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Φ4~Φ8”ウエハー焼成用 急速昇温/均一加熱が可能
MiniLab(ミニラボ)-WCF超高温ウエハーアニール炉は、Φ4inch~8inchまでの各種ウエハー高温アニール実験専用機。最高使用温度2200℃まで急速昇温。安全性を確保し、更に作業者の...
Max1000℃、APC圧力自動制御、Φ4〜6inch、 ターボポンプ採用高真空アニール装置(<5 ×...
高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マス...