コラム型精密平面研削盤　UPG-NCシリーズ

コラム型精密平面研削盤　UPG-NCシリーズの製品概要

独自の6面拘束摺動方式と可変静圧スライドシステムや超精密温度管理などにより、さらにゼロに近い精度を目的とした、究極の超精密平面研削盤。

・テーブルの浮き上り量をできるだけ最小限に抑え、テーブル左行・右行反転時に常に同じ高さで砥石が工作面に接することが面粗さを良くする上で重要な要素です。可変静圧スライドシステムは工作面全面で常にギャップ量を一定に保つことができる剛性の高さがあります。


・真直精度、前後方向0.4μm/800m、左右方向0.5μm以下/m(UPG408NC)に対応する超精密の平面研削盤です。


・工作物をチャック左側、中央、右側に順に置いて研削し、それぞれ８ヶ所計測し、合計24ヶ所の総合値で平面度を評価した結果は全てのポジションで0.5μｍ以内に収まり、偏荷重に強いことを証明しました。