場から各種ガス分析計の開発、製品化を行なっ 信頼性向上に貢献します。 てまいりました。ガスの品質を知るために欠かせない高感度な分析計や、ガス使用プロセスで重視 お客様の製品の品質に影響を及ぼすプロセスガスをモニターします。 される高精度で安定性の高い分析計やトータル分析システムを様々な用途に供給しております。 プロセスにおけるリスクの高い可燃性ガスや不活性ガスをモニ 特に世界トップレベルの高感度で知られるハーシェ微量酸素分析計は国内はもとより、海外40ヶ国 ターします。各種研究開発に貢献します。 以上で使用されております。 品名・型式 測定レンジ 特　　徴 用　途 品名・型式 測定レンジ 特　　徴 用　途 MX1-A ●自動（無人）運転が必要 静電 DPOシリーズ ●応答が速い：薄膜酸化アルミニウム被 ●ガス製造プラントにおけ MX1-S MX1-A： ●高 感 度：MX1-Aは､最小 検 出 感 度 とされる窒素発生プラ　0－1ppb～1,000ppb 20pptという他の追随を許さない高 容ント。特にMX1は自動 －110～＋20℃ 膜構造により、応答が早くなりまし る水分モニター MX1-S： 量感度を実現しました｡ 　　 または た。 ●電子部品・半導体製造プ 　0－0.1～100ppm 運転機能を有しており、 式 －110～＋40℃（要指定） ●測定範囲が広い ロセス､各種熱処理プロ●ゼロガスボンベ･標準ガスボンベ不要： 無人プラントに最適 露 ハ 上記の間で任意に１レンジ 重量：本体部：約0.25kg ●測定可能ガス：空気、N2、O2、Ar、 セスにおける水分モニ本体内にゼロガス発生器・標準ガス発 ー 設定可能 ●N2､H2､He等の高純度 点 　　　プローブ部：約0.12kg H2、He、CO、CH4、C2H6、C3H8、他 ター 重量：約15kg 生器を内蔵しています｡ ガス精製装置の出口管 計 寸法：104(W)x121.8(D)x57(H)mmシ 寸法：335(W)x425(D)x335(H)mm　 ェ ●JIS規格に採用された分析計：JIS 理 ●混合ガスの各種モニ MXN/Y K0225「希釈ガス及びゼロガス中の 熱 CALOMAT-6E N2 中の H2：　 型 MXN/Y ●半導体工場で使われる 0－1 ～ 0－100% ●サプレッションレンジ可能：　 ター、コントロール ガ 　0－10～10,000ppb 微量成分測定方法」にガルバニ電池式 伝 高純度バルクガスの不 Ar 中の H2：　 　例）95－100% H2/N2 ●水素発生プラントにおけ ル MXN/S （但し、精度保証は 導酸素計が採用されています。 純物酸素モニター 度 0－1 ～ 0－100% ●多機能：各種入出力を標準装備（アナ るモニター バ 　50ppb以上のレンジ） ●自動運転が可能：MX1は蒸留水自動 式 N2 中の He：　 ログ入出力、バイナリー入出力、 ●各種炉、プロセスにおけ ニ MXN/S ●ASUなどのガス製造プ ガ 0－2 ～ 0－100% RS485）自動校正、ノイズ抑制も可 る水素モニター　0－0.1～100ppm 補給機能を備え､年1回の校正で済む電 ラントでの不純物酸素 Ar 中の He：　 ●Ar精製プラントの過剰 池 （但し、精度保証は ため､ほぼ 無 人 運 転 が 可能です。 モニター ス 分 0－2 ～ 0－100% 能 水素モニター、Ar純度モ 式 重量：約15kg 　0.5ppm以上のレンジ） MK3/Nはオプションで蒸留水補給機 ●ガス貯蔵タンクのモニ N2 中の Ar：　 ●優れた精度：±1% F.S. ニター 酸 寸法：335(W)x425(D)x335(H)mm　 この間で１レンジ任意設定 能を付加することができます。 析 ター 計 重量：約10kg 0－10 ～ 0－100% ●迅速な応答性：90%応答5秒以内 ●製鋼プロセスにおける各 素 ●MFCを内蔵：全機種､MFCを内蔵し ●ガスローリー車のモニ 寸法：483(W)x384.5(D)x177(H)mm その他各種 種ガスモニター 分 MK3/N ており､流量の設定が容易です｡ 析 ターMK3/NJ 0－0.5ppm UMT-6E●周囲温度の変化に対して影響を受け計 ●減圧弁､配管､マスフロー ●1～2成分の成分測定が可能0－1ppm にくい：高感度機種では問題となる周 　成分限定で4成分まで測定可能 MK3/N： 0－10ppm コントローラーの製品 例（最小レンジ） 重量：約13kg 囲温度の影響を受けにくい仕様です。 ●優れた安定性0－100ppm 評価用 CO2 : 0－5ppm ●ガス製造プラントにおけ 寸法：335(W)x256(D)x335(H)mm ●測定可能ガス：N2、Ar、H2、He、Ne、 ●配管施工後の品質確認 CO : 0－10ppm ●迅速な応答性：90%応答10秒以内 る不純物モニター、純度 MK3/NJ： 固定4レンジ手動切替 Xe、Kr、他 ●ガスボンベの出荷前検 重量：約18kg 赤 CH4 : 0－50ppm ●指定範囲内でのレンジ設定が任意に変 測定 寸法：420(W)x256(D)x470(H)mm 査 外 重量：約15kg 更可能 ●燃焼炉の排ガスモニター ク 線 寸法：483(W)x495(D)x177(H)mm ラ MKI-50SU タイプL 0－20ppm ●窒素リフロー炉における ●石油精製プラントのガス ー 式 ク（出入口電磁弁なし） 0－200ppm 酸素モニター ガ UMT-23 モニター 型 0－2,000ppm ●エアー校正が可能：エアー校正用のレ 例（最小レンジ） ●各種熱処理炉における酸 ス ●1～3成分の成分測定が可能 ●各種研究・開発ガ ル MKI-50SL タイプH 0－200ppm ンジを装備。校正が容易です。 分 CO2 : 0－50ppm素モニター （0～25％のO2センサ搭載可能）バ（出入口電磁弁あり） ●ポンプを内蔵：サンプリングポンプを パネル組込タイプ ●青果物貯蔵庫の雰囲気測 ニ 0－2,000ppm 析 重量：約10kg CO : 0－50ppm電 ●UV装置､EB装置におけ ●サンプリングポンプ内蔵タイプあり 定池 0－2% 内蔵しています。 計 寸法：483(W)x300(D)x177(H)mm CH4 : 0－500ppm式 ●自動校正が可能 ●家畜糞尿処理排ガス測定 酸 素 ●小型・軽量 る酸素モニター C2H4 : 0－2000ppm ●優れた安定性 ●温室効果ガス測定 分 重量：約8.5kg 固定3レンジ手動切替 ●ガス製造設備・充填所に 析 SO2 : 0－150ppm寸法：376(W)x320(D)x177(H)mm （LかHか要指定） おける酸素測定 ●迅速な応答性：90%応答10秒以内 ●バイオガス測定計 ポータブルタイプ NO : 0－200ppm ●指定範囲内でのレンジ設定が任意に変 ジ OMZ/MD-A OMZ/MD-A 重量：約10kgル 　0－5、10、25% ●応答が早い：90%応答10秒以内 H2S : 0－500ppm ●ガスプラント､充填所に 更可能寸法：465(W)x314(D)x160(H)mm　 コ OMZ/MD-B OMZ/MD-B 　（MD-A、MD-Bの場合） おける酸素モニターニ ア OMZ/MD-S 　0－1、25、100% ●標準ガスボンベ不要：エアーにて校正 ●各種ガスプロセスにおけ Ｔ FIDAMATシリーズ ●優れた安定性 ●ガス製造プラントにおけ 式 OMZ/MD-S 可能（MD-A、MD-Bの場合） る酸素モニター Ｈ THC: 0－10ppm ～ ●迅速な応答性：90%応答5秒以内 る不純物THCモニター 酸 OMZ/MD-H 　0－10、100、1,000ppm ●ポータブル・パネル組込兼用 ●排ガス監視 Ｃ 0－99,999ppm ●各種入出力を標準装備（アナログ入出素 OMZ/MD-H ●各種プロセス・ガスにお 分 　0－100、1000、10,000ppm ●操作簡単 ●各種熱処理炉における酸 分 　　　の間で任意設定可能 力、バイナリー入出力、RS485） けるTHCモニター 析 重量：約5.5kg 析 ●H2安全装置を搭載 計 寸法：175(W)x260(D)x206(H)mm ●小型・軽量 素モニター 重量：約23kg 固定３レンジ手動切替 計 ●各種研究・開発寸法：483(W)x457(D)x177(H)mm ●ガスクロにはできない連続測定が可能 磁 POM-61 POM-61　0－2%～0－100%, ●応答速度が早い：90%応答 ●ガスプラント・充填所に OMZ/Fシリーズ気 ●酸欠または酸素漏洩を常時監視 ●医療（MRI）ルーム、クリーPOM-6E 　98－100% 　　　POM-61 10秒以内 おける酸素純度測定式 ●警報接点出力3点を装備 ンルーム等の酸欠監視 酸 POM-6E 　　　POM-6E 5秒以内 ●医療用酸素モニター 酸 素 ●警報ランプ､警防ブザーを装備 ●ビール工場､清涼飲料水 素 　0－0.5%～0－100%, ●測定可能ガスが多い：ほとんどのガス ●製鋼プロセス監視 センサー部： 警 重量 約0.35kg OMZ/F-ST ●視認性の高いディスプレイ､表示部 工場における酸欠防止用 分 　99.5－100% の中の酸素測定が可能 ●各種熱処理炉における酸 報 寸法 125(W)x35(D)x125(H)mm 　0－30% O2 ●4－20mA出力付有り ●不活性ガスを使用する環 析 ●レンジ設定が任意：左記レンジ内でレ 素モニター 器 表示部： 境における酸欠防止用 計 重量：約13kg 上記の間で任意に４レンジ ●応答速度が速い：閾値発報3秒以内 重量 約2.5kg 寸法：483(W)x356(D)x177(H)mm 設定可能 ンジ設定が簡単にできます。 ●腐食性ガス中の酸素測定 寸法 160(W)x50(D)x290(H)mm　 ●センサーは非消耗型 ●酸素使用場所の酸素漏洩 2 3

産業ガス供給のエキスパートによる各種ガス分析計 ガス分析計は、プロセスガスの純度・不純物を監視し、お客様の 日本エア・リキードは、産業・医療ガスメーカーの立場から各種ガス分析計の開発、製品化を行なっ 信頼性向上に貢献します。 てまいりました。ガスの品質を知るために欠かせない高感度な分析計や、ガス使用プロセスで重視 お客様の製品の品質に影響を及ぼすプロセスガスをモニターします。 される高精度で安定性の高い分析計やトータル分析システムを様々な用途に供給しております。 プロセスにおけるリスクの高い可燃性ガスや不活性ガスをモニ 特に世界トップレベルの高感度で知られるハーシェ微量酸素分析計は国内はもとより、海外40ヶ国 ターします。各種研究開発に貢献します。 以上で使用されております。 品名・型式 測定レンジ 特　　徴 用　途 品名・型式 測定レンジ 特　　徴 用　途 MX1-A ●自動（無人）運転が必要 静電 DPOシリーズ ●応答が速い：薄膜酸化アルミニウム被 ●ガス製造プラントにおけ MX1-S MX1-A： ●高 感 度：MX1-Aは､最小 検 出 感 度 とされる窒素発生プラ　0－1ppb～1,000ppb 20pptという他の追随を許さない高 容ント。特にMX1は自動 －110～＋20℃ 膜構造により、応答が早くなりまし る水分モニター MX1-S： 量感度を実現しました｡ 　　 または た。 ●電子部品・半導体製造プ 　0－0.1～100ppm 運転機能を有しており、 式 －110～＋40℃（要指定） ●測定範囲が広い ロセス､各種熱処理プロ●ゼロガスボンベ･標準ガスボンベ不要： 無人プラントに最適 露 ハ 上記の間で任意に１レンジ 重量：本体部：約0.25kg ●測定可能ガス：空気、N2、O2、Ar、 セスにおける水分モニ本体内にゼロガス発生器・標準ガス発 ー 設定可能 ●N2､H2､He等の高純度 点 　　　プローブ部：約0.12kg H2、He、CO、CH4、C2H6、C3H8、他 ター 重量：約15kg 生器を内蔵しています｡ ガス精製装置の出口管 計 寸法：104(W)x121.8(D)x57(H)mmシ 寸法：335(W)x425(D)x335(H)mm　 ェ ●JIS規格に採用された分析計：JIS 理 ●混合ガスの各種モニ MXN/Y K0225「希釈ガス及びゼロガス中の 熱 CALOMAT-6E N2 中の H2：　 型 MXN/Y ●半導体工場で使われる 0－1 ～ 0－100% ●サプレッションレンジ可能：　 ター、コントロール ガ 　0－10～10,000ppb 微量成分測定方法」にガルバニ電池式 伝 高純度バルクガスの不 Ar 中の H2：　 　例）95－100% H2/N2 ●水素発生プラントにおけ ル MXN/S （但し、精度保証は 導酸素計が採用されています。 純物酸素モニター 度 0－1 ～ 0－100% ●多機能：各種入出力を標準装備（アナ るモニター バ 　50ppb以上のレンジ） ●自動運転が可能：MX1は蒸留水自動 式 N2 中の He：　 ログ入出力、バイナリー入出力、 ●各種炉、プロセスにおけ ニ MXN/S ●ASUなどのガス製造プ ガ 0－2 ～ 0－100% RS485）自動校正、ノイズ抑制も可 る水素モニター　0－0.1～100ppm 補給機能を備え､年1回の校正で済む電 ラントでの不純物酸素 Ar 中の He：　 ●Ar精製プラントの過剰 池 （但し、精度保証は ため､ほぼ 無 人 運 転 が 可能です。 モニター ス 分 0－2 ～ 0－100% 能 水素モニター、Ar純度モ 式 重量：約15kg 　0.5ppm以上のレンジ） MK3/Nはオプションで蒸留水補給機 ●ガス貯蔵タンクのモニ N2 中の Ar：　 ●優れた精度：±1% F.S. ニター 酸 寸法：335(W)x425(D)x335(H)mm　 この間で１レンジ任意設定 能を付加することができます。 析 ター 計 重量：約10kg 0－10 ～ 0－100% ●迅速な応答性：90%応答5秒以内 ●製鋼プロセスにおける各 素 ●MFCを内蔵：全機種､MFCを内蔵し ●ガスローリー車のモニ 寸法：483(W)x384.5(D)x177(H)mm その他各種 種ガスモニター 分 MK3/N ており､流量の設定が容易です｡ 析 ターMK3/NJ 0－0.5ppm UMT-6E●周囲温度の変化に対して影響を受け計 ●減圧弁､配管､マスフロー ●1～2成分の成分測定が可能0－1ppm にくい：高感度機種では問題となる周 　成分限定で4成分まで測定可能 MK3/N： 0－10ppm コントローラーの製品 例（最小レンジ） 重量：約13kg 囲温度の影響を受けにくい仕様です。 ●優れた安定性0－100ppm 評価用 CO2 : 0－5ppm ●ガス製造プラントにおけ 寸法：335(W)x256(D)x335(H)mm ●測定可能ガス：N2、Ar、H2、He、Ne、 ●配管施工後の品質確認 CO : 0－10ppm ●迅速な応答性：90%応答10秒以内 る不純物モニター、純度 MK3/NJ： 固定4レンジ手動切替 Xe、Kr、他 ●ガスボンベの出荷前検 重量：約18kg 赤 CH4 : 0－50ppm ●指定範囲内でのレンジ設定が任意に変 測定 寸法：420(W)x256(D)x470(H)mm 査 外 重量：約15kg 更可能 ●燃焼炉の排ガスモニター ク 線 寸法：483(W)x495(D)x177(H)mm ラ MKI-50SU タイプL 0－20ppm ●窒素リフロー炉における ●石油精製プラントのガス ー 式 ク（出入口電磁弁なし） 0－200ppm 酸素モニター ガ UMT-23 モニター 型 0－2,000ppm ●エアー校正が可能：エアー校正用のレ 例（最小レンジ） ●各種熱処理炉における酸 ス ●1～3成分の成分測定が可能 ●各種研究・開発ガ ル MKI-50SL タイプH 0－200ppm ンジを装備。校正が容易です。 分 CO2 : 0－50ppm素モニター （0～25％のO2センサ搭載可能）バ（出入口電磁弁あり） ●ポンプを内蔵：サンプリングポンプを パネル組込タイプ ●青果物貯蔵庫の雰囲気測 ニ 0－2,000ppm 析 重量：約10kg CO : 0－50ppm電 ●UV装置､EB装置におけ ●サンプリングポンプ内蔵タイプあり 定池 0－2% 内蔵しています。 計 寸法：483(W)x300(D)x177(H)mm CH4 : 0－500ppm式 ●自動校正が可能 ●家畜糞尿処理排ガス測定 酸 素 ●小型・軽量 る酸素モニター C2H4 : 0－2000ppm ●優れた安定性 ●温室効果ガス測定 分 重量：約8.5kg 固定3レンジ手動切替 ●ガス製造設備・充填所に 析 SO2 : 0－150ppm寸法：376(W)x320(D)x177(H)mm （LかHか要指定） おける酸素測定 ●迅速な応答性：90%応答10秒以内 ●バイオガス測定計 ポータブルタイプ NO : 0－200ppm ●指定範囲内でのレンジ設定が任意に変 ジ OMZ/MD-A OMZ/MD-A 重量：約10kgル 　0－5、10、25% ●応答が早い：90%応答10秒以内 H2S : 0－500ppm ●ガスプラント､充填所に 更可能寸法：465(W)x314(D)x160(H)mm　 コ OMZ/MD-B OMZ/MD-B 　（MD-A、MD-Bの場合） おける酸素モニターニ ア OMZ/MD-S 　0－1、25、100% ●標準ガスボンベ不要：エアーにて校正 ●各種ガスプロセスにおけ Ｔ FIDAMATシリーズ ●優れた安定性 ●ガス製造プラントにおけ 式 OMZ/MD-S 可能（MD-A、MD-Bの場合） る酸素モニター Ｈ THC: 0－10ppm ～ ●迅速な応答性：90%応答5秒以内 る不純物THCモニター 酸 OMZ/MD-H 　0－10、100、1,000ppm ●ポータブル・パネル組込兼用 ●排ガス監視 Ｃ 0－99,999ppm ●各種入出力を標準装備（アナログ入出素 OMZ/MD-H ●各種プロセス・ガスにお 分 　0－100、1000、10,000ppm ●操作簡単 ●各種熱処理炉における酸 分 　　　の間で任意設定可能 力、バイナリー入出力、RS485） けるTHCモニター 析 重量：約5.5kg 析 ●H2安全装置を搭載 計 寸法：175(W)x260(D)x206(H)mm ●小型・軽量 素モニター 重量：約23kg 固定３レンジ手動切替 計 ●各種研究・開発寸法：483(W)x457(D)x177(H)mm ●ガスクロにはできない連続測定が可能 磁 POM-61 POM-61　0－2%～0－100%, ●応答速度が早い：90%応答 ●ガスプラント・充填所に OMZ/Fシリーズ気 ●酸欠または酸素漏洩を常時監視 ●医療（MRI）ルーム、クリーPOM-6E 　98－100% 　　　POM-61 10秒以内 おける酸素純度測定式 ●警報接点出力3点を装備 ンルーム等の酸欠監視 酸 POM-6E 　　　POM-6E 5秒以内 ●医療用酸素モニター 酸 素 ●警報ランプ､警防ブザーを装備 ●ビール工場､清涼飲料水 素 　0－0.5%～0－100%, ●測定可能ガスが多い：ほとんどのガス ●製鋼プロセス監視 センサー部： 警 重量 約0.35kg OMZ/F-ST ●視認性の高いディスプレイ､表示部 工場における酸欠防止用 分 　99.5－100% の中の酸素測定が可能 ●各種熱処理炉における酸 報 寸法 125(W)x35(D)x125(H)mm 　0－30% O2 ●4－20mA出力付有り ●不活性ガスを使用する環 析 ●レンジ設定が任意：左記レンジ内でレ 素モニター 器 表示部： 境における酸欠防止用 計 重量：約13kg 上記の間で任意に４レンジ ●応答速度が速い：閾値発報3秒以内 重量 約2.5kg 寸法：483(W)x356(D)x177(H)mm 設定可能 ンジ設定が簡単にできます。 ●腐食性ガス中の酸素測定 寸法 160(W)x50(D)x290(H)mm　 ●センサーは非消耗型 ●酸素使用場所の酸素漏洩 2 3

ガス分析計 お問い合わせ 低濃度から高純度まで幅広く 工業事業本部 ■ 分析機器部 プロセス・ガスをモニター 〒108-8509 東京都港区芝浦3-4-1 グランパークタワー TEL : 03-6414-6751 FAX : 03-5232-4310 ■ 筑波テクノロジーセンター 〒300-2635 茨城県つくば市東光台5-9-8 TEL : 029-847-9803 FAX : 029-847-9804 ■ IM東日本地域本部 〒108-8509 東京都港区芝浦3-4-1 グランパークタワー TEL : 03-6414-6761 FAX : 03-5232-4315 ■ IM中部地域本部 〒457-0801 愛知県名古屋市南区丹後通5-1-12 TEL : 052-612-3260 FAX : 052-612-3231 ■ IM関西地域本部 〒661-8558 兵庫県尼崎市南塚口町4-3-23 TEL : 06-6429-3321 FAX : 06-6427-9289 ■ IM西日本地域本部 〒812-0892 福岡県福岡市博多区東那珂1-14-20 TEL : 092-411-1931 FAX : 092-415-1334 AAK00011 201306/1,000/ALJIM/M www.jp.airliquide.com ※分析機器部はISO9001の認証を取得しています。 www.jp.airliquide.com ※本分析計の保証範囲は、納入品に限定し、納入品の故障に起因する損害、事故の補償は致しかねます。予めご了承下さい。