高精度回転モーターステージ
UPR-120
高速・高精度位置決め用ステージ！トルクモーターによるダイレクト駆動ステージ
■ 高精度ベアリング
■ トルクモーター
■ 一方向再現性：＜0.00008°
■ 平坦度と偏心：±3μm
■ ウォッブル：±25μrad
■ 最大速度：360°/秒
■ 最 大耐荷重：20Kg（プラットフォームの中心にて）
■ 光学リファレンススイッチ内蔵
■ 中心開口：直径35㎜
■ 角度スケール内蔵
■ オ プションとして高精度化のためのダブルヘッドシステム
| 主な用途 | ● 放射光施設 ● 半導体製造・検査装置 ● レーザー治療システム ● ロボティクス |
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| URL | http://www.pi-japan.jp/products_category_motorrized_rotary_up.html |
企業情報
ピーアイ・ジャパン株式会社
PI（Physik Instrumente）社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...
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