小形流量コントローラ ラピフロー FCMシリーズの製品概要
多様な分野で活躍する流量コントローラ
センサ機能､比例制御機能､バルブ機能全てに高い性能と経済性を兼ね備え､各種用途と多様な流体に対応する小形・軽量な流量コントローラです｡
この製品の利用用途
ワイヤーボンディング、ガラス浮上搬送、パージガスの流量管理など
小形流量コントローラ ラピフロー FCMシリーズの製品特長
IO-Link対応
IO-Link通信によってデータ収集に加えて上位からの遠隔操作が可能。
システム異常検知（予知保全）
センサ・電磁比例弁の劣化を検知する自己検知に加え、周辺システムも含めた異常を検知します。IO-Linkで警告信号の出力が可能。
制御状態が一目でわかるデジタル表示器搭載
流量値を3桁でデジタル表示。
エラー表示の他、出力状態（スイッチ出力ON-OFF）を表示。
0.5秒の高速制御
シリコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップの採用で、0.5secの高速制御が可能。
適応流体・流量範囲
空気、窒素：0.015~50ℓ/min
アルゴン：0.015~50ℓ/min
酸素、都市ガス、メタン、プロパン：0.015~10ℓ/min
水素、ヘリウム：0.06~20ℓ/min
再現性：±１%F.S.
精度：±3%F.S.
小形流量コントローラ ラピフロー FCMシリーズの 型式一覧 (60件)
小形流量コントローラ ラピフロー FCMシリーズの関連ドキュメント
| 製品カタログ |
圧縮空気用小型パイロット式2ポート電磁弁「SPシリーズ」【低圧でも大流量 、省エネ&省スペースへ貢献】 (1.4 MB | 日本語) |
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| 製品カタログ | ダウンロード |
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