CKD メーカー公式情報
カルマン渦検出方式の水用流量センサです。装置搭載に適したコンパクトなシンプル設計です。
カルマン渦検出方法の為流路に可動部がなく、ゴミなどが混入している水質の良くない使用環境においても安定した測定・管理が可能です。
この製品の利用用途
センサ半導体製造工程(後工程)理化学分析装置