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ドイツPI社製・6軸ヘキサポッドステージのご紹介。「パラレルキネマティック駆動で...
ドイツPI社製ハイスペック6軸ステージのパンフレットが完成しました。6軸ステージの仕様や制御、それぞれの製品の比較ができるパンフレットです。他社にはない高性能なラ...
PI社のピエゾはすべて自社生産。他社と違い長寿命をうたうPICMA®セラミック使用。 静...
・精密位置決め市場を牽引するドイツPI社のピエゾステージ。・ナノポジショニングステージとスキャナでは、ナノメートルの精度の分解能とガイド精度を、クロストークが最小と...
サブミクロン位置決め、数ミリ~1mのトラベルレンジ。X軸、XY軸、Z軸、回転軸など組...
モータ駆動ステージの製品ラインナップを拡充!・トラベルレンジは数ミリメートルからメートル単位、精度クラスはサブミクロン。・モータ、ガイド、センサーなど一体型で動...
6軸駆動のヘキサポッドステージは、従来の積み重ねにはできない、”回転中心””座標系”を任意に設定することができます。駆動アクチュエータには、DCサーボ、ボイスコイルがあり、カスタマイズでピエゾ駆動、ステッピングモータなども対応実績。サブミクロンの再現性、数...
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適
磁気的にプリロードされた空気ベアリングおよび内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフ...
63mmと薄型で最大813ミリの動作量、ハイダイナミクスでメンテナンスフリーのリニアモ...
高性能・高負荷に対応したインダストリアルデザイン。循環ボールベアリングガイド、3相リニアモーター、インクリメンタルリニアエンコーダにより、優れたトラッキング性能、...
H-840ヘキサポッドのさらに高分解能タイプをリリースしました
H-840.G2IHPは、X、Y方向に40nm、Z方向に20nmのステップで、生産技術や計測技術におけるアライメントやポジショニングアプリケーションの高い要求に応えることができます。...
1枚の薄型プラットフォームで3軸動作可能な高精度エアベアリングステージ
パラレルキネマティック方式の多軸システムとして設計されており、Zおよびチップ/チルト動作で使用できます。小型で超高精度を実現したほか、非接触部品の組合わせにより、...
薄型で、駆動面積と耐荷重で4種類のサイズがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度...
優れた精度と薄型デザインを両立させた、ダイレクトドライブ式のエアベアリング平坦回転ステージ。さまざまなオプションを組み合わせることで、ポイントツーポイントのイン...
ピエゾの併用でナノオーダーの位置決めが可能!・複数のI/OおよびDOFを同時に高速アライメント・並列処理により大域的最適化時間を1/100に短縮・時間効率に優れたアルゴリズムによりプロセスを0.6秒未満で完了・一般的なオペレーティングシステムに対応したソフ...
PIFOC©対物レンズピエゾ位置決めステージは、顕微鏡を用いた生体観察、スキャニング解析、フォーカシング、干渉計測など、生産ライン、計測装置、研究機関など多く利用されています。通常フォーカスには、手動で合わせる場合やモーターを利用した自動制御がありま...
コンパクトで正確なパラレルキネマティック・ヘキサポッド
高速、コンパクト、高精度・移動範囲 ±17 mm / ±21°。・耐加重:5 kg・再現性:±0.06 µm・速度:10 mm/s・ご要望に応じて真空対応バージョン
顕微鏡対物レンズ用ナノポジショニング&スキャニングシステム
■最大800ミクロンまでの大幅なトラベルレンジ■ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム優れた焦点の安定性■静電容量センサーで直接計測:高リニアリティ■2分子顕...
電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型XYθステージNAF3シリーズは、UVWの3軸アクチュエータと予圧型ダブルスライド・ユニットにて構成。薄型コンパクト・高剛性・高精度な位置決めが行えます。電動アクチュエータを同一平面上に配置することで装置全体...
「真空対応ステージ」は、真空域で耐えうる材料や部 材を使用し、高い位置決め精度...
「真空対応ステージ」は、真空域で耐えうる材料や部材を使用し、高い位置決め精度・高剛性を維持した汎用位置決めステージです。ステージの本体にはアルミニウム素材、案内部...
小型デバイスの組立や多軸組合せ時のベースに最適なXYθ薄型アライメントステージを各...
◆XYθ薄型アライメントステージシリーズ YRA-070 シリーズ最小のアライメントステージ YRA-071 多様なモータ変更要求に対応可能 YRA-130 中小型液晶やウエハの貼り合...