【導入事例】マイクロエレクトロニクス産業向けTOC測定 2013年8月号

Microelectronics 7 Perspectives in Pure Water Analytics News THORNTON Leading Pure Water Analytics タッチスクリーン式汎用変換器 マルチパラメータ分析の未来 メトラー・トレド ソーントンのイノベーションは、測定精度と信頼性を高い レベルで維持しながら、生産性を向上させることが求められる要求の厳し いマイクロエレクトロニクス産業において、最先端の地位を確立しました。 M800変換器シリーズは、インテリジェントなデジタルセンサ技術を備えた、 これまでで最も高度な汎用変換器です。 マルチパラメータ、 マイクロエレクトロニクス産業用 マルチチャンネル変換器 途に役立つセンサ診断機能や メトラー・トレドソーントンは、 予測メンテナンス機能が備わっ 今まで数々のプロダクトイノベー ています。超純水の全有機炭 ションを起こしてきました。その 素 (TOC)、溶存酸素 (DO)、導電 中の 2 つが測定システムの高速 率 / 比抵抗の正確な測定および かつシンプルな立ち上げを可能 温度補正が重要となるマイクロエ にする、マルチパラメータ変換 レクトロニクス製造施設におい 器とスマートセンサテクノロジー て、M800のマルチパラメータ測 です。 定機能が真価を発揮します。 スマートセンサの次世代モデルで 一目でセンサ診断が可能 あるインテリジェントセンサマネ ISM デジタルセンサ対応の M800 ジメント (ISM®) は 、タッチスク 変換器は、スマートセンサにイ リーンを搭載した最新のマルチ ンテリジェンスをもたらし、極 パラメータ変換器 M800にも採用 めて直感的なユーザーインター されています。 フェイス、幅広い測定パラメータ への対応、さらに予測メンテナ ISM デジタル技術はプラグ＆メ ンス機能などの特長を備えてい ジャー機能を持ち、その他にも ます。

用して、リアルタイムのライフタイ ムを計算します。 • 適応校正タイマー： センサの動作 を基に、次回校正が必要になるま での時間を予測します。 • メンテナンスタイマ： メンテナン スが必要になる時期を示します。 業界標準のマルチパラメータ 測定 ソーントンの変換器は 1台で、導 iMonitor は高度なセンサ診断ユー 一般的な測定システムは、カウ 電率 / 比抵抗、TOC、pH、ORP、 ティリティです。センサが故障し ンターやエラーコードでメッセー DO、溶存オゾン、流量の複数の たときにはじめてアラームを発し ジを表示するため、オペレー パラメータを測定することがで たり、不正確な推測による診断 ターはそれらをユーザーマニュア きます。マルチパラメータ測定装 ではなく、リアルタイムのセンサ ルから解読する必要があります。 置の付加価値が認識されてきた のパフォーマンス情報に基づい M800 の iMonitor には、診断の 今日では、マルチパラメータ測 て、次回メンテナンス時期を予 状態がリアルタイムで表示され、 定は一般的になりつつあります。 測します。iMonitor はそれぞれの 難解な警告シンボルや判読が難 センサの状態を評価して、セン しいエラーメッセージではなく、 ISM搭載のマルチパラメータ変換 サ (または消耗品 ) の残りの寿 対処可能な情報を得ることが可 器は、それぞれの ISM センサと 命を算出し、メンテナンスや交 能で潜在的な問題についても知 直接通信します。センサが正し 換がいつ必要になるかを予測し ることができます。 く認識されると、センサ情報は ます。メンテナンス実行までの 変換器に転送され、接続センサ 日数は、赤、黄色、緑のインジ 診断ツール の特定パラメータを測定するよ ケータで M800 に表示され、ひと • ダイナミックライフタイムインジ うに自動設定されます。このプ 目で状態がわかるようになって ケータ： それぞれのセンサにユ ラグアンドメジャー機能を使用し います。 ニークなアルゴリズムにより、実 て、例えば 4 チャネル対応変換 際の測定値および校正履歴を使 器は、4つの同一パラメータま たは 4種類の異なるパラメータ を測定できます。時間のかかる 変換器設定の必要はな く、すべて自動で行わ れます。マルチパラメー タ変換器は高い柔軟性 を備え、システムは非 Publisher / Production 常にシンプルです。1台 Mettler-Toledo AG の変換器でお客様のプ Process Analytics ロセス分析すべてに対 Im Hackacker 15 応します。 CH-8902 Urdorf Switzerland より高い信頼性と精度 Illustrations ISM センサによって、 Mettler-Toledo AG ソーントンの製品シリー 06photo | Shutterstock.com ズに高度なデジタルセ Rainerplendl | Dreamstime.com ンサの利点が加わりま Subject to technical changes. した。測定のための電 © Mettler-Toledo AG 08/13 子回路をセンサに内 Printed in Singapore 予測診断情報を表示するマルチパラメータ M800 2 METTLER TOLEDO Microelectronics News 7

蔵し、デジタル技術により、セ サ内に収められているため、精 レーニングの労力と設定の失敗 ンサ－変換器間で脆弱なアナロ 度の高い測定が可能となります。 を最小限に抑えます。 グ信号通信を行う必要がありま せん。 ワンタッチで完全制御 優れた設計 高解像度カラーの大画面タッチ 予測診断、マルチパラメータ測 安定したデジタル信号が通信 スクリーンにより、すべての操作 定機能、タッチスクリーンによる ケーブルを介して変換器に送信 がシンプルに行えます。ディスプ 操作、デジタルセンサ技術、そ されるため、ケーブルのキャパ レイには測定値とセンサ診断情 してプラグアンドメジャー機能を シタンスや絶縁性低下、工場内 報から最大 8 つの値を自由に表 組み合わせることで、ISM センサ の電気的ノイズの影響による信 示可能で、重要な情報を 1つの と M800 は最もパワフルで適応 号劣化を防ぎます。これにより、 画面で確認することができます。 性が高く、ユーザーフレンドリー 深刻なプロセス警告や予期せぬ 完全にカスタマイズ可能なウィ な測定システムになりました。 ダウンタイムの原因となる信号劣 ザードにより、3 回ボタンにタッ 化の可能性を抑え、信頼性の高 チするだけであらゆるメニュー機 M800 と ISM の詳細はこちらをご い測定を実現します。また、す 能にもアクセスできます。この 参照ください : べての測定と校正データがセン 画期的なコンセプトによって、ト c www.mt.com/M800 ハードディスク製造における 水質の確保 ハードディスク製造では、全プロセスを通して超純水が必要とされます。仮に規格外の 処理水が製造ラインに供給されれば「、壊滅的な結果」がもたらされることでしょう。ソー ントンのオンライン全有機炭素 (TOC) センサは、世界をリードするハードディスメーカー において、このような事態を回避するために役立っています。 世界的なハードディスクメーカー ハードディスクの中核となる記憶 最新技術で世界をリードする、 媒体です）。 ある大手メーカーは中国南部の 工場を拠点に、最新鋭のハード プラッター製造プロセスでは、 ディスクを専門に製造していま ほぼすべての手順の後に徹底的 す。同社の製品は、1インチ、 な洗浄が行われます。洗浄プロ 2.5インチおよび 3.5インチのハー セスの過程で大量の超純水が ドディスク製品に加え、さまざ 使用されますが、この水質が洗 まなマーケット要求に対応するソ 浄プロセスの効率と製品の品質 リューションに及びます。 を直接左右する可能性があるた め、同社では水質に対して厳格 極めて重要な TOCモニタリング に規定しています（TOC濃度は 工場の超純水システムにおける 2–5 ppb、比抵抗は約 18.1 MΩ-cm 水供給量は 120トン /時間で、年 に規定）。 間 170 万台を製造するプラッター 生産ラインの洗浄水として主に TOC濃度が規定値を超えると、 使用されています（プラッターは 製品品質と歩留りに直接影響を METTLER TOLEDO Microelectronics News 7 3 5000TOC i Sensor

与えるため、深刻な結果を招く の有機物による汚染を防止でき 長ければ、TOC が上限を逸脱し 可能性があります。さらに、製 ます。 たことを検出した時点で、すで 造ライン全体に有機物汚染が引 に 12～ 20 トンもの規格外の超 き起こされ、甚大な経済的損失 「卓越した性能を持つ産業用 純水がさまざまな生産ラインに と生産遅延が発生します。 オンライン TOCセンサ」 送られてしまっている可能性が プラッターの製造では、不適切 あるのです。5000TOCiセンサは、 同社では、超純水システムに な超純水が生産ラインに使用さ 連続オンライン測定により、TOC 2 台の 5000TOC センサを導入し れることを阻止するために、TOC の変化を見逃すことがありま て、それぞれ水の前処理システ のオンラインモニタリングの実施 せん。 ムとユースポイントで TOC をモニ が不可欠です。この点において、 タリングしています。 5000TOC センサは、他の製品と さらに、5000TOCセンサと変換 は明らかに異なる長所を備えて 器によるシステムは、複数のリ 1台目の 5000TOC センサによっ います。具体的には、他の製品 レーとアナログ出力機能を搭載 て、前処理システムが正常に機 は測定に通常 6～ 10分の間隔 しているため、スイッチのオン / 能しているかどうかがモニタリン を要するのに対し、5000TOC セ オフや調整が簡単で、システム グされ、製造された水の品質が ンサはリアルタイムの連続モニタ の輸送ポンプと制御バルブのよ プロセス用水の規格に適合して リングによって、2秒間隔で TOC うな周辺機器にアラームを送信 いることが保証されます。ユース 測定を実施します。分析間隔が することもでき、自動制御と自 ポイントに設置された 2台目の 動モニタリングを実現する上で 5000TOC では、配管中の TOC 汚 非常に便利です。同工場の主任 染をすぐに確認できるため、貯 エンジニアは、5000TOC につい 蔵中または配水中の超純水へ て、「他の類似機器と比較して多 4 METTLER TOLEDO Microelectronics News 7

くの点で際立っています。正確で、 常メンテナンスを大幅に簡素化 お客様の製造施設における生産 安定性があり、使い勝手がよく、 する半自動校正など、さまざま 量の向上と水の消費量削減をご 本当に優れた工業用オンライン な先進機能を備えています。 検討の場合は、こちらをご覧く TOC センサです」と高く評価して ださい： います。 これらの画期的な機能により、 c www.mt.com/TOC 5000TOCi測定装置は水処理シス 高い性能と低メンテナンス性を テムとそれに続く製造システムの 兼備 正常運転を保つためのさらに強 5000TOCと同様、メトラー・トレ 力なプロセスモニタリングシステ ド・ソーントンの最新 TOC機器 ムとなります。 である 5000TOCiは、連続 UV酸 化・直接導電率測定方式で TOC 分析を実施します。他の TOCセ 5000TOCi ンサとは異なり、5000TOCi には、 5000TOCの後継機種である 5000TOCiは、新たな重要機能やインテ 可動部品がないため、センサが リジェントセンサマネジメント（ISM）テクノロジーの導入などにより、 TOC で汚染されるリスクがありま センサとしての性能をさらに向上させています。 せん。 5000TOCiセンサの主な利点： 5000TOCiに必要な唯一の日常メ ISMを装備した 5000TOCi全有機炭素センサは分析装置レベルの高 ンテナンスは、UVランプの定期 い性能とセンサがもつ利便性を兼ね備えています。主要な特徴は以下 交換であり、交換作業は熟練技 の通りです： 術者であれば、わずか 3分で済 • 画期的なピークおよびアベレージデータ圧縮測定による簡素化され みます。 たデータ収集機能により、水のリリースに関する記録管理を劇的に 低減 センサはコンパクトで頑丈に設 • 外的影響を排除する半自動プロセスにより、校正の品質と一貫性を 計されているため、超純水精製 向上 システム、配管システムや他の • メンテナンス記録管理を低減： 最大 4つの校正レポートを保存する 精製システムと組み合わせて容 ことで、機器性能のトレンドを容易にモニタリング 易に使用できます。測定機器は • 便利な診断機能や直感的な iMonitorによるセンサ状態のリアルタイ 壁や配管に設置でき、産業アプ ム表示により予測メンテナンスが可能 リケーションに最適です。 • 自動流量調整機能によりシステム圧力の変化による影響を抑えるこ とで、連続的なリアルタイム TOC分析値の信頼性を向上 センサヘッドに搭載された インテリジェンス 高機能のインテリジェントセン サマネジメントテクノロジーを装 備した 5000TOCiは、M800マル チパラメータ変換器と組み合わ せることで、広範囲のモニタリン グと制御機能を提供します。ISM 技術により生まれた iMonitorは、 システムの健康状態を診断する ための迅速でシンプルなツール です。また、自動流量調整、非 常に操作が簡単で直感的なユー ザーインターフェイス、そして日 METTLER TOLEDO Microelectronics News 7 5