ACCRETECH(東京精密)

ChaMP: 300mmウェーハ対応モデル

ChaMP: 300mmウェーハ対応モデルの製品概要

ACCRETECH(東京精密)は、これまで培ってきた精密計測機器及び半導体製造装置の技術を融合し、先端デバイスで要求されるプロセス性能に十分に応えると共に、量産工場における要求にも応えた300mmウェーハ対応CMP装置(ChaMPシリーズ)を提案いたします。

ChaMP: 300mmウェーハ対応モデルの 型式一覧 (1件)

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ChaMP: 300mmウェーハ対応モデルの関連ドキュメント

製品カタログ

http://www.accretech.jp/product/semicon/cmp/cmp300.html

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ChaMP: 300mmウェーハ対応モデルの詳細情報

メーカー ACCRETECH(東京精密)
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