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低粘度の液体を15mL/min~の小さい流量から測定。 10種のレンジをご用意。
■ 先進的なマイクロタービン構造により再現性の高い測定が可能。
■ パーティクルの発生が無い
■ ゼロドリフトの問題が無い
■ 各種の溶剤、純水、酸、CMP スラリーに使用が可能。
■ コンパクトなサイズ
このカタログについて
ドキュメント名 | マクミラン社 テフロン製 流量センサ 106Fシリーズ |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 475.5Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 日本パイオニクス株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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Model 106F シリーズ
薬液用流量センサ
■ 先進的なマイクロタービン構造で再現性が高い
■ パーティクルの発生が無い
■ ゼロドリフトの問題が無い
■ 各種の溶剤、純水、酸、CMPスラリーに使
■ が可能
■ U字型の流路設計で片面配管が可能
■ 省スペース
モデル106Fシリーズは、低粘度の液体を15mL マクミラン社のマイクロタービン・ホイールは、水力
/minのように小さい流量から50L/minのよ 発電所に見られるペルトン水車のコンセプトを採用
うに大きい流量まで精度良く測定できる流量センサで しています。ホイールに小さなサファイヤのシャフト
す。ペルトン型のマイクロタービン・ホイール(特許) を圧入し、サファイヤのベアリングで支えられていま
を採用し、優れた再現性を実現しました。プロセスを す。ホイールとシャフトは、軽量なので、液体に浮遊
汚染させるパーティクルの発生がなく、ウルトラクリ した状態で回転します。この浮遊効果により、ホイー
ーンに適したデザインになっています。 ルはベアリングの中央部で浮いているので、シャフト
とベアリングの摩擦がありません。
圧力接続はフレアータイプの継ぎ手を採用し、簡単に
接続でき、液体がネジ部に入り込まないようになって マイクロタービンホイールには、同心円上に8つの貫
います。オプションでSuper300シリーズ(日 通穴が等間隔に設けられています。ホイールが回転す
本ピラー適合)に変更することも可能です。電気ケー ると、テフロンの側壁を通して赤外ビームがホイール
ブル長、電源や出力をいくつかのオプションから選択 に向けて照射されます。反対側の側壁で受光センサ
できるので、各種の用途に利用しやすくなっています。 が、貫通穴を通ってくる赤外ビームを検知し、パルス
本シリーズの接液部の材質はPTFE・サファイヤな 信号に変換します。ホイールがより早く回転すると、
ので、フッ酸・その他の酸・CMPスラリー・溶剤・ パルス数が増え、ホイールが止まると、パルスは出な
純水・現像液など、ほとんどすべての低粘度の液体に
くなります。
使用できます。
圧力損失
レンジ6以外の圧力損失
レンジ6の圧力損失
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精 度 パルス出力(コード A、E) ±3.0% FS 電圧電流出力(コード B、C、D、J、K) ±1.0% FS
再 現 性 ±0.2% FS
使 用 圧 力 定格:540 KPa 最大:680 KPa
媒 体 温 度 標準:5~55℃ オプション(コードHT):5~85℃
周 囲 温 度 運転時:5~55℃ 保管時:0~70℃
感 度 温 度 影 響 ±0.2%FS
接液部・Oリング 材質 接液部:PTFE・サファイア Oリング材質:カルレッツ
本 体 材 質 PTFE、ライトン、バイトン、ポリプロピレン、PVC
推 奨 フ ィ ル タ 25ミクロン以下
適 合 流 体 10cst以下の液体
パルス出力 アナログ出力
矩形波 BOSFETパルス 0~5V:負荷抵抗は2.5KΩ以上 非絶縁
出 力
2500Vで絶縁 0~200Hz(コード3 典型値) 0~10V:負荷抵抗は5KΩ以上 非絶縁
0~500Hz(コード4~ 典型値) 4~20mA:外部抵抗は500Ω以下
12~15VDCタイプ コードA:50mA コードD、K:55mA
消 費 電 流
22~25VDCタイプ コードB、J:55mA コードC:75mA コードE:50mA
電 気 接 続 PVCケーブル
信 頼 性 100,000時間 (MTBF)
①流量レンジ ②電源と出力 ③継手サイズ ④ケーブル
コード 流 量 レ ン ジ コード 電源/出力 コード 継手のサイズ コード ケーブルの長さ
12-15VDC/パルス出
3 15~100 mL/min A F4 1/4”PFAオスフレア C3 0.92m
力
4 20~200 mL/min B 22-25VDC/0-5VDC F6 3/8”PFAオスフレア C6 1.85m
5 50~500 mL/min C 15-25VDC/4-20mA F7 1/2”PFAオスフレア C10 3.1m
6 100~1000 mL/min D 12-15VDC/0-5VDC F8 3/4”PFAオスフレア C15 4.6m
22-25VDC/パルス出
7 200~2000 mL/min E S4 1/4”Super 300 C20 6.2m
力
22-25VDC/0-10VD
8 500~5000 mL/min J S6 3/8”Super 300 C25 7.7m
C
1000 ~ 10000 12-15VDC/0-10VD
9 K S7 1/2”Super 300
mL/min C
15 1.5~15.0 L/min S8 3/4”Super 300
20 2~20 0 L/min S9 1”Super 300
流量 レン ジと継手 サイズ 適合 オプシ ョンコ ード表
コート ゙
F4 F6 F7 F8 S4 S6 S7 S8 S9 HT 媒体温度5~85℃
レンジ
3 ○ ○ ○ ○ マイクロタービンホール
U
4 ○ ○ ○ ○ アップグレード
5 ○ ○ ○ ○
FN PVDFフレアナット
6 ○ ○ ○ ○
7 ○ ○
8 ○ ○
9 ○ ○ ○ ○
15-20 ○ ○ ○ ○ ○
3 0-50 ○ ○ ○
寸 法 図
単位:mm
型式と適合 表をご確認のうえ、下記の例のようにご指定ください。
(例) 106F-3E-F4-C10
品質向上のため、予告なく仕様変更することがあります。
ST事業部
〒114-0001 東京都北区東十条6-10-12
TEL:(03)3903-2181 FAX:(03)3903-0123
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