除振台 アクティブ除振ユニット VAAV-A 標準タイプ

VAAV-A 標準タイプ

株式会社昭和サイエンス

VAAV専用の超高感度加速度センサ搭載。極微小振動を正確に把握します。
独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速演算し、高精度な大出力アクチュエータにより瞬時に振動を打ち消します。
床側にも惜しみなく超高感度加速度センサを配備し、フィードフォワード制御で世界最高水準の除振性能を達成しました。
共振現象のない高性能かつ高精度な除振性能を保持しながら、搭載ステージの加振力により与えられた振動も同時に短時間で減衰します。

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業界最高水準の低固有振動数で、ほぼ全ての振動に除振(防振)効果を発揮します。

主な用途 半導体製造及び検査装置では、微細な加工を要するウェハへの振動対策とウェハを移動するステージの振動対策に使用されています。
液晶製造及び検査装置では、ガントリーやステージが大きく移動した際の振動を素早く減衰させて、直ちに検査や修正を行う目的で使用され、タクトタイムの向上に役立っています。
超精密工作機械では、大きな荷重の移動に対応しながら、精密な加工を行うテーブル上の振動を取り除く目的で使用されています。
URL http://ssvi.co.jp/joshin/active01.html

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