薄型・大型開口部付きピエゾＸＹステージ
P-541.2
薄型で組み込みが簡単！開口部付きピエゾXYステージ
薄型で、顕微鏡検査アプリケーション用に最適化
P-541/P-542ナノポジショニング／スキャニングステージは、顕微鏡に簡単に組み込めるように設計されています。このステージは極めて薄型（16.5mm）で、80mm×80mmという大きな開口部を備え、サブナノメートル分解能による高精度な動作を実現しています。幅広いアプリケーションに対応するため、設置面積は同じで、様々な機能をもつZステージとZチップ／チルトステージが用意されています。これらは、位置合わせ、ナノフォーカス、または各種計測用途に適しています。
| 主な用途 | ● レーザーテクノロジー ● 走査型顕微鏡 ● マスク／ウェハーの位置決め ● 干渉計 ● 各種計測 ● バイオテクノロジー ● マイクロマニピュレーション |
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| URL | http://www.pi-japan.jp/products_category_pztpos_nanopos_xyscan.html |
企業情報
ピーアイ・ジャパン株式会社
PI（Physik Instrumente）社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...
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