チノー
IRMS8599Bは測定対象の薄膜に投光し、表面反射光と裏面反射光による干渉から膜厚を測定します。膜厚が厚くなるほど、反射率スペクトルに現れる波(干渉波)の数が増加する原理を利用して膜厚を計測します。検量線が不要で、高精度な計測が行えます。連続分光方式でFFT解析、CF(カーブフィッテング)解析が可能最大4層を同時計測使用温度0~50℃、IP65(防塵防滴構造)
http://www.chino.co.jp/products/pdf/irms8599b.pdf