N-111.2 ｜ NEXLINE®ピエゾナノステッピングドライブ

NEXLINE®ピエゾナノステッピングドライブの製品概要

最大10ｍｍのトラベルレンジ・高分解能・最大で50Nの発生力！強磁場での動作にも対応可能！

■ ストローク10mm
■ オープンループ分解能：0.025nm、
クローズドループ分解能：5nm
■ プッシュプルフォース～50Nおよび
70Nの保持力
■ 静止時の自動ロック・発熱なし
■ 非磁性および真空対応の動作原理
■ クリーンルーム対応

この製品の利用用途

● 半導体製造
● 半導体の試験
● ウェハー検査
● ナノリソグラフィ
● ナノインプリント
● ナノ計測
● アクティブ振動ダンピング
● 強磁場での動作