産業別ソリューション

ウェハートレーサビリティ

ウェハートレーサビリティの自動化

コグネックス株式会社

グローバルに展開される半導体産業の競争は激しさを増し、装置の稼働および生産量を最大限にさせるために増加する複雑な処理をより正確に制御する要求が増え続けています。そのような状況下であっても、そこでの失敗は許されません。後続処理においてウェハーを追跡する必要性は、今まで以上に利益を追求する上で重要となっています。

In-Sight® 1740 シリーズのウェハーリーダは、ウェハーを自動的に認識して、人的関与の必要性と装置のアイドル時間を最小限に抑えることにより、この要求に対応しています。In-Sight 1740 シリーズリーダは、新しい設備に設置されても、既存の装置に増設しても、ウェハートレーサビリティを100%実現します。従来のシリコンウェハーだけでなくLED用途のサファイアウェハーにも対応します。

コグネックスのウェハーID読み取り装置は、20 年以上もの間、その高い読み取り率と信頼性で高い基準を保ってきました。In-Sight 1740 シリーズもその伝統を受け継いでいます。In-Sight 1740 シリーズのウェハーリーダは、すぐれたパフォーマンスを持つ小型リーダです。信頼性に影響を与えず高い読み取り率を達成するために必要なすべてがオールインワンタイプの1台の小型リーダに装備されています。

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In-Sight 1740シリーズウェハーリーダのダウンロード (3.1Mb)

高性能な照明システム

12 種類の内蔵モデル、ソフトウェア制御、明・暗視野照明を搭載した In-Sight 1740 シリーズリーダは、事実上あらゆる識別コードを画像処理できます。LEDなどに使われるサファイア基板のコントラストの低いコーティングなど、In-Sight 1740 シリーズの照明システムは、さまざまな困難な状況にも対応します。さらに、新しいタイプのウェハー処理およびコーティングが開発されたことにより、In-Sight 1740 シリーズリーダは、補助照明ポートから電源を供給する特殊照明を使って、新しい画像要件に対応するための拡張が可能になりました。

実績のある読取アルゴリズム

高性能な照明でもOCR、T7データマトリックス、バーコードを正確に読み取り、ウェハーを処理するためには高度な読み取りアルゴリズムが必要です。In-Sight 1740 シリーズの中心は、31,000 台以上のウェハー読み取りシステムにインストールされてきた経験を基に開発されたコクネックスの読み取りアルゴリズムです。これらのアルゴリズムは、エッジビード、CMP、スクライバーによるダイパターンなど、さまざまな条件のコード読み取りにおいて世界で最も堅牢かつ信頼性の高いアルゴリズムとして実績があります。

画像改善フィルタ

ウェハーへのプロセス処理によっては、高性能な照明システムやソフトウェアアルゴリズムでも読み取れなくなるほどコードの品質に大きく影響します。In-Sight 1740 シリーズリーダは、自動画像改善フィルタでこのような画像劣化にも対応します。最も深刻な場合でも画像改善フィルタは、信頼性を高めながら読み取りエラーが発生した画像も読み取り、オペレータの介入も必要ありません。

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In-Sight 1740シリーズウェハーリーダ

コグネックス株式会社

コグネックスコーポレーションは、ビジョンシステム、ビジョンソフトウェア、ビジョンセンサなどのファクトリーオートメーション(生産自動化)を提供している世界を代表する企業です。加え、工業用バーコードリーダ...

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