日機電装 メーカー公式情報
リニアモータを搭載した高精度ステージ。速度変動率性能・位置決め精度保証
X/XY/Xθ/XYθリニアステージをラインアップ。θ軸には、高性能ダイレクトドライブモータを搭載可能。 多ヘッドステージ、XYZ軸ステージなどのカスタムメイド対応も可能。 SSCNETⅢ/H・SSCNETⅢ・MECHATROLINK-Ⅲ・EtherCAT(予定)・CC-Link対応。
高精度リニアステージτリニアステージ (28.4 MB | 日本語)