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半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

製品カタログ

半導体関連装置向けに特化した解析ソフトです

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。
希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、
有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションに活躍。
お客様のニーズに合わせた対応も可能です。

【ラインナップ】
《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》
■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応
■装置内全体のガス流れのシミュレーションが可能

《プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』》
■低圧のプラズマシミュレーションが可能
■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに

この2つのシステムで、半導体製造における薄膜生成、スパッタリング、
プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能です。

※詳しくはお気軽お問い合わせください
HPhttp://www.wavefront.co.jp
MAIL:information@wavefront.co.jp

このカタログについて

ドキュメント名 半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 406.8Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社ウェーブフロント (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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希薄気体流れ / プラズマシミュレーション DSMC-Neutrals は希薄気体流れのシミュレーションソフト ウェアである。非構造メッシュに対応しているために複雑な形 状の計算に対応しており、装置内全体のガス流れのシミュ レーションを可能としています。 MBE DSMC-Neutrals 実験データ キャップあり キャップなし LP-OVPD F : 20 [ sccm ] T : 269 [ ℃ ] CVD Reactor (シャワーヘッドモデル) F : 20 [ sccm ] T : 276 [ ℃ ] F : 40 [ sccm ] T : 269 [ ℃ ] F : 40 [ sccm ] T : 276 [ ℃ ] 極超音速流れ ベナール対流衝撃波 Particle-PLUS は低圧プラズマシミュレーションソフト ウェアである。流体モデルでは計算できない低圧のプラ ズマシミュレーションが可能です。 マグネトロンスパッタ マグネトロンスパッタ (パルス電圧) 2周波モデル ストリーマー 〒220-6112 横浜市西区みなとみらい クイーンズタワー B12階 http://www.wavefront.co.jp TEL: (045)682-7070 FAX: (045)682-7071 E-mail:sales@wavefront.co.jp