NEXLINE® ハイパワーピエゾナノステッピングドライブ
n-216
NEXLINE® PiezoWalk®ドライブによるロングストロークと高分解能、高剛性ステージ
■ ストローク：20mm
■ 分解能：0.03nm（オープンループ）、
5nm（クローズドループ）
■ 保持力最大800N
■ 静止時に自動ロック
■ 非磁性および真空対応の動作原理
■ クリーンルーム対応
| 主な用途 | ● 半導体製造 ● 半導体の試験 ● ウェハー検査 ● ナノリソグラフィ ● ナノインプリント ● ナノ計測 ● アクティブ振動ダンピング ● 強磁場での動作 |
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| URL | http://www.pi-japan.jp/products_category_pztdrive_pztlinmotor.html |
企業情報
ピーアイ・ジャパン株式会社
PI（Physik Instrumente）社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...
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